Гранит көптеген жылдар бойы жартылай өткізгіш жабдықтарды өндіру мен жобалауда кеңінен қолданылып келеді. Бұл оның керемет қасиеттеріне байланысты, бұл оны көптеген қолданбалар үшін тамаша материал етеді. Гранит тозуға, коррозияға және термиялық соққыларға өте төзімді, бұл оны қатал ортада қолдануға жарамды етеді. Бұл мақалада біз жартылай өткізгіш жабдықтарда граниттің кең таралған қолданылуының кейбірін талқылаймыз.
1. Метрологиялық жабдықтар
Метрологиялық жабдық жартылай өткізгіш құрылғылардың өлшемдері мен қасиеттерін өлшеу үшін қолданылады. Гранит көбінесе жоғары өлшемдік тұрақтылығына байланысты мұндай жабдықтың негізі ретінде қолданылады. Гранит бетінің жазықтығы мен дәлдігі дәл өлшеулер үшін тамаша анықтамалық болып табылады. Сонымен қатар, граниттің термиялық тұрақтылығы температураның өзгеруіне байланысты өлшемдердің өзгеру қаупін азайтады.
2. Оптикалық жабдық
Гранит сонымен қатар жартылай өткізгіш құрылғыларды жасауда қолданылатын литография машиналары сияқты оптикалық жабдықтарда қолданылады. Гранит негізі осы машиналарда қолданылатын жоғары дәлдіктегі оптика үшін тұрақты платформаны қамтамасыз етеді. Граниттің тамаша дірілді басатын қасиеттері оптиканың өнімділігі мен дәлдігіне әсер етуі мүмкін дірілді азайтуға да көмектеседі.
3. Вафли өңдеу жабдықтары
Жартылай өткізгішті пластиналарды өңдеу бірнеше кезеңнен тұрады, соның ішінде тазалау, ою және тұндыру. Гранит пластиналарды өңдеу жабдығының бірнеше құрамдас бөліктерінде қолданылады. Мысалы, гранит кремний пластиналарына жұқа қабықшаларды жағу үшін қолданылатын химиялық бумен тұндыру (ХБТ) жабдығы үшін субстрат ретінде қолданылады. Гранит сонымен қатар ою камералары мен басқа да өңдеу ыдыстарын жасауда қолданылады, мұнда оның тамаша химиялық төзімділігі мен өлшемдік тұрақтылығы маңызды.
4. Сынақ жабдықтары
Сынақ жабдықтары жартылай өткізгіш құрылғылардың жұмысын және сапасын тексеру үшін қолданылады. Гранит көбінесе жоғары қаттылығы мен тұрақтылығына байланысты сынақ жабдықтарының негізі ретінде қолданылады. Гранит сезімтал сынақ жабдықтарына кедергі келтірмейтін магниттік емес және өткізбейтін платформаны қамтамасыз етеді. Гранит бетінің тегістігі мен дәлдігі сынақ нәтижелерін жоғары дәлдікпен алуға мүмкіндік береді.
Қорытынды
Қорытындылай келе, гранит жартылай өткізгіш жабдықтарды жобалау мен өндіруде маңызды материал болып табылады. Оның өлшемдік тұрақтылығы, термиялық тұрақтылығы, химиялық төзімділігі және дірілді басуды қоса алғанда, тамаша қасиеттері оны көптеген қолданбалар үшін тамаша материал етеді. Гранит жартылай өткізгіш жабдықтардың бірнеше маңызды компоненттерінде, соның ішінде метрология жабдықтарында, оптикалық жабдықтарда, пластиналарды өңдеу жабдықтарында және сынақ жабдықтарында қолданылады. Жылдамырақ, кішірек және қуатты жартылай өткізгіш құрылғыларға сұраныс өсе берген сайын, жартылай өткізгіш жабдықтарда гранитті пайдалану маңызды болып қала береді.
Жарияланған уақыты: 2024 жылғы 8 сәуір