Жартылай өткізгіш жабдықтарда негізгі құрылым дәлдік бюджетінің бөлігі болып табылады. Пластинаны тексеру құралы, лазерлік өңдеу платформасы немесе метрология кезеңі тек бірінші күні өлшемді дәл құрылымды ғана қажет етпейді. Оған жылу циклдары арқылы геометриясын сақтайтын, дірілге төзімді, құрастыру қатынастарын сақтайтын және бақыланатын ортада таза болып қалатын құрылым қажет. Талаптардың осы үйлесімі дәлдік гранитінің жартылай өткізгіш өнеркәсібінде стандартты құрылымдық материалға айналуының себебі болып табылады.
Төменде сегіз типтік қолданылуы келтірілгендәлдіктегі гранит компоненттеріжартылай өткізгіш жабдықтарда және әрқайсысы үшін: қатысты типтік бөлшектер, табысты анықтайтын инженерлік мәселелер және жеткізуші не ұсынуы керек. Егер сіз жаңа құралды жобалап жатсаңыз, бұл сіздің сұрағыңызға арналған тексеру тізімі.
Фрезерленген қалталары мен бұрандалы ендірмелері бар үлкен өңделген гранит негізі – жартылай өткізгіш жабдық модулінің құрылымдық негізі.
1. Пластинаны тексеру және оптикалық метрология жабдықтарына арналған негіздері
Оптикалық тексеру, ақауларды қарау және визуалды өлшеу жүйелерінің барлығы бір талапты біріктіреді: жоғары ажыратымдылықтағы оптика астында тұрақты бекіту және өлшеу сілтемесі. Негіздің кез келген микроқозғалысы кескінде шуға айналады.
- Типтік компоненттер:гранит негізі, баған, көпір, оптикалық рельсті бекіту беті, бұрандалы кірістірулер.
- Инженерлік бағыт:оптикалық тірек жазықтығының жазықтығы, бекіту беттері арасындағы параллелизм, тесік орналасуының дәлдігі, термиялық тұрақтылық, дірілді басқару.
- ZHHIMG не ұсынады:әрбір маңызды бет үшін материалды таңдау, құрылымдық өңдеу, дәл тегістеу, кірістіру орнату және өлшемдік тексеру есептері.
- Сіздің сұрағыңыз бойынша:2D/3D сызбалары, оптикалық пайдалы жүктеме, нысананың қайталануы, қоршаған орта температурасының диапазоны.
2. Пластинаны өңдеу және дәл позициялау платформалары
XY сатылары, сызықтық қозғалтқыш платформалары және жоғары дәлдіктегі позициялау механизмдері сатылар сағатына мыңдаған рет үдеп және баяулаған кезде дрейфтемейтін қатаң механикалық деректерге мұқтаж.
- Типтік компоненттер:гранит негіз тақтасы, гранитмашина төсегі, сызықтық бағыттаушы жолды бекіту рельстері, қозғалтқышты бекіту алаңдары.
- Инженерлік бағыт:бағыттаушы орындықтардың жазықтығы мен түзулігі, осьтер арасындағы перпендикулярлық, кірістірменің тарту күші, саты тудыратын дірілдің төмендеуі.
- ZHHIMG не ұсынады:рельс орындықтарын тығыз төзімділікке дейін өңдеу, момент құжаттамасы, модальды және жазықтықты өлшеу деректері бар кірістіру орнатуы.
- Сіздің сұрағыңыз бойынша:жүріс, жүктеме, үдеу профилі, нысананы орналастыру дәлдігі, орнату бағыты.
3. AOI жабдықтарына арналған құрылымдық бөлшектер
Автоматтандырылған оптикалық тексеру құралдары жоғары ажыратымдылықтағы бейнелеуді жылдам қозғалыспен біріктіреді. Негіз, сәуле және баған камералар мен жарықтандыруды тасымалдайды, ал құрастыру рамасы әрбір модульді геометриялық қатынаста ұстайды.
- Типтік компоненттер:гранит негізі, көлденең арқалық, баған, камера және сенсорды бекіту беттері, құрастыру рамасының интерфейстері.
- Инженерлік бағыт:бағанның негізге дейінгі тікбұрыштылығы, арқалықтың параллелділігі, тесік пен ойықтың орналасу дәлдігі, ұзақ мерзімді геометриялық тұрақтылық.
- ZHHIMG не ұсынады:өңделген және тегістелген құрылымдық жиынтықтар, металл бөлшектерді біріктіру, жөнелту алдында зауыттық алдын ала жинау және геометрияны тексеру.
- Сіздің сұрағыңыз бойынша:CAD деректері, камера мен жарықтандыру орналасуы, қозғалыс конверті, қажетті кескін тұрақтылығы.
4. Өнеркәсіптік компьютерлік томография және рентгендік тексеру жүйелерінің негіздері
Өнеркәсіптік КТ және рентген жүйелері көзді, манипуляция сатысын және детекторды бір құрылымға жинайды. Осы үшеуінің арасындағы кез келген салыстырмалы қозғалыс кескін қателігі ретінде көрінеді.
- Типтік компоненттер:гранит негізі, айналмалы сатылы бекіту тақтасы, көз және детектор бағандары, радиациядан қорғайтын интеграциялық беттер.
- Инженерлік бағыт:көз, саты және детектор арасындағы коаксиалды туралау деректері, айналу осі орындығының жазықтығы, дірілді басқару, тесік орналасуының дәлдігі.
- ZHHIMG не ұсынады:туралау деректері бар көп бетті өңдеу, кірістіру орнату, өлшеу шарттары көрсетілген толық өлшемді есеп.
- Сіздің сұрағыңыз бойынша:көзден детекторға дейінгі қашықтық, айналмалы пайдалы жүктеме, ажыратымдылық нысанасы, еден кеңістігі және орнату әдісі.
5. Лазерлік өңдеу және лазерлік өлшеу платформалары
Фемтосекундтық және пикосекундтық лазерлік микроөңдеу, дәлдікпен белгілеу, оптикалық туралау және лазерлік өлшеу жабдықтарының барлығы энергияны микронмен өлшенген сәулелік сызық арқылы фокустайды. Оптика астындағы платформа сәулені қозғалтпауы керек.
- Типтік компоненттер:гранит платформасы, оптикалық бас тірегі, арқалық жолын бекіту рельстері, дайындама үстелі.
- Инженерлік бағыт:оптикалық бекіту жазықтығының жазықтығы, жабық лазерлік ортадағы термиялық тұрақтылық, жоғары жиілікті тербелістің сөнуі.
- ZHHIMG не ұсынады:демпферлеу үшін таңдалған ұсақ түйіршікті гранит, оптикалық бекіту беттері тегістелген, қажет болған жағдайда ұя тәрізді немесе болат құрылымдармен біріктірілген.
- Сіздің сұрағыңыз бойынша:лазердің толқын ұзындығы және қуаты, оптикалық орналасуы, жұмыс аймағы, тазалық талаптары.
6. CMM, бейнеөлшеу және дәлдік метрология жабдықтары
Гранит метрология үшін ұзақ уақыт бойы әдепкі материал болып келді: жұмыс үстелдері, бағыттаушы жолдар, бағандар, көпірлер мен CMM негіздері, бейнеөлшеу машиналары және басқа да дәлдіктегі өлшеу құралдары граниттің тұрақтылығы мен иілгіштігіне негізделген.
- Типтік компоненттер:жұмыс үстелі,дәл өлшеутірек беттері, көпір және баған құрылымдары, бағыттаушы орындықтар.
- Инженерлік бағыт:өлшеу үстелінің микрон деңгейіндегі жазықтығы, толық жүріс кезіндегі бағыттаушы орындықтардың түзулігі, сырғанау кезіндегі тозуға төзімділік.
- ZHHIMG не ұсынады:тегістік карталары бар қолмен тегістеу беттері, пайдаланылған нақты құралмен бірге бақыланатын калибрлеу сертификаттары, қосымша сәйкес келетін жиынтықты тегістеу.
- Сіздің сұрағыңыз бойынша:өлшеу диапазоны, дәлдік класы, MPE мақсаты, қолданылатын стандарттар.
7. Ауа мойынтіректерінің дәл қозғалыс платформалары
Ауа мойынтіректер қысымды пленкада қатты жанасусыз қозғалады, бұл үйкеліс пен тозуды нөлге дейін төмендетеді. Ауа мойынтірегінің астындағы гранит пассивті блок емес: оның бетінің сапасы пленканың қалай жұмыс істейтінін тікелей анықтайды.
- Типтік компоненттер:гранит негізімен қапталғанауа подшипнигібеттер, бағыттаушы рельстер, дөңгелек және жазықтықты өлшеуге арналған гранит шеберлері, аса дәлдіктегі сахналық құрылымдар.
- Инженерлік бағыт:ауа қабықшасының беттерінің беткі әрлеуі және тегістігі, тесіктер мен микроақауларды бақылау, қарама-қарсы мойынтірек беттері арасындағы параллелизм, ұзақ мерзімді тұрақтылық.
- ZHHIMG не ұсынады:сертификатталған геометриясы, сәйкес келетін бет жиынтықтары және таза бөлмеге үйлесімді қаптамасы бар тегістелген және жылтыратылған ауа өткізгіш беттер.
- Сіздің сұрағыңыз бойынша:әуе пленкасын жобалау, жүктеу және алдын ала жүктеу, жүру, нысананың түзулігі немесе дөңгелектігі.
8. Жартылай өткізгіш жабдықтар модульдеріне арналған модульдік құрастыру платформалары
Жоғары дәлдіктегі модульдердің соңғы интеграциясы бақыланатын температура, ылғалдылық және дірілдің әсерінен, көбінесе таза бөлмеде жүзеге асырылады. Гранит платформалары гранит бөлшектері, металл бөлшектері, керамикалық бөлшектері, рельстері, ауа өткізгіш компоненттері және қозғалыс модульдері біріктірілетін құрастыру орны ретінде қызмет етеді.
- Типтік компоненттер:модульдік гранитті құрастыру платформалары, құрал-саймандар мен арматура интерфейстері, модульдерді бекіту беттері.
- Инженерлік бағыт:модульдер бойынша деректер сәйкестігі, кірістіру және дюбель дәлдігі, таза бөлмені жинау шарттарымен үйлесімділік.
- ZHHIMG не ұсынады:таза бөлмеқұрастыру, тексеру және калибрлеутолық модульдерден тұрады, гранит, металл және керамикалық компоненттерді тексерілген құрастыруға біріктіреді.
- Сіздің сұрағыңыз бойынша:модульдер тізімі, тазалық класы, құрастыру реттілігі, соңғы тексеру критерийлері.
Барлық сегіз қолданбаға арналған бір инженерлік тексеру тізімі
Осы қолданбалар бойынша инженерлік сұрақтар өзгеріссіз қалады: қай геометрия, қандай аумақта, қандай жылу және діріл ортасында және қанша уақыт бойы сақталуы керек. Өлшенген деректермен – жазықтық карталарымен, партиялық материалдар туралы есептермен, кірістіру моменті жазбаларымен жауап бере алатын гранит жеткізушісі аудиттелуі мүмкін жеткізуші болып табылады. ZHHIMG қолдайдыжартылай өткізгіш жабдықтардәл осындай тәсілді қолданатын өндірушілер.
ZHHIMG® жартылай өткізгіш жабдықтар өндірушілерін арнайы гранит негіздерімен, рамаларымен, бағыттаушыларымен, ауа өткізгіш құрылымдарымен және интеграцияланған дәлдік құрастырмаларымен қолдайды. Инженерлік бағалау үшін сызбаңызбен бізге хабарласыңыз.
Жарияланған уақыты: 18 қыркүйек 2026 ж.