Пластинаны кесу дәлдігіндегі төңкеріс! Гранит негізі үшін ±5 мкм орналасуын қалай сақтауға болады?

Жартылай өткізгіштер өндірісіндегі «нанодұрыс еместік» үшін күресте тіпті пластина кесу жабдығындағы ең кішкентай қателік чипті қоқысқа айналдыруы мүмкін. Гранит негізі - ±5 мкм қайталанатын позициялау дәлдігін басқаратын, үш табиғи кереметімен дәл өндіріс ережелерін қайта жазатын танымал емес батыр.

Термиялық деформацияға қарсы «тұрақтандырушы бекіткіш»: Граниттің термиялық кеңею коэффициенті 5-7 × 10⁻⁶/℃ дейін төмен, бұл металл материалдарының үштен бір бөлігін ғана құрайды. Пластиналық кесу жабдығының жоғары жылдамдықты жұмысы нәтижесінде пайда болатын жылу әсерінен қарапайым материалдар термиялық кеңею мен жиырылу салдарынан деформацияланады, бұл кесу басының орналасуының ығысуына әкеледі. Дегенмен, гранит негізі «қозғалмайтын» күйінде қала алады, бұл термиялық деформациядан туындаған орналасу ауытқуын түбегейлі жояды және дәлдік үшін берік негіз қалайды.

Діріл сіңірудің «үнсіз қалқаны»: Шеберханадағы станоктардың үздіксіз гүрілі мен жабдықтардың үздіксіз дірілін дәлдікпен «өлімге әкелетін» деп санауға болады. Граниттің бірегей кристалды құрылымы табиғи амортизатор сияқты, жабдықтың жұмысы кезінде пайда болатын сыртқы дірілді және механикалық дірілді жылу энергиясына тез түрлендіріп, таратуға қабілетті. Басқа негіздер дірілдің әсерінен әлі де «тербеліп» тұрғанда, гранит негізі кескіш басы үшін қозғалмайтын тұрақты платформа жасап, ±5 мкм дәлдікті мүмкін етті.

Коррозияға төзімді «Мәңгілік қамал»: Жартылай өткізгіш шеберханалары ою ерітінділері және қышқыл мен сілті тазартқыштары сияқты коррозиялық заттарға толы. Мұндай ортада металл негіздер біртіндеп тот басып, деформацияланады. Өзіне тән химиялық тұрақтылығы бар гранит бұл химиялық заттармен мүлдем әрекеттеспейді. Қанша жыл қолданылса да, ол құрылымдық тұтастығын сақтай алады және жоғары дәлдіктегі кесуді үздіксіз қамтамасыз ете алады.

Материалдық таланттан бастап аса дәл өңдеуге дейін, гранит негізі өзінің беріктігімен барлық материалдар жартылай өткізгіш өндірісінің қиын сынақтарына төтеп бере алмайтынын көрсетті. Дәл осы алмастырылмайтын табиғи артықшылықтардың арқасында гранит негіздері пластина кесу жабдықтарының ±5 мкм қайталанатын позициялау дәлдігіне қол жеткізуінің кілтіне айналды және жартылай өткізгіштер өнеркәсібін үнемі жоғары дәлдікке қарай жылжуға итермеледі!

дәлдік граниті14


Жарияланған уақыты: 2025 жылғы 14 мамыр