.
Жартылай өткізгішті өндіру саласында вафлиді тексеру жабдығының дәлдігі чиптердің сапасы мен шығымдылығын тікелей анықтайды. Негізгі анықтау компоненттерін қолдайтын негіз ретінде жабдықтың негізгі материалының өлшемдік тұрақтылығы жабдықтың ұзақ мерзімді жұмыс өнімділігінде шешуші рөл атқарады. Гранит және шойын - пластинаны тексеру жабдығы үшін жиі қолданылатын екі негізгі материал. 10 жылдық салыстырмалы зерттеу олардың арасындағы өлшемдік тұрақтылық тұрғысынан айтарлықтай айырмашылықтарды анықтады, жабдықты таңдау үшін маңызды сілтемелер береді. .
Эксперименттік негіз және дизайн
Жартылай өткізгішті пластиналарды өндіру процесі анықтау дәлдігіне өте жоғары талаптар қояды. Тіпті микрометр деңгейіндегі өлшемдік ауытқу чип өнімділігінің төмендеуіне немесе тіпті сынуға әкелуі мүмкін. Ұзақ мерзімді пайдалану кезінде гранит пен шойынның өлшемді тұрақтылығын зерттеу үшін зерттеу тобы нақты жұмыс ортасын модельдейтін эксперименттер жасады. Бірдей спецификациядағы гранит пен шойын үлгілері таңдалып, температура 15℃-ден 35℃-ге дейін және ылғалдылық 30% -дан 70% RH дейін ауытқып тұратын қоршаған орта камерасына орналастырылды. Жабдықты пайдалану кезіндегі механикалық діріл діріл үстелі арқылы имитацияланды. Үлгілердің негізгі өлшемдері әр тоқсан сайын жоғары дәлдіктегі лазерлік интерферометр көмегімен өлшенді және деректер 10 жыл бойы үздіксіз жазылды. .
Эксперименттік нәтиже: граниттің абсолютті артықшылығы
Он жылдық тәжірибелік деректер гранитті субстраттың таңғаларлық тұрақтылық көрсететінін көрсетеді. Оның термиялық кеңею коэффициенті өте төмен, орташа есеппен небәрі 4,6×10⁻⁶/℃. Температураның күрт өзгеруі кезінде өлшемдік ауытқу әрқашан ±0,001 мм шегінде бақыланады. Ылғалдылықтың өзгеруі жағдайында граниттің тығыз құрылымы оны дерлік әсер етпейді және өлшенетін өлшемдік өзгерістер болмайды. Механикалық діріл ортасында граниттің тамаша демпферлік сипаттамалары діріл энергиясын тиімді сіңіреді және өлшемдік ауытқу өте аз. .
Керісінше, шойын төсемі үшін оның орташа термиялық кеңею коэффициенті 11×10⁻⁶/℃ - 13×10⁻⁶/℃ жетеді, ал 10 жыл ішінде температураның өзгеруінен туындаған максималды өлшемдік ауытқу ±0,05мм құрайды. Ылғалды ортада шойын тот басуға және коррозияға бейім. Кейбір үлгілер жергілікті деформацияны көрсетеді, ал өлшемдік ауытқу одан әрі артады. Механикалық дірілдің әсерінен шойынның дірілді өшіру өнімділігі нашар және оның мөлшері жиі ауытқиды, бұл пластинаны тексерудің жоғары дәлдік талаптарын орындауды қиындатады. .
Тұрақтылық айырмашылығының негізгі себебі
Гранит жүздеген миллион жылдар бойы геологиялық процестер арқылы пайда болды. Оның ішкі құрылымы тығыз және біркелкі, минералды кристалдар тұрақты орналасады, ішкі кернеуді табиғатынан жояды. Бұл оны температура, ылғалдылық және діріл сияқты сыртқы факторлардың өзгеруіне өте сезімтал етеді. Шойын құю процесі арқылы жасалады және оның ішінде кеуектер мен құм тесіктері сияқты микроскопиялық ақаулары бар. Сонымен қатар, құю процесі кезінде пайда болатын қалдық кернеу сыртқы ортаның ынталандыруымен өлшемдік өзгерістерді тудыруға бейім. Шойынның металдық қасиеттері оны ылғалдылыққа байланысты тот басуға бейім етеді, құрылымдық зақымдануды тездетеді және өлшемдік тұрақтылықты төмендетеді. .
Вафельді тексеру жабдығына әсері
Гранит субстратына негізделген вафельді тексеру жабдығы тұрақты өлшемді өнімділігімен инспекция жүйесінің ұзақ уақыт бойы жоғары дәлдікті сақтауын қамтамасыз ете алады, жабдықтың дәлдігінің дрейфі салдарынан қате пікірді және жіберіп алған анықтауды азайтады және өнімнің шығымдылығын айтарлықтай жақсартады. Сонымен қатар, техникалық қызмет көрсетудің төмен талаптары жабдықтың толық өмірлік циклінің құнын азайтады. Шойын төсеніштерін пайдаланатын жабдық, нашар өлшемдік тұрақтылыққа байланысты, жиі калибрлеуді және техникалық қызмет көрсетуді қажет етеді. Бұл операциялық шығындарды арттырып қана қоймайды, сонымен қатар жеткіліксіз дәлдікке байланысты жартылай өткізгіш өндірісінің сапасына әсер етіп, ықтимал экономикалық шығындарды тудыруы мүмкін. .
Жартылай өткізгіш өнеркәсібінің жоғары дәлдік пен жақсырақ сапаға ұмтылу үрдісінде пластинаны тексеру жабдығы үшін негізгі материал ретінде гранитті таңдау, сөзсіз, жабдықтың өнімділігін қамтамасыз ету және кәсіпорындардың бәсекеге қабілеттілігін арттыру үшін дана қадам болып табылады. .
Хабарлама уақыты: 14 мамыр 2025 ж