Лазерлік технология, терең ғарышты зерттеу және экстремалды ультракүлгін (EUV) литография сияқты тез дамып келе жатқан салаларда оптикалық дәлдікке деген сұраныс атомдық деңгейге жетуде. Оптикалық және фотоника компаниялары үшін дәлдіктегі шыны компоненттерінің сапасы тек сипаттама ғана емес, сонымен қатар жүйенің жұмысының анықтаушы факторы болып табылады.
ZHHIMG Group компаниясында біз бұл компоненттерді өндіру тек материалды кесуден гөрі көп нәрсені қажет ететінін түсінеміз; бұл жарық пен заттың физикасын игеруді талап етеді. Бұл мақалада оптикалық әйнектің маңызды қолданылуы және аса дәл оптикалық негіздерді жеткізу үшін жеңетін күрделі өндірістік қиындықтар қарастырылады.
Маңызды қолданбалар: дәлдік маңызды жерде
Оптикалық әйнек қазіргі заманғы фотоника негізі болып табылады. Байланыс саласынан бастап қорғаныс саласына дейін бұл компоненттерге қойылатын талаптар барған сайын қатаңдауда.
1. Лазерлік ядролық синтез және күшті лазерлік жүйелер
Жоғары қуатты лазерлік жүйелерде оптикалық компоненттер үлкен энергия тығыздығына төтеп беруі керек. Әйнектегі кез келген микроскопиялық ақау немесе қоспа лазердің әсерінен болатын зақымға әкелуі мүмкін, бұл бүкіл жүйенің жұмысына кері әсерін тигізеді. Мұндағы өндірістік бағыт жер асты зақымдарын жоюға және сәуленің бұрмалануын болдырмау үшін жоғары біртектілікті қамтамасыз етуге бағытталған.
2. Ғарыштық оптика және терең кеңістікті анықтау
Ғарыштық телескоптар мен қашықтықтан зондтау құралдарының диафрагма өлшемдері өскен сайын (қазір 4 метрден асады), жеңілдік пен беттің дәлдігіне қойылатын талаптар күшейе түседі. Ғарышқа арналған оптикалық компоненттер өте төмен жылулық кеңею коэффициенттері бар материалдарды қажет ететін экстремалды жылулық орталарда өз пішінін сақтауы керек.
3. Жартылай өткізгіштер және EUV литографиясы
Жартылай өткізгіштер өнеркәсібінде EUV литография жүйелері бетінің кедір-бұдырлығы 0,1 нм-нен (RMS) аз болатын шағылыстырғыш айнаға сүйенеді. Тіпті атом деңгейіндегі кедір-бұдырлар да жарықты шашыратып, чиптің ажыратымдылығын бұзуы мүмкін. Бұл оптикалық әйнек өндірісінің шыңын білдіреді.
Өндірістегі қиындық: кернеу, жазықтық және тегістік
Бұл қолданбалар үшін қажетті сапаға қол жеткізу өндіріс процесіндегі үш негізгі кедергіні жеңуді қамтиды.
1. Ішкі стрессті бақылау
Қалдық кернеу оптикалық тұрақтылықтың жауы болып табылады. Ол қос сынуды (сыну көрсеткішінің өзгеруі) тудыруы және жылу жүктемесі кезінде жарықшақтардың пайда болуына әкелуі мүмкін.
- Қиындық: Қатты, сынғыш әйнекті өңдеу көбінесе микрокернеулерді тудырады.
- Біздің тәсіліміз: Біз озық күйдіру процестерін және аз зақымдайтын қалыптау әдістерін қолданамыз. Салқындату жылдамдығын қатаң бақылау және кернеуді жеңілдететін өңдеу стратегияларын қолдану арқылы біз әйнектің ішкі құрылымының бейтарап және тұрақты болып қалуын қамтамасыз етеміз.
2. Өте жоғары жазықтыққа қол жеткізу (төмен жиілікті дәлдік)
Өте дәл оптикалық негіздер мен айна тәрізді субстраттар үшін бетінің «пішіні» өте маңызды.
- Қиындық: Дәстүрлі тегістеу толқындық қалдыруы немесе толқындық фронттың дәлдігін төмендететін қателіктер тудыруы мүмкін.
- Біздің тәсіліміз: Біз жоғары дәлдіктегі компьютермен басқарылатын оптикалық беттерді (CCOS) қолданамыз. Бұл бізге төмен жиілікті қателерді (пішін ауытқуларын) түзетуге, көбінесе 1 нм-ден аз шыңнан алқапқа дейінгі (PV) мәндерге жетуге мүмкіндік береді, бұл оптикалық жолдың мінсіз тураланғанын қамтамасыз етеді.
3. Беттік кедір-бұдырлық (жоғары жиілікті тегістік)
Шашыраңқылық жоғары жиілікті беттік текстурадан туындайды.
- Қиындық: Тегістеуден қалған «тұманды» және микросызаттарды кетіру үшін материалды кетіруден бетті тегістеуге көшу қажет.
- Біздің тәсіліміз: Біз магниттік көмекші өңдеуді қоса алғанда, озық жылтырату технологияларын қолданамыз. Бұл әдіс күрделі пішіндерді (мысалы, еркін пішінді линзаларды) топтық өңдеуге мүмкіндік береді, сонымен қатар жаңа жер асты зақымдарынсыз нанометрден төмен беткі кедір-бұдырлыққа (Ra < 0,6 нм) қол жеткізеді.
ZHHIMG: Сіздің ультра дәлдіктегі серіктесіңіз
Шикі шыныдан функционалды оптикалық компонентке көшу - нанотехнология арқылы саяхат. ZHHIMG Group компаниясында біз материалтану мен дәлдік инженериясы арасындағы алшақтықты жоямыз.
Біздің мүмкіндіктерімізге мыналар кіреді:
- Күрделі геометриялар: еркін пішінді, асфералық және жазық оптикалық компоненттерді өңдеу.
- Метрология және инспекция: бетінің сапасы мен пішінінің дәлдігін нақты уақыт режимінде тексеру үшін интерферометрлер мен профилометрлерді пайдалану.
- Материалдық сараптама: Балқытылған кремний диоксиді, кварц және жоғары өткізгіштігі және төмен кеңеюімен танымал мамандандырылған оптикалық көзілдіріктермен терең тәжірибе.
Қорытынды
Оптикалық жүйелер мүмкін болатын мүмкіндіктердің шекараларын кеңейткен сайын, дәлдіктегі шыны компоненттерін өндіру
Оптикалық жүйелер мүмкін болатын мүмкіндіктердің шекараларын кеңейткен сайын, дәлдіктегі шыны компоненттерін өндіру
Жарияланған уақыты: 09.04.2026