Гранит көп жылдар бойы жартылай өткізгішті жабдықтарды өндіруде және жобалауда кеңінен қолданылады.Бұл оның тамаша қасиеттеріне байланысты, бұл оны көптеген қолданбалар үшін тамаша материал етеді.Гранит тозуға, коррозияға және термиялық соққыларға өте төзімді, бұл оны қатал ортада қолдануға жарамды етеді.Бұл мақалада біз граниттің жартылай өткізгіш жабдықтардағы кейбір кең таралған қолданбаларын талқылаймыз.
1. Метрологиялық жабдық
Метрологиялық аппаратура жартылай өткізгіш құрылғылардың өлшемдері мен қасиеттерін өлшеу үшін қолданылады.Мұндай жабдықтың негізі ретінде гранит жиі пайдаланылады, себебі оның өлшемді тұрақтылығы жоғары.Гранит бетінің тегістігі мен дәлдігі дәл өлшеулер үшін тамаша анықтама береді.Сонымен қатар, граниттің термиялық тұрақтылығы температураның өзгеруіне байланысты өлшемдік өзгерістер қаупін азайтады.
2. Оптикалық жабдық
Гранит сонымен қатар жартылай өткізгіш құрылғыларды жасауда қолданылатын литографиялық машиналар сияқты оптикалық жабдықта қолданылады.Гранит негізі осы машиналарда қолданылатын жоғары дәлдіктегі оптика үшін тұрақты платформаны қамтамасыз етеді.Граниттің тамаша дірілді басатын қасиеттері оптиканың өнімділігі мен дәлдігіне әсер ететін тербелістерді азайтуға да көмектеседі.
3. Вафельді өңдеуге арналған жабдық
Жартылай өткізгішті пластинаны өңдеу бірнеше қадамдарды қамтиды, соның ішінде тазалау, ою және тұндыру.Гранит пластинаны өңдеуге арналған жабдықтың бірнеше компоненттерінде қолданылады.Мысалы, гранит кремний пластинкаларына жұқа қабықшаларды салу үшін қолданылатын химиялық буларды тұндыру (CVD) жабдығы үшін субстрат ретінде пайдаланылады.Гранит сонымен қатар өңдеу камералары мен басқа технологиялық ыдыстардың құрылысында қолданылады, мұнда оның тамаша химиялық тұрақтылығы мен өлшемдік тұрақтылығы маңызды.
4. Сынақ жабдығы
Сынақ жабдығы жартылай өткізгіш құрылғылардың өнімділігі мен сапасын тексеру үшін қолданылады.Гранит жоғары қаттылық пен тұрақтылыққа байланысты сынақ жабдығы үшін негіз ретінде жиі пайдаланылады.Гранит магнитті емес және өткізбейтін платформаны қамтамасыз етеді, ол сезімтал сынақ жабдығына кедергі келтірмейді.Гранит бетінің тегістігі мен дәлдігі жоғары дәлдік сынақ нәтижелерін алуға мүмкіндік береді.
Қорытынды
Қорытындылай келе, гранит жартылай өткізгіш жабдықтарды жобалау мен өндіруде маңызды материал болып табылады.Оның тамаша қасиеттері, соның ішінде өлшемдік тұрақтылық, термиялық тұрақтылық, химиялық төзімділік және дірілге қарсы тұру, оны көптеген қолданбалар үшін тамаша материал етеді.Гранит метрологиялық жабдықты, оптикалық жабдықты, пластинаны өңдеуге арналған жабдықты және сынақ жабдықтарын қоса алғанда, жартылай өткізгіш жабдықтардың бірнеше маңызды компоненттерінде қолданылады.Жылдамырақ, кішірек және қуатты жартылай өткізгіш құрылғыларға сұраныс өсуде, жартылай өткізгіш жабдықтарда гранитті пайдалану маңызды болып қала береді.
Жіберу уақыты: 08 сәуір 2024 ж