Жартылай өткізгіштер өндірісі
Литография: Литография - жартылай өткізгіш өндірісіндегі күрделі тізбек үлгілерін пластиналарға дәл беруді талап ететін негізгі процесс. Гранит негізіндегі XYT дәлдіктегі белсенді діріл оқшаулау қозғалыс платформасы литография жабдықтары үшін тұрақты тірек пен дәл позициялауды қамтамасыз ете алады, экспозиция процесінде пластина үстелінің орналасу дәлдігінің нанометр деңгейіне жетуін қамтамасыз етеді, діріл мен термиялық деформациядан туындаған үлгі ауытқуын тиімді түрде азайтады және чиптің өндіріс дәлдігі мен өнімділігін жақсартады.
Пластинаны тексеру: Пластинаны өндіру аяқталғаннан кейін, ұсақ ақаулар мен ақауларды табу үшін оны жоғары дәлдікпен тексеру қажет. XYT дәлдіктегі белсенді діріл оқшаулау қозғалыс платформасы анықтау процесінде тұрақты қозғалысты және дәл позициялауды сақтау үшін электронды сәулелік микроскоп, атомдық күш микроскопы және т.б. сияқты анықтау жабдықтарын тасымалдай алады, осылайша анықтау жабдықтары пластинаның бетін дәл сканерлей алады, анықтау ажыратымдылығы мен дәлдігін жақсартады.
Оптикалық аспаптар өндірісі
Линзаны тегістеу және жылтырату: Оптикалық линзаларды өндіру процесінде жақсы оптикалық қасиеттерге қол жеткізу үшін линзаларды жоғары дәлдікпен тегістеу және жылтырату қажет. XYT дәлдіктегі белсенді діріл оқшаулау қозғалыс платформасы тегістеу және жылтырату құралдарының қозғалыс жолын дәл басқара алады, ал гранит негізі сыртқы дірілді оқшаулай алады, дірілдің өңдеу дәлдігіне әсерін азайтады, линза бетінің тегістігі мен әрлеуінің жобалау талаптарына сәйкес келуін қамтамасыз етеді.
Оптикалық жүйені құрастыру: Оптикалық жүйені құрастыру процесінде жарықтың дәл таралуын және бейнелеу сапасын қамтамасыз ету үшін әртүрлі оптикалық компоненттерді белгілі бір жерге дәл орнату қажет. Гранит негізі бар XYT дәлдіктегі белсенді діріл оқшаулау қозғалыс платформасы оптикалық компоненттерді орнату және реттеу үшін тұрақты платформаны қамтамасыз ете алады және дәл қозғалысты басқару арқылы оптикалық компоненттерді жоғары дәлдіктегі туралау мен құрастыруға қол жеткізе алады.
аэроғарыш
Инерциялық навигациялық жүйені сынау: Инерциялық навигациялық жүйе аэроғарыш саласындағы маңызды навигациялық жабдық болып табылады және оның дәлдігі әуе кемелерінің навигациялық дәлдігі мен ұшу қауіпсіздігіне тікелей әсер етеді. Инерциялық навигациялық жүйені сынау процесінде әуе кемесінің әртүрлі қозғалыс күйлерін модельдеу үшін жоғары дәлдіктегі айналмалы платформаны пайдалану қажет. XYT дәлдіктегі белсенді діріл оқшаулау қозғалыс платформасын айналмалы үстелге арналған тірек платформасы ретінде пайдалануға болады. Дәл қозғалысты басқару және жақсы діріл оқшаулау өнімділігі арқылы ол инерциялық навигациялық жүйені сынау үшін тұрақты және дәл қозғалмалы ортаны қамтамасыз етеді және сынақтың дәлдігі мен сенімділігін арттырады.
Аэро қозғалтқыш пышағын өңдеу: Аэро қозғалтқыш пышағының өңдеу дәлдігі қозғалтқыштың өнімділігі мен тиімділігіне маңызды әсер етеді. XYT дәлдіктегі белсенді діріл оқшаулау қозғалыс платформасын бес осьті байланыстырушы өңдеу орталығы сияқты пышақтың өңдеу процесіне қолдануға болады, құралдың қозғалыс жолын дәл басқару және тұрақты өңдеу ортасын сақтау арқылы пышақтың жоғары дәлдіктегі өңдеуіне қол жеткізу, пышақтың профилінің дәлдігі мен бетінің сапасының жобалау талаптарына сәйкес келуін қамтамасыз ету.
Ғылыми зерттеулерді сынау
Наноғылым саласындағы зерттеулер: Наноғылым саласындағы зерттеулерде наноматериалдарды дайындау және наноқұрылғыларды жинау сияқты наноөлшемді нысандарды басқару және бақылау қажет. XYT дәлдіктегі белсенді діріл оқшаулау қозғалыс платформасының гранит негізі микроннан төмен немесе тіпті нано деңгейдегі позициялау дәлдігін қамтамасыз ете алады, наноғылыми зерттеулер үшін тұрақты және дәл эксперименттік платформаны қамтамасыз етеді және ғалымдарға нано әлемінің құпияларын жақсырақ зерттеуге көмектеседі.
Биомедициналық бейнелеу: Флуоресценттік микроскопия, конфокальды микроскопия және басқа да бейнелеу құрылғылары сияқты биомедициналық салада жоғары ажыратымдылықтағы биологиялық кескіндерді алу үшін үлгіні дәл орналастыру және тұрақты бейнелеу қажет. XYT дәлдіктегі белсенді діріл оқшаулау қозғалыс платформасы биологиялық үлгілерді тасымалдай алады, дәл қозғалысты басқару және жақсы діріл оқшаулау өнімділігі арқылы үлгілердің дірілдеуін және дрейфін азайта алады, бейнелеудің сапасы мен дәлдігін жақсартады және биомедициналық зерттеушілерге жасуша, тін және басқа микроскопиялық құрылымдар бойынша терең зерттеулер жүргізуге көмектеседі.
Жарияланған уақыты: 2025 жылғы 11 сәуір