Неліктен жартылай өткізгіш жабдықтар гранит негіздерге сүйенеді: ±0,001 мм тұрақтылықтың құпиясы

Жартылай өткізгіштер өнеркәсібінде дәлдік тек өнімділік көрсеткіші ғана емес, сонымен қатар бүкіл өндіріс процесінің негізі болып табылады. Пластинаны тексеру мен литографиядан бастап оптикалық туралау және метрология жүйелеріне дейін жабдық өте тұрақты позициялау дәлдігін сақтауы керек. Тіпті бірнеше микрон ауытқуы өлшеу қателіктеріне, өнімділіктің төмендеуіне немесе құрылғының істен шығуына әкелуі мүмкін.

Міне, сондықтан гранит негіздері жартылай өткізгіш жабдықтарда маңызды құрылымдық компонентке айналды. Ерекше қаттылығымен, дірілді басуы және термиялық тұрақтылығымен танымал ультра дәлдіктегі гранит құрылымдары ±0,001 мм орналасу тұрақтылығына қол жеткізу үшін қажетті тұрақты тірек негізін қамтамасыз етеді.

ZHHIMG компаниясында біз өндіремізжоғары дәлдіктегі гранит негіздеріжартылай өткізгіштер мен метрология қолданбалары үшін арнайы жасалған, келесі буын аса дәл жабдықтарын қолдайды.

Жартылай өткізгіштер өндірісіндегі дәлдік мәселесі

Жартылай өткізгіштерді жасау процестері өте шағын көлемде жұмыс істейді. Көптеген заманауи процестер нанометр деңгейіндегі позициялау дәлдігін қамтиды, бұл жабдықтың құрылымдық негізі өзгермелі қоршаған орта жағдайларында мінсіз тұрақты болып қалуы керек дегенді білдіреді.

Негізгі қиындықтарға мыналар жатады:

• Қоршаған орта температурасының ауытқуынан туындаған жылулық кеңею

• Жақын маңдағы техникадан немесе құрылыс құрылымдарынан діріл

• Ауыр жүктемелер кезіндегі механикалық деформация

• Ұзақ мерзімді өлшемдік дрейф

Егер негізгі құрылым тұрақсыз болса, тіпті ең озық сенсорлар, сызықтық қозғалтқыштар немесе оптикалық компоненттер туралау дәлдігін сақтай алмайды.

Міне, осы жерде ультра дәлдіктегі гранит негіздері айтарлықтай артықшылық береді.

Неліктен гранит жартылай өткізгіш жабдықтардың негіздері үшін тамаша материал болып табылады

1. Метрологиялық жүйелердегі жоғары термиялық тұрақтылық

Жартылай өткізгіш жабдықтардағы ең маңызды талаптардың бірі - метрологиядағы термиялық тұрақтылық. Материалдар температура өзгерген кезде кеңейеді және жиырылады, бұл өлшеу дәлдігіне тікелей әсер етеді.

Жоғары тығыздықтағы табиғи қара гранит көптеген металдармен салыстырғанда жылу кеңею коэффициенті өте төмен. Бұл гранит негіздеріне температураның шамалы ауытқулары бар ортада да геометриялық тұрақтылықты сақтауға мүмкіндік береді.

Микроннан төмен дәлдікті қажет ететін жартылай өткізгішті тексеру және метрология жүйелері үшін бұл тұрақтылық өте маңызды.

2. Ерекше дірілді демпферлеу

Жартылай өткізгіш жабдықтар көбінесе келесідей жоғары жылдамдықты қозғалыс жүйелерін біріктіреді:

• Сызықтық қозғалтқыштар

• Ауа көтергіш кезеңдері

• Оптикалық сканерлеу жүйелері

• Дәл позициялау модульдері

Бұл жүйелер жұмыс кезінде микродірілдер тудырады. Граниттің табиғи кристалды құрылымы дірілді тамаша басуды қамтамасыз етеді, металл конструкцияларға қарағанда энергияны әлдеқайда жылдам сіңіруге және таратуға көмектеседі.

Нәтижесінде, гранит негіздер өлшеу жүйелеріндегі шуды азайтады және позициялау дәлдігін жақсартады.

3. Жоғары қаттылық және жүктеме тұрақтылығы

Ультра дәлдіктегі жабдық келесідей ауыр компоненттерді қамтуы мүмкін:

• Оптикалық модульдер

• Вафли сатылары

• Вакуумдық жүйелер

• Дәл қозғалыс платформалары

Гранит жоғары қысым беріктігі мен құрылымдық қаттылықты қамтамасыз етеді, бұл оған деформациясыз ауыр жүктемелерді көтеруге мүмкіндік береді. Металл конструкциялардан айырмашылығы, гранит ішкі кернеудің бөлінуіне бейім емес, яғни ол ұзақ уақыт бойы пішіні мен дәлдігін сақтайды.

Бұл гранитті CMM машиналары, жартылай өткізгіштерді тексеру жабдықтары және оптикалық туралау жүйелері үшін таңдаулы негізгі материал етеді.

4. Коррозияға төзімділік және ұзақ мерзімді тұрақтылық

Таза бөлме ортасында материалдар тұрақты және ластанбаған болуы керек. Граниттің бірнеше табиғи артықшылықтары бар:

• Магниттік емес

• Коррозияға төзімді

• Тот баспаған

• Техникалық қызмет көрсету аз

Бұл қасиеттер жартылай өткізгіш өндіріс орындары мен озық зертханалар сияқты жоғары дәлдіктегі орталарда ұзақ қызмет ету мерзімін және сенімді жұмыс істеуді қамтамасыз етеді.

Жартылай өткізгіш жабдықтарда гранит негіздерін қолдану

Осы артықшылықтарға байланысты жартылай өткізгіш жабдықтарға арналған гранит негіздері кеңінен қолданылады:

• Вафли тексеру машиналары

• Жартылай өткізгіш метрология жүйелері

• Оптикалық туралау платформалары

• Литографияның ішкі жүйесінің құрылымдары

• Ауа көтергіш қозғалыс платформалары

• Дәл координаталық өлшеу машиналары (ДКӨ)

Көптеген озық жүйелерде гранит негізі негізгі тірек беті ретінде қызмет етеді, бұл барлық қозғалыс компоненттерінің дәл туралануын қамтамасыз етеді.

ZHHIMG аса дәл гранитті шешімдері

ZHHIMG компаниясында біз жартылай өткізгіштер мен метрология салаларына арналған аса дәл гранит компоненттерін өндіруге маманданғанбыз. Біздің гранит негіздері жоғары дәлдіктегі жабдық өндірушілерінің қатаң талаптарына сай жасалған.

ZHHIMG гранит негіздерінің негізгі артықшылықтарына мыналар жатады:

• Жоғары тығыздықтағы ZHHIMG® қара граниті, жоғары физикалық қасиеттері бар

• Өте тегіс беттерге арналған дәл тегістеу және тегістеу

• Бұрандалы кірістірулерді, ауа тесіктерін және дәл бекіту мүмкіндіктерін арнайы интеграциялау

• Жоғары өлшемді дәлдік үшін өндіріс кезінде қоршаған ортаны бақылау

• Жартылай жартылай өткізгіш жабдықтарды жобалауға арналған арнайы өлшемдер мен құрылымдар

Біздің өнімдеріміз жартылай өткізгіш, лазерлік және оптикалық салаларда әлемдік жабдық өндірушілерімен кеңінен қолданылады, бұл аса дәл жүйелер үшін сенімді құрылымдық негіздерді қамтамасыз етеді.

Ультра дәлдіктегі технологияның негізі

Құрылымдық тұрғыдан тұрақты іргетассыз ±0,001 мм тұрақтылыққа қол жеткізу мүмкін емес. Гранит негіздер заманауи жартылай өткізгіш жабдықтар үшін қажетті механикалық тұрақтылықты, діріл оқшаулауын және жылу сенімділігін қамтамасыз етеді.

Жартылай өткізгіш технологиясы кішірек түйіндер мен жоғары дәлдікке қарай дамып келе жатқандықтан, ультра дәлдіктегі гранит құрылымдары жоғары өнімді метрология мен өндіріс жүйелерінде маңызды компонент болып қала береді.

Тұрақты және сенімді құрылымдық компоненттерді іздейтін жабдық өндірушілері үшін гранит негіздері жай ғана таңдау емес, олар қажеттілік болып табылады.