Чиптерді жасау және дәлдікті өлшеу сияқты салаларда материалдардың қасиеттері жабдықтың дәлдігін тікелей анықтайды. Гранит өзінің бес негізгі сипаттамасымен металдар, инженерлік пластмассалар және керамика сияқты материалдардан ерекшеленеді және жоғары деңгейлі жабдықтардың «алтын серіктесіне» айналды.
1. Термиялық тұрақтылық: Температураның ауытқуларына «иммунды».
Температураның әрбір 1℃ өзгеруі үшін тот баспайтын болат 17 мкм/м, алюминий қорытпасы 23 мкм/м кеңейеді, ал гранит тек 4-8 мкм/м кеңейеді. Жартылай өткізгіш зауыттарда фотолитографиялық аппараттардың жұмысы нәтижесінде пайда болатын жоғары температуралар немесе кондиционерлердің іске қосылуы мен тоқтауы арасындағы температуралық айырмашылықтар гранит өлшемдеріне шамалы дерлік әсер етеді. Керісінше, термиялық кеңею мен жиырылуына байланысты металдар мен пластмассалардың деформациясы дәл құрамдас бөліктердің сәйкес келмеуін оңай тудыруы мүмкін.
2. Дірілге төзімділік: Діріл энергиясын «жұтатын».
Граниттің тығыздығы жоғары (2,6-3,1 г/см³), қаттылығы Mohs шкаласы бойынша 6-7, демпферлік коэффициенті тот баспайтын болаттан 5-10 есе жоғары. Дәл өлшеу жабдығында ол діріл энергиясының 90%-ын 0,5 секунд ішінде әлсірете алады, ал металл материалдарға 3-5 секунд қажет. Жабдықтың жұмысы мен цехтағы персоналдың қозғалысы нәтижесінде пайда болатын тербеліс гранитпен бекітілген жабдықтың тұрақтылығын шайқау қиын.
3. Химиялық тұрақтылық: Қышқыл және сілтілі ортада «қажырлы».
Гранитті күшті қышқыл (рН=2) немесе күшті сілтілі (рН=12) ерітіндісінде 1000 сағат бойы сіңіргенде, беттік коррозия мөлшері 0,01 мкм-ден аз болады. Тот баспайтын болат қышқылдар мен сілтілер әсерінен коррозияға бейім, алюминий қорытпасы сілтілі заттардан қорқады, ал инженерлік пластик органикалық еріткіштердің әсерінен ісінеді. Граниттің тығыз құрылымы (кеуектілігі < 0,1%) бөлшектердің ластануын болдырмайды, бұл оны жартылай өткізгішті тазалау бөлмелері үшін «таңдалған материал» етеді.
4. Өңдеу және құн: дәлдік пен шығын өнімділігі арасындағы «баланс шебері»
Гранитті ≤0,5μm/m тегістікке және Ra ≤0,05μm бетінің кедір-бұдырына дейін ұнтақтауға болады, бірақ өңдеу салыстырмалы түрде ұзақ уақыт алады. Тот баспайтын болат өңдеуге оңай, бірақ деформацияға бейім, ал керамика жоғары дәлдікке ие, бірақ қымбат. Наноөлшемді дәлдікке ұмтылатын сценарийлерде граниттің жан-жақты өзіндік құны басқа материалдардан әлдеқайда асып түседі.
5. Электромагниттік тазалық: Электрондық құрылғылардың «тазалаушысы».
Металл емес материал ретінде гранит магниттік емес және өткізгіш емес және сенсорлар мен электрондық компоненттерге кедергі жасамайды. Металдардың электр өткізгіштігі мен магнетизмі, инженерлік пластмассалардың статикалық электр тогы және керамиканың диэлектрлік жоғалуы фотолитографиялық машиналар мен ядролық магниттік-резонансты машиналар сияқты дәл жабдықтар алдында «әлсіз нүктелерге» айналады. Дегенмен, гранит электромагниттік сезімтал орталар үшін өте қолайлы.
Жоғары температураға төзімділіктен дірілге төзімділікке дейін, коррозияны болдырмаудан нөлдік электромагниттік кедергіге дейін гранит өзінің қатты қасиеттерімен дәл өндіріс саласында таптырмас «патша» екенін дәлелдеді.
Хабарлама уақыты: 20 мамыр-2025 ж