Қазіргі жоғары технологиялық өндіріс жағдайында «дәлдік» қозғалыстағы нысанаға айналды. Жартылай өткізгіштер, аэроғарыш және медициналық құрылғылар салалары кішірек түйіндер мен қатаң төзімділікке ұмтылған сайын, біздің машиналарымыздың механикалық негіздері қайта қарастырылуда. Инженерлер мен жүйелік интеграторлар үшін пікірталас көбінесе қозғалыс жүйелерінің идеалды конфигурациясына бағытталған: құрылымдық қаттылықты жоғалтпай үйкеліссіз қозғалысқа қалай қол жеткіземіз?
Жауап ауа мойынтіректері, сызықтық қозғалтқыштар және т.б. арасындағы синергияда жатыр.Дәлдік сатысының компоненттері— мұның бәрі табиғи граниттің теңдессіз тұрақтылығымен қолдау табады. ZHHIMG компаниясында біз еуропалық және американдық нарықтарда интеграцияланған гранит-ауа мойынтіректері шешімдеріне қарай айтарлықтай өзгерісті байқадық. Бұл мақалада осы технологиялардың техникалық нюанстары және олардың нақты әлемдегі қолданылуы қарастырылады.
Ауа мойынтірегі және сызықтық қозғалтқыш: симбиотикалық байланыс
«Ауа мойынтірегі және сызықтық қозғалтқыш» туралы талқылаған кезде, оларды бәсекелес технологиялар ретінде қарастыру жиі кездесетін қателік болып табылады. Жоғары өнімді дәлдік кезеңінде олар екі түрлі, бірақ бір-бірін толықтыратын рөлдерді орындайды.
Ауа мойынтіректер бағыттаушы рөлді атқарады. Әдетте 5-тен 10 микронға дейінгі қысымды ауаның жұқа қабатын пайдалану арқылы олар қозғалатын каретка мен бағыттаушы бет арасындағы физикалық жанасуды жояды. Бұл нөлдік статикалық үйкеліске (жабысу) және беттің біркелкі емес жерлерін орташалайтын «тегістеу» әсеріне әкеледі.
Ал сызықтық қозғалтқыштар, керісінше, жетек қызметін қамтамасыз етеді. Электр энергиясын магнит өрістері арқылы тікелей сызықтық қозғалысқа түрлендіру арқылы олар қорғасын бұрандалары немесе белдіктер сияқты механикалық беріліс элементтеріне деген қажеттілікті жояды. Бұл теңдеуден кері соққы мен гистерезисті алып тастайды.
Бұл екеуі жұптасқан кезде, нәтиже «байланыссыз кезең» болады. Жетек те, бағыттаушы да үйкеліске қатыспайтындықтан, жүйе шексіз ажыратымдылыққа және мінсіз қайталануға қол жеткізе алады. Дегенмен, мұндай жүйе тек оның тірек беті сияқты дәл болады, бұл бізді граниттің қажеттілігіне әкеледі.
Дәлдік сатысының компоненттерінің маңызды рөлі
Дәлдік сатысы тек қозғалтқыш пен мойынтіректен артық; ол күрделі құрастыруДәлдік сатысының компоненттеріүйлесімді жұмыс істеуі керек. Ультра дәлдіктегі қолданбаларда бұл компоненттерге арналған материалды таңдау ұзақ мерзімді өнімділіктің шешуші факторы болып табылады.
Алюминий немесе болат сияқты дәстүрлі материалдар термиялық кеңеюге және ішкі кернеуді азайтуға бейім, бұл уақыт өте келе сахнаның майысуына әкелуі мүмкін. Жоғары өнімді сахналар қазір салмақты азайту үшін қозғалатын бөлшектер үшін керамикалық немесе арнайы көміртекті талшықтарды пайдаланады, бірақ «статикалық» компоненттер - негіз және бағыттаушылар - тек метрологиялық дәрежедегі гранитке негізделген.
Бұл компоненттердің құрылымдық тұтастығы сызықтық қозғалтқыш жоғары жылдамдықпен үдеген кезде реакция күштерінің ауа мойынтірегінің жұқа қабығын бұзатын «қоңырау» немесе діріл тудырмауын қамтамасыз етеді. Бұл тұрақтылық тұрақты жұмыс істеу үшін қажетті субмикронды ұшу биіктігін сақтау үшін өте маңызды.
Неліктен гранитті ауа мойынтіректері салалық стандарт болып табылады
«Граниттік ауа мойынтіректері» термині ауа мойынтірек технологиясын дәлдікпен жасалған гранит бағыттаушыға тікелей біріктіруді білдіреді. Бұл комбинация бірнеше техникалық себептерге байланысты алтын стандартқа айналды:
-
Өте тегістік: Ауа мойынтіректері ауа қабықшасының құлауына жол бермеу үшін ерекше тегіс бетті қажет етеді. Гранитті кез келген өңделген металл бетінен асатын төзімділік шегіне дейін қолмен тегістеуге болады, бұл мінсіз «жол» береді.
-
Діріл демпфері: Граниттің табиғи демпферлеу коэффициенті жоғары. Жоғары күшті сызықтық қозғалтқышпен басқарылатын жүйеде гранит өлшеу деректерінде «шу» тудыруы мүмкін жоғары жиілікті энергияны сіңіреді.
-
Химиялық және магниттік бейтараптық: Шойыннан айырмашылығы, гранит тот баспайды немесе магниттелмейді. Магниттік кедергі пластинаны бұзуы мүмкін жартылай өткізгіш қолданбалар үшін немесе коррозия қаупі бар ылғалды таза бөлмелерде гранит жалғыз қолайлы таңдау болып табылады.
Стратегиялық қолданыстар: жартылай өткізгіштерден метрологияға дейін
ПрактикалықГраниттен жасалған ауа мойынтіректерін қолданусалалар автоматтандыруға және нанометрлік масштабтағы тексеруге көшкен сайын кеңейіп келеді.
-
Жартылай өткізгіш литография және тексеру: Микрочиптерді өндіру кезінде саты пластинаны оптикалық бағанның астына нанометрлік дәлдікпен жылжытуы керек. Үйкеліс тудыратын кез келген діріл кескінді бұлыңғыр етеді. Гранит ауа өткізгіш сатылары бұл процестер үшін қажетті «үнсіз» ортаны қамтамасыз етеді.
-
Лазерлік микроөңдеу: Медициналық стенттерде немесе дисплейлерде күрделі өрнектерді кескен кезде, сызықтық қозғалтқыштар мен ауа мойынтіректері қамтамасыз ететін тұрақты жылдамдық механикалық мойынтіректер қайталай алмайтын тегіс жиек сапасын қамтамасыз етеді.
-
Оптикалық метрология: Жоғары деңгейлі CMM (координаталық өлшеу машиналары) зондтың қозғалысы еденнің дірілінен толығымен ажыратылғанын қамтамасыз ету үшін гранитті ауа мойынтіректерін пайдаланады, бұл бөлшектерді микрон деңгейіндегі дәлдікпен сертификаттауға мүмкіндік береді.
Дәлдік инженериясындағы ZHHIMG артықшылығы
ZHHIMG компаниясында біз жанаспайтын қозғалысты басқаруға көшу сапаға айтарлықтай инвестиция салатынын түсінеміз. Біздің тәжірибеміз гранит құрылымдарын дәл өңдеу және тегістеуде жатыр, бұл осы озық кезеңдерді мүмкін етеді. Ең жоғары тығыздықтағы қара гранитті алу және бетті тексеру үшін озық интерферометрияны пайдалану арқылы біз әрбір...Дәлдік сатысының компонентіБіз әлемдік метрология нарығының қатаң талаптарына сай өнім шығарамыз.
Қозғалысты басқарудың эволюциясы өткеннің «ұсақтау және тозу» жүйесінен болашақтың «қалқымалы және жетек» жүйесіне ауысуда. Граниттік ауа мойынтіректері мен сызықтық қозғалтқыштардың интеграциясын жетілдіруді жалғастыра отырып, ZHHIMG келесі буын технологиясы салынатын негізді қамтамасыз етуге міндеттенеді.
Жарияланған уақыты: 20 қаңтар 2026 ж.