Дәл өндіріс және ғылыми зерттеулер саласында гранитті дәлдік платформаларының жазықтығы жабдықтың дәлдігін қамтамасыз етудің негізгі көрсеткіші болып табылады. Төменде сіздер үшін бірнеше негізгі анықтау әдістері мен олардың жұмыс істеу процедуралары туралы егжей-тегжейлі кіріспе берілген.
I. Лазерлік интерферометрді анықтау әдісі
Лазерлік интерферометр жоғары дәлдіктегі жазықтықты анықтау үшін ең қолайлы құрал болып табылады. Мысал ретінде ZYGO GPI XP лазерлік интерферометрін алайық, оның ажыратымдылығы 0,1 нм-ге жетуі мүмкін. Анықтауды жүргізген кезде алдымен интерферометрдің жарық көзін платформамен туралап, платформа бетін 50 мм × 50 мм тор аймақтарына бөліңіз. Кейіннен интерференциялық жолақ деректері нүкте бойынша жиналды, ал деректер тегістік қателігін алу үшін Zernike полиномын пайдаланып сәйкестендіріліп, талданды. Бұл әдіс жоғары дәлдіктегі платформаларға қолданылады және ≤0,5 мкм/м² жазықтық қателерін анықтай алады. Ол көбінесе фотолитографиялық машиналар мен жоғары деңгейлі үш координаталық өлшеу машиналары платформаларын анықтауда қолданылады.
II. Электрондық деңгей массивінің әдісі
Электрондық деңгей массивін анықтау қарапайым және өте тиімді. TESA A2 электрондық деңгейі (0,01 мкм/м ажыратымдылықпен) таңдалып, платформаның X/Y осі бағыты бойынша 9×9 массивке орналастырылды. Әр деңгейдің көлбеу деректерін синхронды түрде жинау және содан кейін есептеу үшін ең кіші квадраттар әдісін қолдану арқылы жазықтық мәнін дәл алуға болады. Бұл әдіс платформаның жергілікті ойыс және дөңес жағдайларын тиімді түрде анықтай алады. Мысалы, 50 мм диапазондағы 0,2 мкм ауытқуды да анықтауға болады, бұл жаппай өндірісте жылдам анықтауға жарамды.
III. Оптикалық жалпақ кристалды әдіс
Оптикалық жалпақ кристалл әдісі шағын ауданды платформаларды анықтауға жарамды. Оптикалық жалпақ кристалды платформада сыналатын бетке мықтап бекітіңіз және монохроматикалық жарық көзінің (мысалы, натрий шамының) жарығымен олардың арасында пайда болған интерференциялық жолақтарды бақылаңыз. Егер жолақтар параллель түзу жолақтар болса, бұл жақсы жазықтықты көрсетеді. Егер қисық жолақтар пайда болса, жазықтық қателігін жолақтың қисықтық дәрежесіне негіздеп есептеңіз. Әрбір қисық жолақ 0,316 мкм биіктік айырмашылығын білдіреді, ал жазықтық деректерін қарапайым түрлендіру арқылы алуға болады.
Төртінші. Үш координаталық өлшеу машинасын тексеру әдісі
Үш координаталық өлшеу машинасы үш өлшемді кеңістікте жоғары дәлдіктегі өлшеуге қол жеткізе алады. Гранит платформасын өлшеу машинасының жұмыс үстеліне қойып, зондты пайдаланып, платформа бетіндегі бірнеше өлшеу нүктелерінен деректерді біркелкі жинаңыз. Өлшеу машинасы жүйесі платформаның жазықтық есебін жасау үшін осы деректерді өңдейді және талдайды. Бұл әдіс тек жазықтықты анықтап қана қоймай, сонымен қатар платформаның басқа геометриялық параметрлерін бір уақытта ала алады және үлкен гранит платформаларын кешенді анықтауға жарамды.
Бұл анықтау әдістерін меңгеру гранитті дәлдік платформасының жазықтығын дәл бағалауға көмектеседі және дәлдік жабдықтарының тұрақты жұмысына сенімді кепілдік береді.
Жарияланған уақыты: 2025 жылғы 29 мамыр