Жоғары деңгейлі өндіріс және озық ғылыми зерттеулер саласында дәл статикалық қысымды ауамен жүзетін қозғалыс платформасы аса дәлдіктегі жұмысты орындаудың негізгі құралы болып табылады. Граниттен жасалған дәлдік негізі платформаның негізгі тірек бөлігі болып табылады және оның өнімділігі жұмыс ортасымен тығыз байланысты. Осы экологиялық талаптарды түсіну және орындау платформаның жоғары дәлдіктегі жұмысын қамтамасыз етумен қатар, кәсіпорынның байланысты салалардағы бәсекеге қабілеттілігін арттырудың маңызды бөлігі бола алады, бұл төменде егжей-тегжейлі сипатталған.
1. Температура: өлшемдік тұрақтылықты қамтамасыз ету үшін дәл бақылау
Гранит тұрақтылығымен танымал болғанымен, оның жылу кеңею коэффициенті нөлге тең емес, және температураның шамалы өзгеруі оның өлшемдік дәлдігіне әсер етуі мүмкін. Жалпы алғанда, граниттің жылу кеңею коэффициенті 5-7 × 10⁻⁶/℃ құрайды. Дәл статикалық қысымды ауамен жүзетін қозғалыс платформасын қолдану сценарийінде бұл шамалы өзгеріс платформамен күшейтіледі, бұл қозғалыс дәлдігінің ауытқуына әкелуі мүмкін. Мысалы, жартылай өткізгіш чип өндірісі процесінде литография процесінде позициялау дәлдігі талаптары данами деңгейіне, қоршаған орта температурасының 1°C ауытқуына, 1 метрлік гранит негізінің бүйір ұзындығына қойылатын талаптар 5-7 микрон сызықтық кеңею немесе жиырылу тудыруы мүмкін, бұл чип литографиясының үлгісінің ауытқуына, өнімділіктің төмендеуіне жеткілікті. Сондықтан, гранитті дәлдік негізімен жабдықталған дәл статикалық қысымды ауа қалқымалы платформасы, жұмыс ортасының оңтайлы температурасы 20°C ±1°C температурада қатаң бақылануы керек, кәсіпорындар жоғары дәлдіктегі тұрақты температуралы ауа баптау жүйесін орната алады, қоршаған орта температурасын үздіксіз бақылап, дәл реттей алады, гранит негізінің өлшемінің тұрақтылығын сақтай алады, платформаның жоғары дәлдіктегі жұмысын қамтамасыз етеді.
2. ылғалдылық: ақылға қонымды бақылау, базаның жұмысын қорғау
Ылғалдылық дәл гранит негіздеріне де айтарлықтай әсер етеді. Жоғары ылғалдылық ортасында гранит су буын оңай сіңіреді, және бетінде конденсация пайда болуы мүмкін, бұл ауа флотация жүйесінің қалыпты жұмысына кедергі келтіріп қана қоймай, сонымен қатар гранит бетінің ұзақ мерзімді эрозиясына әкеліп, оның дәлдігі мен қызмет ету мерзімін төмендетеді. Оптикалық линзаларды тегістеу шеберханасын мысалға алсақ, егер ылғалдылық ұзақ уақыт бойы 60% RH-тан жоғары болса, гранит негізінің бетіне адсорбцияланған су буы ауа қалқымалы қабықшасының біркелкілігін бұзады, нәтижесінде линзаларды тегістеу дәлдігі мен беткі ақаулар төмендейді. Сондықтан жұмыс ортасының салыстырмалы ылғалдылығын 40%-60% RH аралығында бақылау қажет. Кәсіпорындар ылғалдылықты нақты уақыт режимінде бақылау және басқару, дәл гранит негізі үшін қолайлы ылғалдылық ортасын жасау және дәл статикалық қысымды ауа қалқымалы қозғалыс платформасының тұрақты жұмысын қамтамасыз ету үшін ылғалдандырғыштарды, ылғалдылық сенсорларын және басқа жабдықтарды пайдалана алады.
3. тазалық: қатаң бақылау, бөлшектердің кедергісін жою
Шаң бөлшектері дәл статикалық қысымды ауамен жүзетін қозғалыс платформасының «жауы» болып табылады және гранит дәлдік негізіне үлкен зиян келтіреді. Ұсақ бөлшектер газ қалқымалы сырғытпасы мен гранит негізі арасындағы газ қабықшасының саңылауына енгеннен кейін, олар газ қабықшасының біркелкілігін бұзуы, үйкелісті арттыруы және тіпті негіздің бетін сызып тастауы мүмкін, бұл платформа қозғалысының дәлдігіне айтарлықтай әсер етеді. Аэроғарыштық бөлшектердің аса дәлдіктегі өңдеу шеберханасында, егер ауадағы шаң бөлшектері гранит негізіне түссе, өңдеу құралының қозғалыс траекториясы ауытқып, бөлшектердің өңдеу дәлдігіне әсер етуі мүмкін. Сондықтан жұмыс аймағы өте таза болуы керек және 10 000 немесе одан да жоғары тазалық стандартына жетуі керек. Кәсіпорындар жоғары тиімді ауа сүзгілерін (HEPA) орнату арқылы ауадағы шаң бөлшектерін сүзіп, адамдар әкелетін шаңды азайту және гранит негізі мен дәл статикалық қысымды ауамен жүзетін қозғалыс платформасының жоғары дәлдіктегі жұмыс ортасын сақтау үшін қызметкерлерден шаңсыз киім, аяқ киім жапқыштары және т.б. киюді талап ете алады.
4. Діріл: Тегіс кеңістік жасау үшін тиімді оқшаулау
Сыртқы діріл дәл статикалық қысымды ауа қалқымалы платформасының дәлдігіне айтарлықтай кедергі келтіреді, дегенмен дәл гранит негізі белгілі бір діріл басылу қабілетіне ие, бірақ жоғары беріктіктегі діріл оның буферлік шегін бұзуы мүмкін. Зауыт айналасындағы көлік қозғалысы мен ірі механикалық жабдықтардың жұмысы нәтижесінде пайда болған діріл жер арқылы гранит негізіне беріледі, бұл платформа қозғалысының дәлдігіне кедергі келтіреді. Жоғары деңгейлі CMM-де діріл өлшеу зондының және өлшенетін дайындаманың арасындағы жанасудың тұрақсыздығына әкелуі мүмкін, бұл өлшеу деректерінің ауытқуына әкеледі. Бұл мәселені шешу үшін жабдықты орнату аймағында діріл оқшаулағыш төсеніштерін төсеу, діріл оқшаулау негізін салу немесе сыртқы дірілді белсенді түрде өтеу үшін белсенді діріл оқшаулау жүйесін пайдалану және гранит дәлдік негізі мен дәл статикалық қысымды ауа қалқымалы қозғалыс платформасы үшін тыныш және тұрақты жұмыс ортасын жасау сияқты тиімді діріл оқшаулау шараларын қабылдау қажет.
Жоғарыда аталған экологиялық талаптарға сай болу үшін, дәл статикалық қысымды ауамен жүзетін қозғалыс платформасында гранитті дәлдік негізінің артықшылықтарын толық пайдалану, платформаның әртүрлі салалар үшін жоғары дәлдіктегі және жоғары тұрақтылықтағы қозғалысты басқару қызметтерін ұсынуын қамтамасыз ету. Егер кәсіпорындар өндірістік ортада осы бөлшектерге назар аудара алса, олар дәлдік өндірісінде, ғылыми зерттеулерде және басқа да салаларда мүмкіндікті пайдаланады, бәсекеге қабілеттілігін арттырады және тұрақты дамуға қол жеткізеді.
Жарияланған уақыты: 2025 жылғы 10 сәуір