Жартылай өткізгіш өндірісі цехында чип өндірісі процесінің қоршаған орта жағдайлары мен жабдықтың дәлдігіне қойылатын талаптары өте жоғары, және кез келген аздаған ауытқу чип өнімділігінің айтарлықтай төмендеуіне әкелуі мүмкін. XYZT дәлдіктегі гантри қозғалыс платформасы наноөлшемді дәлдікке жету үшін берік негіз қалау мақсатында платформаның басқа бөліктерімен бірлесіп жұмыс істеу үшін гранит компоненттеріне сүйенеді.
Керемет дірілді блоктау қасиеттері
Жартылай өткізгіш өндірістік шеберханада перифериялық жабдықтар мен қызметкерлердің жұмысы діріл тудыруы мүмкін. Гранит компоненттерінің ішкі құрылымы тығыз және біркелкі, тиімді діріл «кедергісі» сияқты табиғи жоғары демпферлік сипаттамаларға ие. Сыртқы діріл XYZT платформасына берілгенде, гранит компоненті діріл энергиясының 80%-дан астамын тиімді түрде әлсіретіп, платформаның қозғалыс дәлдігіне дірілдің кедергісін азайта алады. Сонымен қатар, платформа гранит компоненттерімен бірге жұмыс істейтін жоғары дәлдіктегі ауа қалқымалы бағыттаушы жүйесімен жабдықталған. Ауа қалқымалы бағыттаушы платформаның қозғалмалы бөліктерінің жанаспайтын аспалы қозғалысын жүзеге асыру және механикалық үйкеліс тудыратын шағын дірілді азайту үшін жоғары қысымды газбен түзілген тұрақты газ қабықшасын пайдаланады. Екеуі бірге чип литографиясы және ою сияқты негізгі процестерде платформаны орналастыру дәлдігінің әрқашан нанометр деңгейінде сақталуын қамтамасыз етеді және діріл тудыратын чип тізбегінің ауытқуын болдырмайды.
Тамаша термиялық тұрақтылық
Цехтағы температура мен ылғалдылықтың ауытқуы чип өндірісі жабдықтарының дәлдігіне үлкен әсер етеді. Граниттің жылу кеңею коэффициенті өте төмен, әдетте 5-7 × 10⁻⁶/℃ аралығында, температура өзгерген кезде өлшемі іс жүзінде өзгермейді. Цехтағы күн мен түннің арасындағы температура айырмашылығы немесе жабдықтың жылу өндірісі қоршаған орта температурасының ауытқуына әкелсе де, гранит компоненттері жылу кеңеюі мен жиырылуына байланысты платформаның деформациясын болдырмау үшін тұрақты болып қала алады. Сонымен қатар, платформамен жабдықталған ақылды температураны басқару жүйесі қоршаған орта температурасын нақты уақыт режимінде бақылайды, ауа баптау және жылу тарату жабдықтарын автоматты түрде реттейді және цех температурасын 20°C ±1°C деңгейінде ұстайды. Граниттің жылу тұрақтылығының артықшылықтарымен бірге платформаның ұзақ мерзімді жұмыс істеуі, әр осьтің қозғалыс дәлдігі әрқашан чип өндірісінің нанометрлік дәлдік стандарттарына сәйкес келуін қамтамасыз етеді, чип литографиясының үлгісінің өлшемінің дәлдігін, ою тереңдігінің біркелкі болуын қамтамасыз етеді.
Таза қоршаған орта қажеттіліктерін қанағаттандыру
Жартылай өткізгіш өндіріс цехы шаң бөлшектерінің чипті ластауын болдырмау үшін жоғары деңгейдегі тазалықты сақтауы керек. Гранит материалының өзі шаң шығармайды, ал беті тегіс, шаңды сіңіру оңай емес. Платформа тұтастай алғанда сыртқы шаңның енуін азайту үшін толығымен жабық немесе жартылай жабық құрылымдық дизайнды қолданады. Ішкі ауа айналымы жүйесі цехтың таза ауа баптау жүйесімен байланысты, бұл ішкі ауа тазалығы чип өндірісі үшін қажетті деңгейге жетуін қамтамасыз етеді. Бұл таза ортада гранит компоненттері шаң эрозиясына байланысты өнімділікке әсер етпейді, ал платформаның жоғары дәлдіктегі сенсорлары мен қозғалтқыштары сияқты негізгі компоненттері де тұрақты жұмыс істей алады, бұл чип өндірісі үшін үздіксіз және сенімді наноөлшемді дәлдік кепілдігін береді және жартылай өткізгіш өнеркәсібінің жоғары процесс деңгейіне өтуіне көмектеседі.
Жарияланған уақыты: 14 сәуір 2025 ж.