Гранит тамаша механикалық қасиеттері, термиялық тұрақтылығы және жылу кеңеюінің төмен коэффициенті үшін жартылай өткізгіш өнеркәсібінде жиі қолданылатын материал болды.Дегенмен, жоғары дәлдік пен өнімділікке деген үнемі өсіп келе жатқан сұраныспен балама материалдар жартылай өткізгіш жабдықтың құрамдас бөліктерін жасаудың өміршең нұсқалары ретінде пайда болды.Бұл мақалада біз жартылай өткізгіш жабдықтардағы гранит бөліктеріне арналған кейбір балама материалдарды зерттеп, олардың артықшылықтары мен кемшіліктерін салыстырамыз.
Гранит бөлшектеріне арналған балама материалдар
1. Шыны керамикалық материалдар
Зеродур және Цервит сияқты шыны керамикалық материалдар кремнийдікіне жақын жылулық кеңею коэффициенті төмен болғандықтан жартылай өткізгіш өнеркәсібінде кеңінен қолданыла бастады.Демек, бұл материалдар жартылай өткізгішті жасау процесінде жақсы термиялық тұрақтылықты және жоғарылатылған дәлдікті қамтамасыз ете алады.Zerodur, атап айтқанда, біртектілігі мен тұрақтылығының жоғары дәрежесіне ие, бұл оны литографиялық жабдықты өндіруге жарамды етеді.
Артықшылықтары:
- Термиялық кеңеюдің төмен коэффициенті
- Жоғары дәлдік пен тұрақтылық
- Жоғары температура қолданбалары үшін қолайлы
Кемшіліктері:
- Гранитпен салыстырғанда жоғары құны
- Салыстырмалы түрде сынғыш, өңдеу және өңдеу кезінде қиындықтар тудыруы мүмкін
2. Керамика
Алюминий оксиді (Al2O3), кремний карбиді (SiC) және кремний нитриді (Si3N4) сияқты керамикалық материалдар тамаша механикалық қасиеттерге, жоғары температураға төзімділікке және төмен термиялық кеңею коэффициентіне ие.Бұл қасиеттер керамиканы пластиналар мен патрондар сияқты жоғары термиялық тұрақтылық пен дәлдікті қажет ететін жартылай өткізгіш жабдық бөліктері үшін тамаша етеді.
Артықшылықтары:
- Жоғары термиялық тұрақтылық пен беріктік
- Төмен термиялық кеңею коэффициенті
- Жоғары тозуға төзімділік және химиялық инерттілік
Кемшіліктері:
- Сынғыш және жарылып кетуге бейім болуы мүмкін, әсіресе өңдеу және өңдеу кезінде
- Керамикалық бұйымдарды өңдеу және жылтырату қиын және көп уақытты қажет етеді
3. Металдар
Тот баспайтын болат және титан сияқты металл негізіндегі материалдар жартылай өткізгіш жабдықтардың кейбір бөліктері үшін олардың тамаша өңдеуге қабілеттілігі мен жоғары беріктігі арқасында қолданылған.Олар әдетте камера бөлшектері, муфталар және өткізгіштер сияқты жоғары термиялық тұрақтылық талап етілмейтін қолданбаларда қолданылады.
Артықшылықтары:
- Жақсы өңдеу және дәнекерлеу мүмкіндігі
- Жоғары беріктік пен икемділік
- Кейбір балама материалдармен салыстырғанда төмен баға
Кемшіліктері:
- Жоғары термиялық кеңею коэффициенті
- Термиялық кеңею мәселелеріне байланысты жоғары температура қолданбалары үшін жарамсыз
- Коррозияға және ластануға бейім
Қорытынды:
Қорытындылай келе, гранит жартылай өткізгіш жабдықтардың бөлшектері үшін танымал таңдау болғанымен, әрқайсысының бірегей артықшылықтары мен кемшіліктері бар балама материалдар пайда болды.Шыны керамикалық материалдар өте дәл және тұрақты, бірақ сынғыш болуы мүмкін.Керамика берік және тамаша термиялық тұрақтылыққа ие, бірақ сынғыш болуы мүмкін, бұл оларды өндіруді қиындатады.Металдар қымбат емес, өңделетін және иілгіш, бірақ олардың термиялық кеңею коэффициенті жоғары және коррозияға және ластануға бейім.Жартылай өткізгішті жабдық үшін материалдарды таңдағанда, қолданбаның нақты талаптарын ескеру және құнын, өнімділігін және сенімділігін теңестіретін материалдарды таңдау өте маңызды.
Хабарлама уақыты: 19 наурыз 2024 ж