Жартылай өткізгіштер өнеркәсібі 2 нм-ден төмен технологиялық түйіндерді белсенді түрде зерттегендіктен, механикалық қателіктер шегі іс жүзінде жойылды. Бұл жоғары тәуекелді ортада технологиялық камераның тұрақтылығы енді екінші кезектегі мәселе емес; ол өнімділік үшін негізгі кедергі болып табылады. ZHHIMG компаниясында біз әлемдік OEM өндірушілерінің жартылай өткізгіш негізгі жабдықтардың құрылымдық тұтастығына көзқарасындағы түбегейлі өзгерісті байқап отырмыз.
Тыныштық физикасы: дірілді басудың озық әдістері
Қазіргі заманғы пластина өндірісінде бұрын «фондық шу» деп саналатын дірілдер қазір апатты жағдайға айналды. Нысанның HVAC жүйесінен туындайтын микротербелістер немесе жоғары жылдамдықты сканерлеу сатысының ішкі инерциясы болсын, бақыланбайтын энергия қабаттасу қателіктері мен бұлыңғыр үлгілерге тікелей әсер етеді.
Жартылай өткізгіштер өндірісіндегі қазіргі дірілді демпферлеу әдістері көп қабатты архитектураға айналды. Пассивті демпферлеу - минералды құю немесе дәл гранит сияқты жоғары массалы материалдарды пайдалану - негіз болып қала берсе де, белсенді демпферлеу интеграциясының күрт өсуін байқап отырмыз.
Белсенді жүйелер пьезоэлектрлік жетектерді және нақты уақыт сенсорларын пайдаланып, қарсы жиіліктерді генерациялау арқылы тербелістерді «жояды». Дегенмен, белсенді жүйелердің тиімділігі негізгі материалдың демпферлік коэффициентімен шектеледі. Міне, осы жерде ZHHIMG компаниясының жоғары демпферлік құрылымдық материалдар саласындағы тәжірибесі маңызды рөл атқарады. Белсенді электрониканы табиғи инертті гранит немесе композиттік негізбен біріктіру арқылы біз нано-позициялау кедергісіз жүзеге асырылатын «Тыныш аймақты» қамтамасыз етеміз.
Үйкеліссіз қозғалыстың пайда болуы: ауа мойынтіректер технологиясы
Жоғары өткізу қабілетіне деген сұраныс дәстүрлі механикалық мойынтіректерді шектеуіне әкелді. Үйкеліс жылуға әкеледі, ал жылу дәлдіктің жауы - термиялық кеңеюге әкеледі. Бұл кеңінен қолданылуына әкелдідәлдік сатылары үшін ауа подшипник технологиясы.
Ауа мойынтіректері әдетте қалыңдығы бірнеше микрон болатын қысымды ауаның жұқа қабатына түсетін жүктемені көтереді. Физикалық байланыс болмағандықтан, статикалық үйкеліс (жабысу) нөлге тең. Бұл мыналарға мүмкіндік береді:
-
Гистерезиссіз қозғалыс: Сахнаның әр уақытта дәл сол нанометрлік координатаға оралуын қамтамасыз ету.
-
Жылдамдық тұрақтылығы: Электронды сәулені тексеру сияқты сканерлеу қолданбалары үшін өте маңызды, мұнда механикалық мойынтіректің ең аз «тісті бұрылысы» да кескінді бұрмалайды.
-
Өте ұзақ қызмет ету мерзімі: Бір-біріне тиетін бөлшектер болмағандықтан, тозу және бөлшектердің пайда болуы болмайды, бұл оларды 1-сыныпты таза бөлме орталары үшін өте қолайлы етеді.
ZHHIMG компаниясында біз осы ауа мойынтіректеріне арналған бағыттаушы жолдар ретінде қызмет ететін ультра жалпақ гранит беттерін шығарамыз. Дұрыс жұмыс істеуі үшін бұл беттерді жарық толқын ұзындығының бөліктерімен өлшенген тегістікке дейін тегістеу керек.
Жартылай өткізгіш капиталды жабдықтар саласындағы үрдістер: 2026 және одан кейінгі жылдар
2026 жылға қарай жылжыған сайын,жартылай өткізгіштік капитал жабдықтарындағы үрдістер«Үш тірекпен» сипатталады: модульдеу, тұрақтылық және жылулық бақылау.
-
Модульдік платформа дизайны: OEM өндірушілері «қосып, іске қосатын» базалық модульдерді іздейді. Әрбір құрал үшін жаңа базаны жобалаудың орнына, олар литография, метрология немесе ою үшін бейімделетін стандартталған ZHHIMG дәлдік негіздерін пайдаланады.
-
Жылуды басқару: EUV (өте ультракүлгін) жарық көздері орасан зор жылу шығаратындықтан, машина негізі үлкен жылу қабылдағыш ретінде қызмет етуі керек. Біз $<0.01^\circ\text{C}$ дельтасын сақтау үшін күрделі салқындату арналарын минералды және гранит компоненттерімізге тікелей біріктіріп жатырмыз.
-
Вакуумдық үйлесімділік: Жоғары вакуумдық ортаға көбірек процестер ауысқан сайын, пайдаланылатын материалдардың газдануы нөлге тең болуы керек. Біздің мамандандырылған гранит және керамикалық өңдеуіміз вакуумның тұтастығының құрылымдық іргетаспен ешқашан бұзылмауын қамтамасыз етеді.
ZHHIMG-мен стратегиялық серіктестік
ZHHIMG тек құрамдас бөліктерді өндіруші ғана емес; біз қозғалысты басқару жеткізу тізбегіндегі стратегиялық серіктеспіз. Біздің Қытайдағы зауытымыз саланың ең күрделі тұрақтылық мәселелерін шешу үшін Кремний алқабы мен Эйндховендегі инженерлік топтармен тығыз үйлестіруде жұмыс істейді.
Біздің меншікті тегістеу әдістерін және терең түсінігімізді пайдалану арқылыдірілді басатын әдістер, біз клиенттерімізге Мур заңының шекараларын кеңейтуге мүмкіндік береміз. Сіз келесі буын ALD (атомдық қабатты тұндыру) құралын немесе жоғары жылдамдықты пластина зондтау құралын жасап жатсаңыз да, негізі ZHHIMG-ден басталады.
Қорытынды
Жартылай өткізгіштер өндірісінің эволюциясы физика заңдарына қарсы жарыс болып табылады. Сала 2026 жылға қарай жылжыған сайын, ауа мойынтіректерінің дәлдігі мен озық демпферлеуге баса назар аударыла береді. Бұл үрдістерден озып кету үшін тәжірибе мен инновацияға негізделген негіз қажет - сөзбе-сөз және бейнелі мағынада.
Жарияланған уақыты: 2026 жылғы 26 қаңтар