Неліктен жартылай өткізгіш жабдықтар өндірушілері табиғи гранит негіздерін белгілейді – 5 маңызды себеп

Жартылай өткізгіштерді жасаудың жоғары деңгейлі әлемінде, элементтердің өлшемдері нанометрлермен өлшенетін жерде, машинаның негізі оптика немесе вакуумдық жүйе сияқты маңызды. Пластинаны тексеру машинасы болсын немесе терең ультракүлгін (DUV) литография жүйесі болсын, әлемдік OEM өндірушілері өздерінің құрылымдық негіздері үшін табиғи қара гранитті үнемі таңдайды.

Бірақ неліктен табиғи тас заманауи синтетикалық материалдармен анықталатын салада алтын стандарт болып табылады? Міне, жартылай өткізгіш жабдықтар үшін табиғи граниттің талқылауға жатпайтын таңдау болуының бес техникалық себебі.

1. Фабтағы жоғары термиялық тұрақтылық

Жартылай өткізгішті «алдыңғы» орта абсолютті өлшемдік консистенцияны талап етеді. Температураның ауытқуының тіпті бір градус бөлігі металл құрылымдардың кеңеюіне әкелуі мүмкін, бұл қабаттасу қателеріне немесе литографияда «бұлыңғырлыққа» әкелуі мүмкін.

Табиғи граниттің жылулық кеңею коэффициенті (ТКК) өте төмен. Салыстырған кездегранит негізіПластинаны тексеру машинасын болат немесе алюминийге балама ретінде пайдалану үшін гранит қоршаған ортаның шамалы өзгерістеріне қарамастан өлшемді түрде «мұздатылған» күйінде қалады. Бұл термиялық инерция оптикалық жолдың ығысудың бірінші пластинасынан соңғысына дейін тураланған күйде қалуын қамтамасыз етеді.

2. Нанометрлік дәлдік үшін ерекше діріл демпфері

Литография жабдықтары мен жоғары ажыратымдылықтағы метрология құралдары зауыт еденінен, салқындатқыш желдеткіштерден немесе роботты пластина өңдегіштерден шығатын «шу» дірілдеріне аса сезімтал.

Металлдар «шайқалуға» (соққыдан кейін ұзақ уақыт бойы дірілдеуге) бейім болса да, табиғи граниттің ішкі демпферлеу қабілеті жоғары. Ол кинетикалық энергияны тез сіңіреді және таратады. Литография жабдықтарына арналған бұл діріл демпферлеу граниті машинаның жоғары жылдамдықты сатылы қозғалыстан кейін тезірек отыруына мүмкіндік береді, бұл құралдың «Сағатына бірлік» (UPH) өнімділігін айтарлықтай арттырады.

3. Магниттік емес және электр өткізбейтін

Жартылай өткізгіш процестер көбінесе сезімтал электронды сәулелерді (E-сәуле) немесе жоғары дәлдіктегі магниттік сызықтық қозғалтқыштарды қамтиды. Металл негіз бұл магнит өрістеріне кедергі келтіруі немесе сенсордың дәлдігін бұзатын құйынды токтар тудыруы мүмкін.

Табиғи оқшаулағыш ретінде гранит таза бөлмелер үшін магниттік емес метрологиялық платформаны қамтамасыз етеді. Ол құралдың электромагниттік ортасына кедергі келтірмейді, бұл пластина топографиясын картаға түсіру немесе ақауларды тексеру кезінде таза, бұзылмаған деректерді алуға мүмкіндік береді.

4. Коррозияға төзімділік және таза бөлме үйлесімділігі

Таза бөлмеде (1 немесе 10-сынып) газдың шығуы және бөлшектердің пайда болуы шығымдылықтың жаулары болып табылады. Шойыннан немесе болаттан айырмашылығы, табиғи гранит тот баспайды, тотықпайды немесе уақыт өте келе қабыршақтануы немесе газдың шығуы мүмкін химиялық бояулар мен жабындарды қажет етпейді.

Гранит химиялық тұрғыдан инертті. Жартылай өткізгіш фабрикасында қолданылатын арнайы тазартқыш заттарға ұшырағанның өзінде, ол бетінің тұтастығын сақтайды. Оның жоғары тығыздықтағы құрылымы (шамамен 3100 кг/м³) жабдықтың өмірлік циклі бойы оның «бөлшектерге бейтарап» болып қалуын қамтамасыз етеді.

5. Қолмен шапалақтау арқылы «шынайы жазықтыққа» қол жеткізу

Жартылай өткізгіштер өнеркәсібінде «тегіс» деген сөз жеткілікті тегіс емес. Компоненттер көбінесе CNC машиналары қол жеткізе алмайтын нано деңгейлі дәлдікті қажет етеді.

Табиғи гранит қолмен тегістеуге мүмкіндік береді, бұл қолмен өңдеу процесі, мұнда сарапшылар ±0,001 мм дейінгі тегістікке төзімділікке қол жеткізеді. Дәлдіктің бұл деңгейі қазіргі заманғы пластина сканерлерінде қолданылатын ауа өткізгіш сатылар үшін өте маңызды, мұнда сатылар мен негіз арасындағы ауа саңылауы бүкіл жүріс диапазонында мінсіз біркелкі болып қалуы керек.

ZHHIMG артықшылығы: Нано дәуіріне арналған дәлдік

UNPARLELLED (ZHHIMG) компаниясында біз жартылай өткізгіш зауыттардағы граниттің термиялық тұрақтылығын кез келген адамнан жақсы түсінеміз. Біз әлемдегі жетекші жартылай өткізгіш құралдар өндірушілеріне мамандандырылған гранит компоненттерін тапсырыс бойынша жеткіземіз:

• Вакууммен үйлесімді ультра үлкен негіздер.

• Жоғары жылдамдықты гантри жүйелеріне арналған дәлдік арқалықтары.

• Сызықтық қозғалтқышты орнатуға арналған кіріктірілген ендірмелер.

Біздің жоғары тығыздықтағы қара гранитіміз жаһандық жартылай өткізгіш жол картасының ең талапшыл сипаттамаларына сәйкес келетіндей етіп алынады және өңделеді.