Гранит ауа мойынтірек жүйелері кеңінен қолданыладыаса дәлдікжартылай өткізгіштерді өндіруге, оптикалық туралауға және нанометрлік масштабты метрологияға арналған қозғалыс платформалары.
Бұл жүйелер жұқа қысымды ауа пленкасын пайдалану арқылы механикалық жанасуды жояды, бұл нөлге жақын үйкеліс қозғалысына қол жеткізеді.
Ауа мойынтірегі принципі
Ауа мойынтіректері екі беттің арасына сығылған ауаны енгізу арқылы жұмыс істейді, бұл 2-20 мкм ауа қабықшасын түзеді.
Бұл мыналарды жояды:
- Механикалық үйкеліс
- Киім
- Тайғанап кету мінез-құлқы
Жүйе сұйық пленка динамикасына және тұрақты ламинарлық ағынға негізделген.
Граниттің рөлі
Гранит мыналарды қамтамасыз етеді:
- Құрылымдық тұрақтылық
- Термиялық дрейфті басу
- Діріл демпфері
Ол қозғалыс жүйесінің механикалық тірек базасы ретінде қызмет етеді.
Жүйелік компоненттер
- Гранит негізі
- Ауа подшипниктерінің төсеніштері
- Ауамен жабдықтау жүйесі
- Дәлдік кодтағыштары
- Қозғалысты басқару жүйесі
Өнімділік сипаттамалары
Әдеттегі өнімділікке мыналар кіреді:
- Микроннан төмен позициялау дәлдігі
- Ұзақ сапар кезінде жоғары түзулік
- Нөлдік механикалық кері соққы
Негізгі қателік көздеріне ауа қысымының тұрақсыздығы, жылу дрейфі және кодтаушы қатесі жатады.
Қолданбалар
- Жартылай өткізгішті пластинаны тексеру
- Литография жүйелері
- Оптикалық туралау платформалары
- Жоғары деңгейлі метрологиялық машиналар
Жиі қойылатын сұрақтар
Ауа мойынтіректері тоза ма?
Механикалық байланыссыз тозу жойылады.
Неліктен гранитті пайдалану керек?
Тұрақтылық және дірілді басу үшін.
Дәлдікті не шектейді?
Ауа тұрақтылығы және жылулық әсерлер.
Олар ауыр жүктерді көтере ала ма?
Иә, дизайнға байланысты.
Жарияланған уақыты: 2026 жылғы 3 шілде