Кез келген жартылай өткізгіш жабдық инженерінен оларды не ояу ұстайтынын сұраңыз, жауап сирек қозғалыс жүйесі немесе оптика болады. Бұл машина тұрған еден. Қағазда 2 нанометрлік позицияны ұстайтын пластина сатысы әлі де тайып кетпейтін, шырылдамайтын немесе қызбайтын негізді қажет етеді.
Бұл негіз әдетте қара граниттен жасалған. Гранит сәнді болғандықтан емес, ол ешбір металл жасай алмайтын үш нәрсені бірден орындайды: температура өзгерген кезде орнында тұрады, дірілді өткізбей, жұтады және тәулік бойы жұмыс істегенде тот баспайды немесе сырғымайды. Бұл ZHHIMG құрастыратын құралдың бөлігі.
ZHHIMG зауытында үлкен қара гранит пластинасы тексеріліп жатыр — жазықтық уәделермен емес, құралдармен дәлелденген.
Мәселе күште емес, тұрақтылықта
Жартылай өткізгіш жабдық ауыр емес, себебі оған беріктік қажет. Ол ауыр, себебі оған тұрақтылық қажет. Құрал қозғалтқыштар қозғалып тұрғанда, бөлме жылып, салқындаған кезде және айлар бойы үзіліссіз жұмыс істеп тұрғанда геометриясын сақтауы керек.
Болат пен шойын температурамен бірге қозғалады. Олар сондай-ақ дыбыс шығарады. Вирустан кішірек белгілерді өлшейтін құралда дыбыс шығаратын негіз істен шығатын негіз болып табылады. Мақсат - тек орнату күні ғана емес, жыл бойы эталондық бет болып қалатын бет.
Неліктен қара гранит жеңеді
Біздің қара гранитіміз шамамен тығыздықта жұмыс істейді3100 кг/м³Жоғары тығыздық төмен кеуектілікті білдіреді. Төмен кеуектілік тастың ылғалды сіңірмейтінін, ылғалды таза бөлмелерде ісінбейтінін және жыл мезгілдері өзгерген сайын ығыспайтынын білдіреді.
Тағы үш қасиет те маңызды. Граниттің жылулық кеңеюі төмен, сондықтан температураның ауытқуы оны металлға қарағанда әлдеқайда аз қозғалтады. Оның ішкі демпфері жоғары, сондықтан діріл пластинаға таралудың орнына жылуға айналады. Және ол магнитті емес және тот баспайды, сондықтан ол сенсорларды бұзбайды немесе уақыт өте келе коррозияны жояды. Нанометрлерді ұстауы керек құрал үшін бұл ойынның мәні.
Жартылай өткізгіш құралда граниттің орналасуы
Біз құралдың дәлдігі анықталатын бөлшектеріне гранит жеткіземіз. Бұған пластиналарды тексеру және метрология кезеңдері, литография және лазерлік платформалар, байланыстыру және орау жабдықтары, CMP және жазықтық рамалары және т.б. кіреді.гранитті гантри жүйелеріолар оптика мен зондтарды дайындама арқылы тасымалдайды.
Дәл сол материал ПХД бұрғылау, оптикалық тексеру және дәл құрастыру үшін машина негіздерін де нығайтады. Әртүрлі құралдар, бірдей талап: өлшеуге қарсы келмейтін анықтамалық материал.
Вафли сатысын анықтайтын мәліметтер
Гранит блогы құрамдас бөлік емес. Оны біртұтас ететін нәрсе - онымен жұмыс істеу. Біз бұрандалы кірістірулерді, вакуумдық каналдарды, ауа өткізгіш қалталарды, кабель жолдарын және бекіту жазықтықтарын тасқа өңдейміз, содан кейін олардың арасындағы геометрияны сызбаға сәйкес ұстаймыз.
Сахна, оптика және жүріс рельстері орнында жылтыратпай тураланатындай етіп тесіктер мен кірістірулер орнатылған. Бұл плита мен плитаның айырмашылығы.дәлдік гранит компоненті— сондықтан жабдық құрастырушылары бізге тек сыртқы өлшемдерін ғана емес, интерфейс сызбасын да жібереді.
Микронды оқитын қол
Гранит тақтайшасындағы тегістік әлі де қолмен өңделеді. Біздің шебер қолмен тегістеушілеріміз үстелде отыз жылға дейін жұмыс істеді. Олар микрон деңгейіндегі биік нүктені, аспап оны растау үшін шақырылғанға дейін әлдеқайда бұрын сезе алады.
Біз бұл дағдыны сертификат емес, бастапқы нүкте ретінде қарастырамыз. Қол ұсынады; құрал лақтырады. Содан кейін әрбір маңызды бет жабдықта жұмыс істейтін біздің тексеру сызығымызда өлшенеді.Mahr (Германия), WYLER (Швейцария) және Renishaw (Ұлыбритания)Сандар сызбаға сәйкес келмейінше ештеңе жіберілмейді.
Сертификатталған, патенттелген және аудиттелуге арналған
ZHHIMG - бұл саладағы ISO 9001, ISO 45001, ISO 14001 және CE сертификаттарына ие жалғыз компания, оны 20-дан астам халықаралық патенттер қолдайды. Жартылай өткізгіштерді тұтынушылар қатаң тексереді, ал біз олардың барлығын тексергенін қалаймыз.
Біздіңдәлдік гранитіGE, Samsung және Oracle сияқты компаниялар пайдаланады және Сингапур Ұлттық университеті және Ұлыбритания, Германия және АҚШ-тағы ұлттық метрология институттары сияқты мекемелермен бірлесіп зерттелген. Ұлттық метрология зертханасы материалды өлшеген кезде, төзімділік маркетингтік сан емес, өлшенген факт болып табылады. Алдау, жасыру, адастыру жоқ — біз осылай жұмыс істейміз.
Неліктен құрылысшылар қайта-қайта оралады
Жартылай өткізгіш құрал жеткізілген кезде, негіз ешкім қайта анықтамайтын бөлшек болып табылады. Ол жұмыс істейді немесе бүкіл машина қалдық болып қалады. Құрылысшылар ZHHIMG-ге қайта оралады, себебі сандар сақталады, әрлеу сақталады және геометрия платформаның қызмет ету мерзімі бойы сақталады.
Егер сіз сахнаны, гантриді немесе машина негізін жобалап жатсаңыз, бізге дәлдік бюджетін, жүктемені және қоршаған ортаны жіберіңіз. Біздің инженерлеріміз граниттің дәрежесін, қалыңдығын және кірістіру орналасуын жұмысқа сәйкестендіреді және сізге оны дәлелдеу үшін өлшеу деректерін береді. Біздің өнімдерімізді зерттеңізаса жоғары дәлдіктегі гранит ерітінділерібастау үшін.
Жарияланған уақыты: 2026 жылғы 17 қыркүйек