Жартылай өткізгіштер өндірісі саласында дәлдік маңызды. Чип өндірісі технологиясы нанометрлік деңгейге, тіпті нанометрлік деңгейге қарай дамып келе жатқандықтан, кез келген кішкентай қателік чип өнімділігінің төмендеуіне немесе тіпті толық істен шығуына әкелуі мүмкін. Ең жоғары дәлдік үшін бәсекелестікте, бірегей физикалық және механикалық қасиеттері бар гранитті дәлдік аксессуарлары чип өндірісінің наноөлшемді дәлдігін қамтамасыз етудің негізгі элементіне айналды.
Керемет тұрақтылық дәлдіктің негізін қалайды
Жартылай өткізгіш өндіріс цехындағы қоршаған орта күрделі, ал діріл және температураның өзгеруі сияқты сыртқы факторлар өндіріс дәлдігіне үнемі қауіп төндіреді. Граниттен жасалған дәлдік аксессуарлары өте жоғары тұрақтылыққа ие, бұл чип өндірісі үшін берік негіз болып табылады. Оның ішкі құрылымы тығыз және біркелкі, жүздеген миллион жылдар бойы геологиялық процестер арқылы қалыптасқан және табиғи жоғары демпферлік сипаттамаға ие. Сыртқы дірілдер өндірістік жабдыққа берілгенде, граниттен жасалған дәлдік бөлшектері діріл энергиясының 80%-дан астамын тиімді сіңіріп, әлсірете алады, бұл дірілдің дәлдік жабдыққа әсерін айтарлықтай азайтады.
Бұл сипаттама фотолитография процесінде ерекше маңызды. Фотолитография чиптердің дизайн үлгілерін кремний пластиналарына ауыстырудағы маңызды қадам болып табылады, бұл фотолитография машинасының жұмыс үстелінің өте жоғары тұрақтылықты сақтауын талап етеді. Граниттен жасалған дәлдіктегі жұмыс үстелі шеберхана еденінен және басқа жабдықтардан діріл кедергісін оқшаулай алады, бұл фотолитография машинасының экспозиция процесі кезінде кремний пластинасы мен фотолитография маскасының арасындағы салыстырмалы позиция қателігінің нанометр деңгейінде басқарылуын қамтамасыз етеді, осылайша үлгінің дәл берілуін қамтамасыз етеді.
Сонымен қатар, граниттің термиялық кеңею коэффициенті өте төмен, әдетте 5-тен 7 × 10⁻⁶/℃ аралығында болады. Жартылай өткізгіштерді өндіру процесінде жабдықтың жұмысы кезінде пайда болатын жылу және шеберхана ортасының температурасының ауытқуы материалдардың термиялық деформациясын тудыруы мүмкін. Граниттен жасалған дәлдік аксессуарлары температураның өзгеруіне дерлік әсер етпейді және әрқашан тұрақты өлшемдер мен пішіндерді сақтай алады. Мысалы, жоңқаларды ою процесінде температураның аздап өзгеруі де ою жабдығының негізгі компоненттерінің термиялық кеңеюіне әкелуі мүмкін, бұл ою тереңдігі мен дәлдігінде ауытқуларға әкеледі. Дегенмен, граниттен жасалған дәлдік аксессуарларын тірек және жүктеме көтергіш компоненттер ретінде пайдалану бұл жағдайдың алдын алып, ою процесінің жоғары дәлдігі мен тұрақтылығын қамтамасыз етеді.
Жоғары дәлдіктегі өңдеу және беттік сапа артықшылықтары
Граниттен жасалған дәл бөлшектерді жоғары дәлдікпен өңдеу технологиясы да чиптерді өндіру дәлдігін қамтамасыз етуде маңызды фактор болып табылады. Жоғары дәлдікті өңдеудің озық технологиясы арқылы гранит аксессуарларының беткі тегістігі, түзулігі және басқа да дәлдік көрсеткіштері өте жоғары деңгейге жетуі мүмкін. Мысалы, CNC тегістеу және жылтырату әдістерін қолдану арқылы граниттің беткі кедір-бұдырлығын нанометр деңгейіне дейін төмендетуге болады, бұл беткі әрлеуді айна тәрізді әсерге жақындатады.
Чип өндірісі жабдықтарында гранитті дәл бағыттаушы рельстер мен сырғытпалар сияқты компоненттердің жоғары дәлдіктегі беткі сапасы қозғалатын бөлшектер арасындағы үйкеліс пен тозуды айтарлықтай азайта алады. Бұл жабдықтың қозғалысының тұрақтылығы мен дәлдігін арттырып қана қоймай, сонымен қатар жабдықтың қызмет ету мерзімін ұзартады. Чипті орау жабдықтарын мысал ретінде алайық. Дәл гранитті бағыттаушы рельстер чипті алу және орналастыру кезінде орау басының қозғалыс траекториясының қателігін микрометр немесе тіпті нанометр деңгейінде басқаруды қамтамасыз ете алады, осылайша чип пен орау негізі арасында дәл туралау мен сенімді байланысқа қол жеткізіледі.
Тозуға қарсы және ұзақ мерзімді тұрақтылық
Жартылай өткізгіш өндірісі үздіксіз және ұзақ мерзімді өндіріс процесі болып табылады, және жабдық ұзақ уақыт бойы тұрақты жұмыс істеуі керек. Гранит тозуға төзімділігі жоғары, Моос қаттылығы 6-дан 7-ге дейін, ұзақ мерзімді механикалық қозғалыстар мен жүктемелерге төтеп бере алады. Чип өндірісі жабдықтарының күнделікті жұмысында граниттің дәл бөлшектері тозуға бейім емес және әрқашан тұрақты өнімділік пен дәлдікті сақтай алады.
Басқа материалдармен салыстырғанда, гранит ұзақ мерзімді пайдалану кезінде шаршау деформациясына немесе өнімділіктің төмендеуіне ұшырамайды. Бұл гранит дәлдік компоненттерін пайдаланатын чип өндірісі жабдықтары ұзақ мерзімді пайдаланудан кейін де жоғары дәлдік пен тұрақтылықты сақтай алатынын, жабдықтың дәлдігінің төмендеуінен туындаған өнім ақауларының деңгейін тиімді түрде төмендете алатынын білдіреді. Жартылай өткізгіш өндірушілер үшін бұл өндіріс тиімділігін арттырып қана қоймай, сонымен қатар өндіріс шығындарын да азайтады.
Қорытынды
Жартылай өткізгіштер өндірісінде наноөлшемді дәлдікке жету жолында гранитті дәлдік бөлшектері өздерінің ерекше тұрақтылығымен, жоғары дәлдіктегі өңдеуімен және ұзақ мерзімді сенімділігімен алмастырылмайтын рөл атқарады. Фотолитографиядан бастап оюға дейін, чиптерді қаптаудан бастап сынауға дейін гранитті дәлдік аксессуарлары чип өндірісіндегі әрбір негізгі буын арқылы өтеді, бұл чиптерді жоғары дәлдіктегі өндіруге берік кепілдік береді. Жартылай өткізгіш технологиясының үздіксіз дамуымен дәлдікке қойылатын талаптар барған сайын арта түседі. Граниттік дәлдік бөлшектері де бұл салада маңызды рөл атқара береді, жартылай өткізгіштер өнеркәсібінің үнемі жаңа биіктерге жетуіне көмектеседі. Қазір немесе болашақта болсын, гранитті дәлдік бөлшектері жартылай өткізгіштер өндірісінде нанометрлік деңгейдегі дәлдікті қамтамасыз ететін негізгі күш болып қала береді.
Жарияланған уақыты: 2025 жылғы 7 мамыр