Ультра дәлдіктегі қозғалысты басқару әлемінде, мүмкін еместей көрінетін нәрсені жасайтын компонент бар: қалыңдығы бірнеше микрон болатын ауа қабықшасында қалқып жүретін, іс жүзінде нөлдік үйкеліспен қозғалатын дәлдік сатысы. Бұл ғылыми фантастика емес. Бұл граниттен жасалған ауа мойынтірегі және ол жартылай өткізгіш литографияның, пластиналарды тексерудің, электромобиль батареяларын тексерудің және нанометрлік деңгейдегі позициялауды қажет ететін кез келген басқа қолданбаның артындағы мүмкіндік беретін технология.
Ауа подшипнигі дегеніміз не?
Ауа мойынтірегі қысымды ауаны кеуекті немесе тесікпен қоректенетін бет арқылы өткізу арқылы жұмыс істейді, бұл екі беттің арасында физикалық жанасатын жұқа, үздіксіз ауа жастығын жасайды. Жүктеме - сахна, шпиндель, қозғалатын үстел - бұл ауа пленкасында қалқып жүреді, әдетте қалыңдығы 5-тен 20 микронға дейін, бұл дизайн мен жүктеме талаптарына байланысты.
Қозғалатын және қозғалмайтын беттер арасында физикалық байланыс болмағандықтан, механикалық үйкеліс, жабысып сырғанау және іс жүзінде тозу болмайды. Бұл жағдай ...-тан түбегейлі өзгеше.дәстүрлі механикалық мойынтіректер, ол қаншалықты жақсы өңделгеніне қарамастан, жұмыс істеу мерзімі ішінде әрқашан белгілі бір дәрежеде үйкеліске, бетінің микроскопиялық тегіс еместігіне және біртіндеп тозуға ие.
Неліктен гранит ауа мойынтіректері үшін жалғыз таңдау болып табылады
Әуе мойынтіректерін теориялық тұрғыдан әртүрлі тегіс, қатты материалдардан жасауға болады, бірақ гранит жоғары дәлдіктегі қолданбаларда қозғалмайтын мойынтірек беті үшін стандартты таңдауға айналды.
Уақыт өте келе жазықтықтың тұрақтылығы. Граниттің өңделген металлмен салыстырғанда ішкі кернеуі өте төмен болғандықтан — металл құю және өңдеу процесінен қалған кернеуді сақтайды, бұл айлар немесе жылдар бойы біртіндеп, ұсақ өлшемдік ауытқуларға әкелуі мүмкін — гранитті мойынтірек беті өзінің жазықтық сипаттамасын металл баламасына қарағанда әлдеқайда ұзақ сақтайды. Ауа мойынтірегі үшін, бүкіл өнімділік конверті тұрақты, бақыланатын саңылауды сақтауға байланысты болатындықтан, бұл тұрақтылық өте маңызды.
Термиялық тұрақтылық. Ауа мойынтірегінің саңылауы микроскопиялық болып табылады — әдетте 5–20 микрон. Бағыттаушы рельстің термиялық кеңеюі бұл саңылауды өзгертеді, мойынтіректің жұмысын өзгертеді және позициялау қателіктерін тудырады. Granite компаниясының CTE көрсеткіші болаттың шамамен жартысына және алюминийдің үштен біріне тең. Бұл нанометр деңгейіндегі позициялау дәлдігінің 24 сағаттық жұмыс циклдарында сақталуын қамтамасыз етеді.
Дірілдеу және діріл оқшаулау. Гранит болатқа қарағанда 10 есе көп табиғи демпферлеу қабілетіне ие. Ауа қабықшасының тұтқыр демпферлеуімен үйлескенде, жүйе сезімтал жүктемелерді еден дірілдері мен қозғалтқыш шуынан оқшаулайтын «қос демпферлеу» әсерін жасайды. Бұл электронды сәулелік бағандар мен интерферометрлер сияқты қолданбалар үшін өте маңызды, мұнда діріл кескін ажыратымдылығын бұзады.
Магниттік емес, электрлік инертті. Жартылай өткізгіштер мен электроника өндірісінде сезімтал процестердің жанында магнит өрістері мен электр өткізгіштігінен аулақ болу көбінесе қиын талап болып табылады. Гранит қосымша өңдеусіз мұны қанағаттандырады.
«Қос сөндіру» әсері
Гранит-ауа мойынтіректерінің үйлесімін ерекше тиімді ететін нәрсе мынау. Граниттің өзі ерекше демпферлеуді қамтамасыз етеді — шойынмен салыстырғанда машинаның дірілдеуін 10 есеге дейін азайтады. Ауа пленкасы қосымша тұтқыр демпферлеуді қамтамасыз етеді, жоғары жиілікті тербелістерді тегістейді. Бірге олар инженерлер «қос демпферлеу» әсері деп атайтын нәрсені жасайды.
Бұл граниттен жасалған ауа мойынтіректер сатысы тек дәл ғана емес, сонымен қатар тыныш екенін білдіреді. Саты механикалық мойынтіректердегі микроскопиялық дірілсіз тегіс қозғалады. Ол өлшеулерді кешіктіретін қоңыраусыз тез басылады. Және ол механикалық мойынтіректер жұмысын нашарлататын біртіндеп тозусыз, жылдар бойы жұмыс істеген кезде дәлдігін сақтайды.
Граниттен жасалған ауа мойынтіректері қай жерде қолданылады
Өтінімдер тізімі заманауи өндіріс пен инспекцияның ең жоғары дәлдіктегі бұрыштарына саяхат сияқты оқылады:
Жартылай өткізгіш литография және пластиналарды тексеру. Пластинаның барлық бөліктерін дұрыс туралау үшін субнанометрлік позициялаудың қайталануы қажет. Гранит ауа мойынтіректері келесі буын чиптерін өндіру үшін қажетті дәлдікті қамтамасыз ететін үйкеліссіз, жанаспайтын қозғалысты қамтамасыз етеді.
Координаталық өлшеу машиналары (КӨМ). Дәл гранит бағыттаушылары мен ауа мойынтіректерінің үйлесімі КӨМ үшін алтын стандарт болып табылады, мұнда кезеңдік дірілдің өлшеу ажыратымдылығын бұзатыны анықталады. Ауа мойынтіректерінің үйкеліс пен сырғанауының болмауы нанометрлік қадамдармен орналастыруға мүмкіндік береді.
Оптикалық және лазерлік өлшеу жүйелері. Интерферометрияға немесе оптикалық бейнелеуге негізделген кез келген өлшеу жүйесі діріл немесе позициялау қателігін тудырмайтын қозғалыс сатысын қажет етеді. Граниттен жасалған ауа мойынтіректер осы күрделі қолданбалар үшін қажетті тұрақтылықты қамтамасыз етеді.
Электр көліктерінің аккумуляторларын тексеру. Электр көліктерінің аккумуляторларын өндіру көлемі артқан сайын, жоғары жылдамдықты, жоғары дәлдікті тексеру жүйелеріне деген сұраныс күрт өсті. Граниттен жасалған ауа подшипниктері аккумулятор ұяшықтарының өлшемдерін, электродтардың туралануын және басқа да маңызды параметрлерді тексеру үшін қажетті жылдамдық пен дәлдікті қамтамасыз етеді.
ПХД бұрғылау және бағыттау. ПХД жоғары жылдамдықты бұрғылау минималды тұндыру уақытымен жылдам, дәл орналастыруды қажет етеді. Ауа мойынтіректері жоғары өнімділік өндірісі үшін қажетті жылдам қадамдық және тұндыру қозғалысын қамтамасыз етеді.
ZHHIMG®-ті ерекшелендіретін нәрсе
Граниттен жасалған ауа мойынтіректерінің барлық компоненттері бірдей жасалмаған. Граниттің сапасы, тегістеу дәлдігі және шеберлердің біліктілігі ауа мойынтірегінің сипаттамаға сәйкес жұмыс істейтінін анықтайды.
ZHHIMG® компаниясында біздің ZHHIMG® қара гранитіміз тығыздығы ≈3100 кг/м³ құрайды, бұл көптеген еуропалық және американдық қара граниттерге қарағанда жоғары, бұл жоғары тұрақтылық пен тозуға төзімділікті қамтамасыз етеді. Қолмен тегістеуде 30 жылдан астам тәжірибесі бар шебер тегістеушілеріміз ауа өткізгіштік қолдану үшін қажетті нанометрлік деңгейдегі тегістікке қол жеткізеді. 1000 мм қалыңдықтағы ультра қатты бетон іргетаста және 2000 мм тереңдіктегі дірілге қарсы траншеяларда салынған 10 000 шаршы метрлік тұрақты температуралы шеберханамыз осы дәлдіктегі компоненттерді өндіру үшін қажетті тұрақты ортаны қамтамасыз етеді.
Біздің сапа саясатымызда «Дәлдік бизнесі тым талапшыл бола алмайды» деп қорытындыланған сапаға деген міндеттемеміз біздің нысаннан шығатын әрбір гранитті ауа өткізгіш компоненттің ең талапшыл әлемдік стандарттарға сәйкес келетініне кепілдік береді.
Сіз келесі буынды жартылай өткізгіш литография жабдықтарын, жоғары дәлдіктегі CMM немесе электромобиль батареяларын тексеру жүйесін жасап жатсаңыз да, дәлдіктегі гранит пен ауа мойынтіректер технологиясының үйлесімі нанометрлік деңгейдегі қозғалысты басқарудың негізін қалайды. Ал ZHHIMG® компаниясында біз ондаған жылдар бойы осы үйлесімді игеріп келеміз.
Жарияланған уақыты: 2026 жылғы 8 шілде