Гранит - құрылыс индустриясында жиі қолданылатын қатты және берік материал.Дегенмен, оның жартылай өткізгіштерді өндіруде, әсіресе интегралды схемаларды жасау мен өңдеуде пайдалы ететін қасиеттері де бар.Граниттік үстелдер мен гранит блоктары сияқты гранит компоненттері олардың тұрақтылығы, тегістігі және төмен жылу кеңею коэффициенті үшін кеңінен қолданылады.
Жартылай өткізгіштер өндірісінде гранит компоненттерін пайдаланудың негізгі бағыттарының бірі өндіріс процесінде болып табылады.Интегралдық схемалардың негізгі құрылыс блоктары болып табылатын кремний пластиналары жоғары дәлдікпен және дәлдікпен жасалуы керек.Процесс кезіндегі кез келген бұрмалау немесе қозғалыс интегралдық схемалардың сапасы мен функционалдылығына әсер етуі мүмкін ақауларға әкелуі мүмкін.Гранит үстелдері жоғары тұрақтылығымен және тегістігімен вафли өңдеу жабдықтары үшін жақсы платформаны қамтамасыз етеді.Олар сонымен қатар процесте қажет қыздыру және салқындату нәтижесінде пайда болатын термиялық кеңею мен қысқаруға төзімді.
Гранит блоктары термиялық тұрақтылығы үшін жартылай өткізгіштерді өңдеуде де қолданылады.Офорттау немесе тұндыру процестері кезінде кремний пластинкасының бетін өзгерту үшін ыстық газдар немесе плазмалар қолданылады.Процестің тиімді және дәл орындалуын қамтамасыз ету үшін пластинаның температурасын бақылау қажет.Гранит блоктары, олардың төмен термиялық кеңею коэффициенті, өңделетін материалдың сапасына әсер етуі мүмкін температура ауытқуларының қаупін азайта отырып, пластинаның температурасын тұрақтандыруға көмектеседі.
Дайындау және өңдеу процестерінен басқа, гранит компоненттері жартылай өткізгіш өндірісінің метрология және тексеру кезеңдерінде де қолданылады.Метрологиялық өлшемдер пластинкадағы құрылымдардың өлшемі, пішіні және орналасуы талап етілетін техникалық сипаттамаларға сәйкес келуін қамтамасыз ету үшін жасалады.Гранит блоктары өлшемдік тұрақтылығы мен дәлдігіне байланысты бұл өлшемдерде эталондық стандарттар ретінде пайдаланылады.Олар сондай-ақ интегралдық схемалардың сапасы жоғары ұлғайту кезінде тексерілетін тексеру кезеңдерінде қолданылады.
Жалпы, соңғы жылдары жартылай өткізгіш өндірісінде гранит компоненттерін пайдалану өсті.Интегралдық схемаларды жасау және өңдеу кезінде жоғары дәлдік, дәлдік және тұрақтылық қажеттілігі жартылай өткізгіш өндірушілердің бұл материалдарды қабылдауына түрткі болды.Граниттің қаттылығы, тұрақтылығы және төмен термиялық кеңею коэффициенті сияқты бірегей қасиеттері оны осы процестерде пайдалану үшін тамаша таңдау жасайды.Жартылай өткізгіштер технологиясының үздіксіз дамуы мен жетілдірілуімен гранит компоненттерін пайдалану болашақта одан әрі өседі деп күтілуде.
Жіберу уақыты: 05 желтоқсан 2023 ж