♦Алюминий оксиді (Al)2O3)
ZhongHui Intelligent Manufacturing Group (ZHHIMG) компаниясы шығаратын дәлдіктегі керамикалық бөлшектер жоғары тазалықтағы керамикалық шикізаттан, 92-97% алюминий оксидінен, 99,5% алюминий оксидінен, >99,9% алюминий оксидінен және CIP суық изостатикалық престен жасалуы мүмкін. Жоғары температурада күйдіру және дәл өңдеу, өлшемдік дәлдігі ± 0,001 мм, тегістігі Ra0,1 дейін, пайдалану температурасы 1600 градусқа дейін. Тұтынушылардың талаптарына сәйкес әртүрлі түсті керамика жасауға болады, мысалы: қара, ақ, бежевый, қою қызыл және т.б. Біздің компания шығаратын дәлдіктегі керамикалық бөлшектер жоғары температураға, коррозияға, тозуға және оқшаулауға төзімді және жоғары температурада, вакуумда және коррозиялық газ ортасында ұзақ уақыт пайдалануға болады.
Әртүрлі жартылай өткізгіш өндірістік жабдықтарда кеңінен қолданылады: рамалар (керамикалық кронштейн), субстрат (негіз), иін/көпір (манипулятор), механикалық компоненттер және керамикалық ауа мойынтіректер.
| Өнім атауы | Жоғары тазалықтағы 99 алюминий оксиді бар керамикалық шаршы түтік/құбыр/өзекше | |||||
| Индекс | Бірлік | 85% Al2O3 | 95% Al2O3 | 99% Al2O3 | 99,5% Al2O3 | |
| Тығыздық | г/см3 | 3.3 | 3.65 | 3.8 | 3.9 | |
| Су сіңіру | % | <0.1 | <0.1 | 0 | 0 | |
| Сұйытылған температура | ℃ | 1620 ж. | 1650 ж. | 1800 ж. | 1800 ж. | |
| Қаттылық | Мохс | 7 | 9 | 9 | 9 | |
| Иілу күші (20℃)) | МПа | 200 | 300 | 340 | 360 | |
| Қысу күші | Кгф/см2 | 10000 | 25000 | 30000 | 30000 | |
| Ұзақ уақыт жұмыс температурасы | ℃ | 1350 | 1400 | 1600 | 1650 ж. | |
| Максималды жұмыс температурасы | ℃ | 1450 ж. | 1600 | 1800 ж. | 1800 ж. | |
| Көлемдік кедергі | 20℃ | Ω. см3 | >1013 | >1013 | >1013 | >1013 |
| 100℃ | 1012-1013 | 1012-1013 | 1012-1013 | 1012-1013 | ||
| 300℃ | >109 | >1010 | >1012 | >1012 | ||
Жоғары тазалықтағы алюминий оксиді керамикасын қолдану:
1. Жартылай өткізгіш жабдықтарға қолданылады: керамикалық вакуумдық патрон, кесу дискісі, тазалау дискісі, керамикалық патрон.
2. Пластинаны тасымалдау бөлшектері: пластинаны өңдеуге арналған патрондар, пластинаны кесу дискілері, пластинаны тазалау дискілері, пластинаны оптикалық тексеру сорғыштары.
3. Жарықдиодты / LCD жалпақ панельді дисплей өнеркәсібі: керамикалық саптама, керамикалық тегістеу дискісі, LIFT PIN, PIN рельсі.
4. Оптикалық байланыс, күн энергиясы өнеркәсібі: керамикалық түтіктер, керамикалық шыбықтар, электр тақтасына арналған экранды басып шығаруға арналған керамикалық қырғыштар.
5. Ыстыққа төзімді және электр оқшаулағыш бөлшектер: керамикалық мойынтіректер.
Қазіргі уақытта алюминий оксиді керамикасын жоғары тазалықтағы және кең таралған керамика деп бөлуге болады. Жоғары тазалықтағы алюминий оксиді керамика сериясы 99,9%-дан астам Al₂O₃ бар керамикалық материалды білдіреді. Оның күйдіру температурасы 1650-1990°C дейін және өткізгіштік толқын ұзындығы 1 ~ 6 мкм болғандықтан, ол әдетте платина тигелі орнына балқытылған шыныға өңделеді: оны жарық өткізгіштігі мен сілтілік металға коррозияға төзімділігіне байланысты натрий түтігі ретінде пайдалануға болады. Электроника өнеркәсібінде оны интегралды негіздер үшін жоғары жиілікті оқшаулағыш материал ретінде пайдалануға болады. Алюминий оксидінің әртүрлі құрамына сәйкес, кең таралған алюминий оксиді керамика сериясын 99 керамика, 95 керамика, 90 керамика және 85 керамика деп бөлуге болады. Кейде 80% немесе 75% алюминий оксиді бар керамика кең таралған алюминий оксиді керамика сериясы ретінде де жіктеледі. Олардың ішінде 99 алюминий оксиді керамикалық материалы жоғары температуралы тигель, отқа төзімді пеш түтігі және керамикалық мойынтіректер, керамикалық тығыздағыштар және клапан пластиналары сияқты арнайы тозуға төзімді материалдарды өндіру үшін қолданылады. 95 алюминий керамикасы негізінен коррозияға төзімді тозуға төзімді бөлшек ретінде қолданылады. 85 керамикасы көбінесе кейбір қасиеттерде араласады, осылайша электрлік өнімділік пен механикалық беріктікті жақсартады. Ол молибден, ниобий, тантал және басқа да металл тығыздағыштарды пайдалана алады, ал кейбіреулері электр вакуумдық құрылғылар ретінде қолданылады.
| Сапалы тауар (репрезентативтік құндылық) | Өнім атауы | AES-12 | AES-11 | AES-11C | AES-11F | AES-22S | AES-23 | AL-31-03 | |
| Химиялық құрамы төмен натрийлі оңай күйдірілетін өнім | H₂O | % | 0,1 | 0,1 | 0,1 | 0,1 | 0,1 | 0,1 | 0,1 |
| Қатты күлу | % | 0,1 | 0,2 | 0,1 | 0,1 | 0,1 | 0,1 | 0,1 | |
| Fe₂0₃ | % | 0,01 | 0,01 | 0,01 | 0,01 | 0,01 | 0,01 | 0,01 | |
| SiO₂ | % | 0,03 | 0,03 | 0,03 | 0,03 | 0,02 | 0,04 | 0,04 | |
| Na₂O | % | 0,04 | 0,04 | 0,04 | 0,04 | 0,02 | 0,04 | 0,03 | |
| MgO* | % | - | 0,11 | 0,05 | 0,05 | - | - | - | |
| Al₂0₃ | % | 99.9 | 99.9 | 99.9 | 99.9 | 99.9 | 99.9 | 99.9 | |
| Бөлшектердің орташа диаметрі (MT-3300, лазерлік талдау әдісі) | мкм | 0,44 | 0,43 | 0,39 | 0,47 | 1.1 | 2.2 | 3 | |
| α кристалл өлшемі | мкм | 0,3 | 0,3 | 0,3 | 0,3 | 0,3 ~ 1,0 | 0,3 ~ 4 | 0,3 ~ 4 | |
| Қалыптастыру тығыздығы** | г/см³ | 2.22 | 2.22 | 2.2 | 2.17 | 2.35 | 2.57 | 2.56 | |
| Пісіру тығыздығы** | г/см³ | 3.88 | 3.93 | 3.94 | 3.93 | 3.88 | 3.77 | 3.22 | |
| Пісіру желісінің қысқару жылдамдығы** | % | 17 | 17 | 18 | 18 | 15 | 12 | 7 | |
* MgO Al₂O₃ тазалығын есептеуге кірмейді.
* Қақпақсыз ұнтақ 29,4 МПа (300 кг/см²), күйдіру температурасы 1600°C.
AES-11 / 11C / 11F: 0,05 ~ 0,1% MgO қосыңыз, сіңіргіштігі өте жақсы, сондықтан ол 99%-дан астам тазалығы бар алюминий оксиді керамикасына қолданылады.
AES-22S: Жоғары қалыптау тығыздығымен және күйдіру желісінің төмен кішірею жылдамдығымен сипатталады, ол қажетті өлшемдік дәлдікпен сырғанау пішінін құюға және басқа да ірі көлемді өнімдерге қолданылады.
AES-23 / AES-31-03: AES-22S-ке қарағанда жоғары түзілу тығыздығына, тиксотропиясына және төмен тұтқырлығына ие. Біріншісі керамикада, ал екіншісі отқа төзімді материалдар үшін суды азайтқыш ретінде қолданылады, бұл танымал бола бастады.
♦Кремний карбидінің (SiC) сипаттамалары
| Жалпы сипаттамалары | Негізгі компоненттердің тазалығы (салмақтық%) | 97 | |
| Түс | Қара | ||
| Тығыздық (г/см³) | 3.1 | ||
| Су сіңіру (%) | 0 | ||
| Механикалық сипаттамалары | Иілу беріктігі (МПа) | 400 | |
| Жас модуль (GPa) | 400 | ||
| Виккерс қаттылығы (GPa) | 20 | ||
| Жылулық сипаттамалары | Ең жоғары жұмыс температурасы (°C) | 1600 | |
| Жылулық кеңею коэффициенті | RT~500°C | 3.9 | |
| (1/°C x 10-6) | RT~800°C | 4.3 | |
| Жылу өткізгіштігі (Вт/м x К) | 130 110 | ||
| Термиялық соққыға төзімділік ΔT (°C) | 300 | ||
| Электрлік сипаттамалары | Көлемдік кедергі | 25°C | 3 x 106 |
| 300°C | - | ||
| 500°C | - | ||
| 800°C | - | ||
| Диэлектрлік тұрақты | 10 ГГц | - | |
| Диэлектрлік шығын (x 10-4) | - | ||
| Q факторы (x 104) | - | ||
| Диэлектрлік бұзылу кернеуі (КВ/мм) | - | ||
♦Кремний нитриді керамикасы
| Материал | Бірлік | Si₃N₄ |
| Желімдеу әдісі | - | Газ қысымымен пісірілген |
| Тығыздық | г/см³ | 3.22 |
| Түс | - | Қою сұр |
| Су сіңіру жылдамдығы | % | 0 |
| Жас модуль | GPA | 290 |
| Виккерс қаттылығы | GPA | 18 - 20 |
| Қысу күші | МПа | 2200 |
| Иілу күші | МПа | 650 |
| Жылу өткізгіштігі | Вт/мК | 25 |
| Термиялық соққыға төзімділік | Δ (°C) | 450 - 650 |
| Максималды жұмыс температурасы | °C | 1200 |
| Көлемдік кедергі | Ω·см | > 10 ^ 14 |
| Диэлектрлік тұрақты | - | 8.2 |
| Диэлектрлік беріктік | кВ/мм | 16 |