Гранит - құрылыс индустриясында жиі қолданылатын қатты және берік материал. Дегенмен, оның жартылай өткізгіштер өндірісінде, әсіресе интегралдық микросхемаларды жасау және өңдеуде пайдалы қасиеттері бар. Гранит үстелдері мен гранит блоктары сияқты гранит компоненттері тұрақтылығы, жазықтығы және төмен жылу кеңею коэффициенті үшін кеңінен қолданылады.
Жартылай өткізгіштер өндірісінде гранит компоненттерін негізгі пайдаланудың бірі - өндіріс процесінде. Интегралдық микросхемалардың негізгі құрылыс блоктары болып табылатын кремний пластиналарын жоғары дәлдікпен және дәлдікпен жасау қажет. Процесс кезіндегі кез келген бұрмалану немесе қозғалыс интегралдық микросхемалардың сапасы мен функционалдығына әсер етуі мүмкін ақауларға әкелуі мүмкін. Гранит үстелдері жоғары тұрақтылығы мен жазықтығымен пластиналарды өңдеу жабдықтары үшін жақсы платформа болып табылады. Олар сондай-ақ процесте қажетті қыздыру және салқындату салдарынан туындаған термиялық кеңею мен жиырылуға төзімді.
Гранит блоктары термиялық тұрақтылығы үшін жартылай өткізгіштерді өңдеуде де қолданылады. Ою немесе тұндыру процестері кезінде кремний пластинасының бетін өзгерту үшін ыстық газдар немесе плазмалар қолданылады. Процестің тиімді және дәл орындалуын қамтамасыз ету үшін пластинаның температурасын бақылау қажет. Төмен термиялық кеңею коэффициентімен гранит блоктары пластинаның температурасын тұрақтандыруға көмектеседі, өңделген материалдың сапасына әсер етуі мүмкін температураның ауытқу қаупін азайтады.
Өндіріс және өңдеу процестерінен басқа, гранит компоненттері жартылай өткізгіш өндірісінің метрология және тексеру кезеңдерінде де қолданылады. Метрологиялық өлшеулер пластинадағы құрылымдардың өлшемі, пішіні және орналасуы қажетті сипаттамаларға сәйкес келетініне көз жеткізу үшін жасалады. Гранит блоктары өлшемдік тұрақтылығы мен дәлдігіне байланысты бұл өлшеулерде эталондық стандарттар ретінде қолданылады. Олар сондай-ақ интегралдық схемалардың сапасы жоғары үлкейту кезінде тексерілетін тексеру кезеңдерінде де қолданылады.
Жалпы алғанда, соңғы жылдары жартылай өткізгіштер өндірісінде гранит компоненттерін пайдалану артты. Интегралдық микросхемаларды жасау мен өңдеуде жоғары дәлдікке, дәлдікке және тұрақтылыққа деген қажеттілік жартылай өткізгіш өндірушілердің бұл материалдарды қабылдауына себеп болды. Граниттің ерекше қасиеттері, мысалы, оның қаттылығы, тұрақтылығы және төмен жылу кеңею коэффициенті, оны осы процестерде қолдану үшін тамаша таңдау етеді. Жартылай өткізгіш технологиясының үздіксіз дамуы мен жетілдірілуімен болашақта гранит компоненттерін пайдалану одан әрі артады деп күтілуде.
Жарияланған уақыты: 2023 жылғы 5 желтоқсан