Чип өндірісінің негізгі буынында - пластинаны сканерлеуде жабдықтың дәлдігі чиптің сапасын анықтайды. Жабдықтың маңызды құрамдас бөлігі ретінде гранит машинасының негізінің термиялық кеңею мәселесі көпшіліктің назарын аударды.
Граниттің термиялық кеңею коэффициенті әдетте 4-тен 8 × 10⁻⁶/℃ аралығында болады, бұл металдар мен мәрмәрге қарағанда әлдеқайда төмен. Бұл температура өзгерген кезде оның мөлшері салыстырмалы түрде аз өзгеретінін білдіреді. Дегенмен, термиялық кеңеюдің төмен болуы термиялық кеңеюдің жоқтығын білдірмейтінін атап өткен жөн. Температураның күрт ауытқуы кезінде тіпті ең аз кеңею де пластиналарды сканерлеудің наноөлшемді дәлдігіне әсер етуі мүмкін.
Пластинаны сканерлеу процесінде термиялық кеңеюдің пайда болуының бірнеше себебі бар. Цехтағы температураның ауытқуы, жабдық компоненттерінің жұмысы нәтижесінде пайда болатын жылу және лазерлік өңдеу нәтижесінде пайда болатын лезде жоғары температура гранит негізінің «температураның өзгеруіне байланысты кеңеюіне және жиырылуына» әкеледі. Негіз термиялық кеңеюге ұшырағаннан кейін, бағыттаушы рельстің түзулігі мен платформаның жазықтығы ауытқуы мүмкін, бұл пластина үстелінің қозғалыс траекториясының дәл еместігіне әкеледі. Тірек оптикалық компоненттер де ығысады, бұл сканерлеу сәулесінің «ауытқуына» әкеледі. Ұзақ уақыт бойы үздіксіз жұмыс істеу қателіктерді жинақтайды, бұл дәлдікті барған сайын нашарлатады.
Бірақ алаңдамаңыз. Адамдарда шешімдер бар. Материалдар тұрғысынан алғанда, жылу кеңею коэффициенті төмен гранит тамырлары таңдалып, тозу өңдеуіне ұшырайды. Температураны бақылау тұрғысынан шеберхана температурасы 23±0,5℃ немесе одан да төмен температурада дәл басқарылады, сондай-ақ негіз үшін белсенді жылу тарату құрылғысы да жасалады. Құрылымдық дизайн тұрғысынан симметриялы құрылымдар мен икемді тіректер қолданылады, ал нақты уақыт режимінде бақылау температура сенсорлары арқылы жүзеге асырылады. Жылулық деформациядан туындаған қателіктер алгоритмдермен динамикалық түрде түзетіледі.
ASML литографиялық машиналары сияқты жоғары сапалы жабдықтар осы әдістер арқылы гранит негізінің термиялық кеңею әсерін өте аз диапазонда сақтайды, бұл пластинаны сканерлеу дәлдігінің нанометр деңгейіне жетуіне мүмкіндік береді. Сондықтан, егер ол дұрыс басқарылса, гранит негізі пластинаны сканерлеу жабдықтары үшін сенімді таңдау болып қала береді.
Жарияланған уақыты: 2025 жылғы 12 маусым