Гранит көп жылдар бойы жартылай өткізгіш жабдықтардың өндірісі мен дизайнында кеңінен қолданылады. Бұл өте жақсы қасиеттеріне байланысты, бұл көптеген қосымшалар үшін тамаша материал жасайды. Гранит киюге, коррозияға және жылу күйзелістеріне өте төзімді, бұл оны қатал ортада пайдалануға жарамды етеді. Бұл мақалада біз граниттің жартылай өткізгіш жабдықтарындағы кейбір ортақ қосымшаларын талқылаймыз.
1. Метрологиялық жабдық
Метрологиялық жабдық жартылай өткізгіш құрылғылардың өлшемдері мен қасиеттерін өлшеу үшін қолданылады. Гранит көбінесе мұндай жабдықтың базасы ретінде, оның көлемді тұрақтылығына байланысты қолданылады. Гранит бетінің тегістік және дәлдігі дәл өлшеулер үшін тамаша анықтама береді. Сонымен қатар, граниттің жылу тұрақтылығы температура өзгеруіне байланысты өлшемді өзгерістердің қаупін азайтады.
2. Оптикалық жабдық
Гранит сонымен қатар жартылай өткізгіш құрылғыларды дайындауда қолданылатын литографиялық машиналар сияқты оптикалық жабдықтарда қолданылады. Граниттің негізі осы машиналарда қолданылатын жоғары дәлдіктегі оптика үшін тұрақты платформа ұсынады. Граниттің керемет дірілінің берік қасиеттері оптика қойылымы мен дәлдігіне әсер етуі мүмкін дірілдерді азайтуға көмектеседі.
3. Вафлиді өңдеу жабдықтары
Жартылай өткізгіш вафлиді өңдеу бірнеше қадамдарды, соның ішінде тазалау, игеру және тұндыруды қамтиды. Гранит вафлиді өңдеу жабдықтарының бірнеше компоненттерінде қолданылады. Мысалы, гранит химиялық будың тұндыру (CVD) жабдықтары үшін субстрат ретінде қолданылады, ол жұқа қабықшаларды кремний вафлиіне салуға пайдаланылады. Гранит палаталар мен басқа да технологиялық ыдыстардың құрылысында да қолданылады, онда оның керемет химиялық тұрақтылығы мен өлшемді тұрақтылығы қажет.
4. Тест жабдықтары
Сынақ жабдықтары жартылай өткізгіш құрылғылардың өнімділігі мен сапасын тексеру үшін қолданылады. Гранит көбінесе сынақ жабдықтарына негіз ретінде қолданылады, бұл оның жоғары қаттылық пен тұрақтылыққа байланысты. Гранитті сезімтал сынақ жабдықтарымен араласатын магниттік емес және өткізбейтін платформаны ұсынады. Гранит бетінің тегістік және дәлдігі тестілеудің дәл нәтижелеріне мүмкіндік береді.
Қорытынды
Қорытындылай келе, гранит жартылай өткізгіш жабдықтарды жобалау мен өндірудегі маңызды материал болып табылады. Оның керемет қасиеттері, соның ішінде өлшемді тұрақтылық, жылу тұрақтылығы, химиялық тұрақтылық және дірілді кетіру, оны көптеген қосымшалар үшін тамаша материал етеді. Гранит жартылай өткізгіш жабдықтардың бірнеше сыни компоненттерінде, соның ішінде метрологиялық жабдықтар, оптикалық жабдықтар, вафли өңдеу жабдықтары және сынақ жабдықтарымен қолданылады. Тезірек, кіші және күшті жартылай өткізгіш құрылғыларға сұраныс өсуде, өйткені жартылай өткізгіш жабдықтарда гранитті қолдану маңызды болып табылады.
POST уақыты: сәуір-08-2024