Гранит - беріктігіне, беріктігіне және тозуға төзімділігіне байланысты әртүрлі салаларда қолданылатын кең таралған материал. Граниттің қолданылу салаларының бірі - микрочиптерді, интегралдық микросхемаларды және басқа да электрондық компоненттерді өндіру үшін субстрат ретінде қолданылатын жартылай өткізгіштерді өндіру процесінде.
Жартылай өткізгіш өндірісінің маңызды компоненттерінің бірі - фотолитография, ол кремний пластинасына өрнектерді беру үшін жарықты пайдалануды қамтиды. Гранит пластиналары бұл процесте өрнектерді беру үшін қолданылатын жұқа пленка жабылатын негіз ретінде қолданылады. Гранит фотолитографияда табиғи жазықтығына байланысты артықшылыққа ие, бұл оның бетіне жағылған жұқа пленканың тегіс және біркелкі болуын қамтамасыз етеді. Жұқа пленканы тегіс және біркелкі қолдану пластинада жасалған өрнектердің дәл және дәл болуын қамтамасыз ету үшін өте маңызды.
Гранит таза бөлмедегі жұмыс үстелдері мен жабдықтарын жасауда да қолданылады. Жартылай өткізгіштерді өндіру кезінде тазалық өте маңызды, ал кез келген ұсақ бөлшектер немесе шаң компоненттерді зақымдауы мүмкін. Сондықтан таза бөлмелерде қолданылатын материалдар төгілмейтін, реактивті емес және тазалауға оңай болуы керек. Гранит осы талаптарға сай келеді, бұл оны таза бөлмедегі жұмыс үстелдері мен басқа да жабдықтарды өндіру үшін тамаша материал етеді.
Жартылай өткізгіштер өндірісінде граниттің тағы бір қолданылуы вакуумдық жүйелерді жасауда. Вакуумдық жүйе өндіріс процесінде өте маңызды, себебі ол өндірілетін жартылай өткізгіш компоненттердің жоғары сапалы болуын қамтамасыз ететін төмен қысымды ортаны жасау үшін қолданылады. Граниттің жоғары беріктігі мен термиялық кеңею коэффициентінің төмендігі оны вакуумдық камераларды жасау үшін сенімді материал етеді.
Қорытындылай келе, гранит беріктігі, беріктігі және термиялық тұрақтылығы сияқты ерекше қасиеттеріне байланысты жартылай өткізгіштер өндірісінде құнды материал болып табылады. Граниттің жазықтығы мен табиғи тазалығы оны фотолитография, таза бөлмедегі жұмыс үстелдері және вакуумдық жүйелер үшін жарамды етеді. Жартылай өткізгіштер өнеркәсібінде гранитті қолдану оның әмбебаптығы мен әртүрлі қолданбаларға бейімделуінің дәлелі болып табылады, бұл оның тек сәндік материал ғана емес, сонымен қатар әртүрлі өнеркәсіптік процестердің маңызды құрамдас бөлігі екенін дәлелдейді.
Жарияланған уақыты: 2023 жылғы 5 желтоқсан