Гранит тамаша механикалық қасиеттері, жылу тұрақтылығы және жылу кеңеюінің төмен коэффициенті үшін жартылай өткізгіштер өнеркәсібінде кеңінен қолданылатын материал болып табылады. Дегенмен, жоғары дәлдік пен өнімділікке деген сұраныстың үнемі артуымен жартылай өткізгіш жабдықтардың компоненттерін жасаудың тиімді нұсқалары ретінде балама материалдар пайда болды. Бұл мақалада біз жартылай өткізгіш жабдықтардағы гранит бөлшектеріне арналған кейбір балама материалдарды қарастырамыз және олардың артықшылықтары мен кемшіліктерін салыстырамыз.
Гранит бөлшектеріне арналған балама материалдар
1. Шыны-керамикалық материалдар
Zerodur және Cervit сияқты шыны-керамикалық материалдар кремнийге жақын төмен жылу кеңею коэффициентіне байланысты жартылай өткізгіштер өнеркәсібінде кеңінен қолданыла бастады. Демек, бұл материалдар жартылай өткізгіштерді жасау процесінде жақсы жылу тұрақтылығын және дәлдікті арттыра алады. Zerodur, атап айтқанда, біртектілік пен тұрақтылықтың жоғары дәрежесіне ие, бұл оны литография жабдықтарын өндіруге жарамды етеді.
Артықшылықтары:
- Термиялық кеңеюдің төмен коэффициенті
- Жоғары дәлдік және тұрақтылық
- Жоғары температуралы қолданбаларға жарамды
Кемшіліктері:
- Гранитпен салыстырғанда бағасы жоғары
- Салыстырмалы түрде сынғыш, өңдеу және өңдеу кезінде қиындықтар тудыруы мүмкін
2. Керамика
Алюминий оксиді (Al2O3), кремний карбиді (SiC) және кремний нитриді (Si3N4) сияқты керамикалық материалдар тамаша механикалық қасиеттерге, жоғары температураға төзімділікке және төмен жылу кеңею коэффициентіне ие. Бұл қасиеттер керамиканы пластина сатылары мен патрондары сияқты жоғары жылу тұрақтылығы мен дәлдігін қажет ететін жартылай өткізгіш жабдық бөлшектері үшін өте қолайлы етеді.
Артықшылықтары:
- Жоғары термиялық тұрақтылық және беріктік
- Төмен жылулық кеңею коэффициенті
- Жоғары тозуға төзімділік және химиялық инерттілік
Кемшіліктері:
- Әсіресе өңдеу және пайдалану кезінде сынғыш және жарылуға бейім болуы мүмкін
- Керамиканы өңдеу және жылтырату қиын және уақытты қажет ететін жұмыс болуы мүмкін
3. Металдар
Тот баспайтын болат және титан сияқты металл негізіндегі материалдар жартылай өткізгіш жабдықтардың кейбір бөлшектері үшін керемет өңдеу мүмкіндігі мен жоғары беріктігіне байланысты қолданылған. Олар көбінесе камера бөлшектері, муфталар және беріліс өткізгіштер сияқты жоғары термиялық тұрақтылық қажет емес қолданбаларда қолданылады.
Артықшылықтары:
- Жақсы өңдеу және дәнекерлеу
- Жоғары беріктік және серпімділік
- Кейбір балама материалдармен салыстырғанда төмен баға
Кемшіліктері:
- Жоғары жылу кеңею коэффициенті
- Термиялық кеңею мәселелеріне байланысты жоғары температуралы қолданбаларға жарамсыз
- Коррозияға және ластануға бейім
Қорытынды:
Қорытындылай келе, гранит жартылай өткізгіш жабдықтардың бөлшектері үшін танымал таңдау болғанымен, әрқайсысының өзіндік артықшылықтары мен кемшіліктері бар балама материалдар пайда болды. Шыны-керамикалық материалдар өте дәл және тұрақты, бірақ сынғыш болуы мүмкін. Керамика берік және тамаша термиялық тұрақтылыққа ие, бірақ сонымен бірге сынғыш болуы мүмкін, бұл оларды өндіруді қиындатады. Металдар арзан, өңделетін және иілгіш, бірақ олардың термиялық кеңею коэффициенті жоғары және коррозияға және ластануға бейім. Жартылай өткізгіш жабдықтарға арналған материалдарды таңдаған кезде, қолданудың нақты талаптарын ескеру және құны, өнімділігі және сенімділігі арасындағы теңгерімді материалдарды таңдау өте маңызды.
Жарияланған уақыты: 19 наурыз 2024 ж.