Гранит - жартылай өткізгіш өндіріс өнеркәсібінде алмастырылмайтын материалға айналған қатты жыныстың бір түрі. Оның қасиеттері оған жоғары температураға төтеп беруге мүмкіндік береді, бұл оны жартылай өткізгіш құрылғыларды өндіру процестерінің әртүрлі кезеңдерінде қолдануға өте ыңғайлы етеді. Нәтижесінде, гранит құрастыру жартылай өткізгіш құрылғыларды өндіру процестерінде кеңінен қолданылу салаларын тапты.
Гранит құрастырудың ең көп қолданылатын салаларының бірі - жоғары дәлдіктегі станок құрылымдарын жасау. Граниттің қаттылығы мен тұрақтылығы деформациясы аз немесе мүлдем жоқ дәл және дәл құралдарды жасауға мүмкіндік береді. Дәлдіктің бұл деңгейі жартылай өткізгіш өндіріс процестерінде, мысалы, иондық имплантацияда қажет, мұнда сәуле пластинаға дәл бағытталуы керек.
Жартылай өткізгіш өндірісінде гранит құрастырудың тағы бір қолданылуы метрология жабдықтарын жасауда. Метрология жабдықтары жартылай өткізгіш өндіріс процестерінде өте маңызды, себебі ол өндірілетін құрылғылардың дәлдігін өлшейді және тексереді. Граниттің өлшемдік тұрақтылығы, төмен жылу кеңеюі және тамаша дірілге қарсы қасиеттері оны метрология жабдықтарын жасауда таңдаулы материал етеді. Бұған пластиналарды қою және тексеру кезінде қолданылатын үлкен гранит беттері кіреді.
Оптикалық үстелдер жартылай өткізгіштер өнеркәсібінде гранит құрастыруды кеңінен қолданудың тағы бір саласы болып табылады. Оптикалық үстелдер деректерді беру үшін толқын бағыттағыштар сияқты оптикалық құрылғыларды сынауда қолданылады. Граниттің жазықтығы, төмен жылу кеңеюі, жоғары қаттылығы және механикалық тұрақтылығы оған оптиканы орнату және орналастыру үшін өте тұрақты бетті қамтамасыз етуге мүмкіндік береді. Гранит оптикалық үстелдері оптикалық құрылғыларды дәл, дәл сынау үшін қажетті тұрақтылық пен қаттылықты қамтамасыз ете алады.
Гранит пластина патрондары мен сатыларын жасауда да қолданылады. Жартылай өткізгіштерді өндіру процесінде дәлдікпен туралау және позицияны басқару өте маңызды. Өңдеу кезінде пластиналарды орнында ұстап тұратын пластина патрондары жоғары температура мен вакуум жағдайларына төтеп бере отырып, позиция дәлдігін сақтауы керек. Гранит кең температура диапазонында тамаша өлшемдік тұрақтылыққа ие және вакуум жағдайларына төтеп бере алады, бұл оны пластина патрондарын жасау үшін өте қолайлы етеді. Пластинаны бір позициядан екінші позицияға жылжытуда қолданылатын сатылар жартылай өткізгіштерді жасау процесінде қозғалыстардың циклдік тізбегінен өтеді. Гранит құрастыруы үздіксіз және қайталанатын қозғалыс циклдарына төтеп беру үшін қажетті тұрақтылық пен беріктікті қамтамасыз етеді.
Қорытындылай келе, жартылай өткізгіш өндіріс өнеркәсібінде гранит құрастырмасын қолдану аясы кең. Оның өлшемдік тұрақтылығы, төмен термиялық кеңеюі, жоғары қаттылығы және діріл демпфері сияқты қасиеттері оны жартылай өткізгіш құрылғыларды өндіру процестерінің әртүрлі кезеңдерінде қолдануға тамаша материал етеді. Жоғары дәлдіктегі станоктар мен метрология жабдықтарын жасаудан бастап оптикалық үстелдер мен пластина сатылары мен патрондарына дейін граниттің қасиеттері жоғары сапалы жартылай өткізгіш құрылғыларды өндіруге қол жеткізу үшін қажетті тұрақтылықты, дәлдікті және қайталануды қамтамасыз етуде шешуші рөл атқарады.
Жарияланған уақыты: 2023 жылғы 6 желтоқсан