♦Алюминий тотығы (Al2O3)
ZhongHui Intelligent Manufacturing Group (ZHHIMG) шығарған дәл керамикалық бөлшектер жоғары таза керамикалық шикізаттан, 92 ~ 97% глиноземнен, 99,5% алюминий тотығынан, >99,9% алюминий тотығынан және CIP суық изостатикалық престеуден жасалуы мүмкін.Жоғары температурада агломерациялау және дәл өңдеу, өлшемдік дәлдік ± 0,001мм, тегістік Ra0,1 дейін, пайдалану температурасы 1600 градусқа дейін.Клиенттердің талаптары бойынша керамиканың әртүрлі түстері жасалуы мүмкін, мысалы: қара, ақ, бежевый, қою қызыл және т.б. Біздің компания шығаратын дәл керамикалық бөлшектер жоғары температураға, коррозияға, тозуға және оқшаулауға төзімді және жоғары температурада, вакуумда және коррозиялық газ ортасында ұзақ уақыт қолданылады.
Жартылай өткізгішті өндірудің әртүрлі жабдықтарында кеңінен қолданылады: жақтаулар (керамикалық кронштейн), субстрат (негіз), қол/көпір (манипулятор), механикалық құрамдас бөліктер және керамикалық ауа мойынтіректері.
| Өнім атауы | Жоғары тазалықтағы 99 алюминий тотығы керамикалық шаршы түтік / құбыр / өзек | |||||
| Индекс | Бірлік | 85 % Al2O3 | 95 % Al2O3 | 99 % Al2O3 | 99,5 % Al2O3 | |
| Тығыздығы | г/см3 | 3.3 | 3.65 | 3.8 | 3.9 | |
| Суды сіңіру | % | <0,1 | <0,1 | 0 | 0 | |
| Синтерленген температура | ℃ | 1620 | 1650 | 1800 | 1800 | |
| Қаттылық | Mohs | 7 | 9 | 9 | 9 | |
| Иілу күші (20℃)) | Мпа | 200 | 300 | 340 | 360 | |
| Қысу күші | Кгф/см2 | 10000 | 25000 | 30000 | 30000 | |
| Ұзақ жұмыс температурасы | ℃ | 1350 | 1400 | 1600 | 1650 | |
| Макс.Жұмыс температурасы | ℃ | 1450 | 1600 | 1800 | 1800 | |
| Көлем кедергісі | 20℃ | Ω.см3 | >1013 | >1013 | >1013 | >1013 |
| 100℃ | 1012-1013 | 1012-1013 | 1012-1013 | 1012-1013 | ||
| 300℃ | >109 | >1010 | >1012 | >1012 | ||
Жоғары таза алюминий тотығы керамикасын қолдану:
1. Жартылай өткізгішті жабдыққа қолданылады: керамикалық вакуумдық патрон, кесу дискі, тазалау дискі, керамикалық патрон.
2. Вафельді тасымалдау бөліктері: пластинаны өңдеуге арналған патрондар, пластинаны кесу дискілері, вафлиді тазалау дискілері, пластинаның оптикалық тексеру сорғыштары.
3. Жарықдиодты / СКД жалпақ панельді дисплей өнеркәсібі: керамикалық саптама, керамикалық тегістеу дискі, LIFT PIN, PIN рельс.
4. Оптикалық байланыс, күн өнеркәсібі: керамикалық түтіктер, керамикалық шыбықтар, схемалық плата экранды басып шығаратын керамикалық қырғыштар.
5. Ыстыққа төзімді және электр оқшаулағыш бөлшектері: керамикалық мойынтіректер.
Қазіргі уақытта алюминий оксидінің керамикасын жоғары тазалық пен қарапайым керамикаға бөлуге болады.Тазалығы жоғары алюминий оксиді керамика сериясы құрамында 99,9%-дан астам Al₂O₃ бар керамикалық материалға жатады.Агломерациялау температурасы 1650 - 1990°C-қа дейін және толқын ұзындығы 1 ~ 6 мкм болғандықтан, ол әдетте платина тигельдің орнына балқытылған шыныға өңделеді: оны жарық өткізгіштігі мен коррозияға төзімділігі арқасында натрий түтігі ретінде пайдалануға болады. сілтілік металл.Электроника өнеркәсібінде оны IC субстраттары үшін жоғары жиілікті оқшаулағыш материал ретінде пайдалануға болады.Алюминий оксидінің әртүрлі мазмұны бойынша жалпы алюминий оксиді керамикалық сериясын 99 керамика, 95 керамика, 90 керамика және 85 керамикаға бөлуге болады.Кейде 80% немесе 75% алюминий оксиді бар керамика кәдімгі алюминий оксиді керамикалық қатарға жатқызылады.Олардың ішінде 99 алюминий оксиді керамикалық материал жоғары температуралы тигельді, отқа төзімді пеш түтігін және керамикалық мойынтіректер, керамикалық тығыздағыштар және клапан тақталары сияқты тозуға төзімді арнайы материалдарды өндіру үшін қолданылады.95 алюминий керамика негізінен коррозияға төзімді тозуға төзімді бөлік ретінде пайдаланылады.85 керамика жиі кейбір қасиеттерде араласады, осылайша электрлік өнімділік пен механикалық беріктік жақсарады.Ол молибден, ниобий, тантал және басқа металл тығыздағыштарды пайдалана алады, ал кейбіреулері электр вакуумдық құрылғылар ретінде қолданылады.
| Сапа элементі (өкілдік мән) | Өнім атауы | AES-12 | AES-11 | AES-11C | AES-11F | AES-22S | AES-23 | AL-31-03 | |
| Химиялық құрамы төмен натрийлі оңай агломерациялық өнім | H₂O | % | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 |
| Қатты күлу | % | 0.1 | 0.2 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | |
| Fe₂0₃ | % | 0,01 | 0,01 | 0,01 | 0,01 | 0,01 | 0,01 | 0,01 | |
| SiO₂ | % | 0,03 | 0,03 | 0,03 | 0,03 | 0,02 | 0,04 | 0,04 | |
| Na₂O | % | 0,04 | 0,04 | 0,04 | 0,04 | 0,02 | 0,04 | 0,03 | |
| MgO* | % | - | 0,11 | 0,05 | 0,05 | - | - | - | |
| Al₂0₃ | % | 99.9 | 99.9 | 99.9 | 99.9 | 99.9 | 99.9 | 99.9 | |
| Бөлшектердің орташа диаметрі (MT-3300, лазерлік талдау әдісі) | мкм | 0,44 | 0,43 | 0,39 | 0,47 | 1.1 | 2.2 | 3 | |
| α Кристалл өлшемі | мкм | 0.3 | 0.3 | 0.3 | 0.3 | 0,3 ~ 1,0 | 0,3 ~ 4 | 0,3 ~ 4 | |
| Қалыптастыру тығыздығы** | г/см³ | 2.22 | 2.22 | 2.2 | 2.17 | 2.35 | 2.57 | 2.56 | |
| Агломерация тығыздығы** | г/см³ | 3.88 | 3.93 | 3.94 | 3.93 | 3.88 | 3.77 | 3.22 | |
| Агломерация сызығының қысқару жылдамдығы** | % | 17 | 17 | 18 | 18 | 15 | 12 | 7 | |
* MgO Al₂O₃ тазалығын есептеуге кірмейді.
* Қақтау ұнтағы жоқ 29,4МПа (300кг/см²), агломерация температурасы 1600°C.
AES-11 / 11C / 11F: 0,05 ~ 0,1% MgO қосыңыз, сіңімділік өте жақсы, сондықтан ол тазалығы 99% жоғары алюминий тотығы керамикасына қолданылады.
AES-22S: жоғары қалыптау тығыздығымен және агломерациялау сызығының төмен шөгу жылдамдығымен сипатталады, ол сырғанау пішінін құюға және қажетті өлшем дәлдігі бар басқа да ауқымды өнімдерге қолданылады.
AES-23 / AES-31-03: AES-22S-ге қарағанда оның қалыптасу тығыздығы, тиксотропиясы және тұтқырлығы төмен.біріншісі керамикаға пайдаланылады, ал екіншісі танымал бола отырып, отқа төзімді материалдар үшін суды азайтқыш ретінде пайдаланылады.
♦Кремний карбиді (SiC) сипаттамалары
| Жалпы сипаттамалар | Негізгі компоненттердің тазалығы (салм.%) | 97 | |
| Түс | Қара | ||
| Тығыздығы (г/см³) | 3.1 | ||
| Суды сіңіру (%) | 0 | ||
| Механикалық сипаттамалары | Иілу күші (МПа) | 400 | |
| Жас модуль (GPa) | 400 | ||
| Виккерс қаттылығы (GPa) | 20 | ||
| Жылулық сипаттамалар | Максималды жұмыс температурасы (°C) | 1600 | |
| Термиялық кеңею коэффициенті | RT~500°C | 3.9 | |
| (1/°C x 10-6) | RT~800°C | 4.3 | |
| Жылу өткізгіштік (Вт/м x К) | 130 110 | ||
| Термиялық соққыға төзімділік ΔT (°C) | 300 | ||
| Электрлік сипаттамалар | Көлем кедергісі | 25°C | 3 x 106 |
| 300°C | - | ||
| 500°C | - | ||
| 800°C | - | ||
| Диэлектрлік тұрақты | 10 ГГц | - | |
| Диэлектрлік шығын (x 10-4) | - | ||
| Q факторы (x 104) | - | ||
| Диэлектриктің бұзылу кернеуі (КВ/мм) | - | ||
♦Кремний нитриді керамика
| Материал | Бірлік | Si₃N₄ |
| Синтерлеу әдісі | - | Газ қысымы агломерленген |
| Тығыздығы | г/см³ | 3.22 |
| Түс | - | Қою сұр |
| Суды сіңіру жылдамдығы | % | 0 |
| Жас модуль | Gpa | 290 |
| Викерс қаттылығы | Gpa | 18 - 20 |
| Қысу күші | Мпа | 2200 |
| Иілу күші | Мпа | 650 |
| Жылу өткізгіштік | Вт/мК | 25 |
| Термиялық соққыға төзімділік | Δ (°C) | 450 - 650 |
| Максималды жұмыс температурасы | °C | 1200 |
| Көлем кедергісі | Ω·см | > 10 ^ 14 |
| Диэлектрик тұрақтысы | - | 8.2 |
| Диэлектрлік күш | кВ/мм | 16 |