Жартылай өткізгіш өндірісі: Чип өндірісі процесінде фотолитография процесі тізбек үлгісін пластинаға дәл беруі керек. Бір осьті ауамен жүзетін ультра дәлдіктегі қозғалыс модулінің гранит негізі литография жабдықтарындағы пластина үстеліне жоғары дәлдікті орналастыруды және тұрақты тірек бере алады. Мысалы, ASML және басқа да халықаралық деңгейде танымал литография машиналарын өндірушілер өздерінің жоғары сапалы жабдықтарында гранит негізіндегі ауамен жүзетін қозғалыс модульдерін пайдаланады, олар литография үлгісінің дәлдігін қамтамасыз ету үшін нанометр деңгейінде пластинаның орналасу дәлдігін басқара алады, осылайша чиптің интеграциясы мен өнімділігін жақсартады.
Дәл өлшеу саласы: CMM - өнеркәсіптік өндірісте кеңінен қолданылатын дәл өлшеу жабдығы, ол дайындаманың өлшемін, пішінін және орналасу дәлдігін өлшеу үшін қолданылады. Гранит негізіндегі бір осьті ауа қалқымалының ультра дәлдіктегі қозғалыс модулі CMM қозғалыс платформасы ретінде пайдаланылуы мүмкін, ол жоғары дәлдіктегі сызықтық қозғалысты жүзеге асыра алады және өлшеу зондының тұрақты қозғалыс траекториясын қамтамасыз етеді. Мысалы, Hexagon компаниясының жоғары деңгейлі CMM-і бұл комбинацияны микрон деңгейіне дейінгі өлшеу дәлдігімен үлкен және күрделі бөлшектерді өлшеу үшін пайдаланады, бұл автомобиль, аэроғарыш және басқа да салаларда бөлшектердің сапасын бақылауға берік кепілдік береді.
Аэроғарыш саласы: Аэроғарыш бөлшектерін өңдеу және сынау кезінде жоғары дәлдік қажет. Мысалы, ұшақ қозғалтқышының қалақтарын өңдеу үшін қалақ профилінің дәлдігін қамтамасыз ету үшін құралдың қозғалыс траекториясын дәл басқару қажет. Бір осьті ауа қалқымалы ультра дәлдіктегі қозғалыс модулінің гранит негізін бес осьті өңдеу орталығына және басқа жабдықтарға қолдануға болады, бұл құралдың жоғары дәлдіктегі қозғалысын басқаруды қамтамасыз етеді және қалақтың өңдеу дәлдігі жобалау талаптарына сәйкес келетініне көз жеткізеді. Сонымен қатар, аэроғарыш қозғалтқышын құрастыру процесінде бөлшектердің құрастыру дәлдігін анықтау үшін жоғары дәлдіктегі өлшеу жабдықтарын пайдалану қажет. Гранит негізінің ауа қалқымалы қозғалыс модулі құрастыру сапасын қамтамасыз ету үшін өлшеу жабдықтарына тұрақты тірек пен дәл қозғалыс бере алады.
Оптикалық тексеру саласы: Оптикалық компоненттерді өндіру және сынау процесінде оптикалық компоненттерді жоғары дәлдіктегі позициялау және өлшеу қажет. Мысалы, айна мен линзалар сияқты жоғары дәлдіктегі оптикалық компоненттерді өндіру кезінде бет пішінінің дәлдігін анықтау үшін интерферометрлер мен басқа да жабдықтарды пайдалану қажет. Бір осьті ауамен жүзетін ультра дәлдіктегі қозғалыс модулінің гранит негізін интерферометрдің қозғалыс платформасы ретінде пайдалануға болады, ол микроннан төмен позициялау дәлдігін жүзеге асыра алады және оптикалық компоненттерді анықтау үшін дәл деректерді қолдауды қамтамасыз етеді. Сонымен қатар, лазерлік өңдеу жабдықтарында лазер сәулесінің сканерлеу траекториясын басқару үшін жоғары дәлдіктегі қозғалыс платформасын пайдалану қажет, ауамен жүзетін қозғалыс модулінің гранит негізі жоғары дәлдіктегі лазерлік өңдеуге қол жеткізу үшін осы талапқа сай келеді.
Жарияланған уақыты: 07.04.2025