Жоғары деңгейлі өндіріс және заманауи ғылыми зерттеулер салаларында дәл статикалық қысымды ауаның қалқымалы қозғалыс платформасы ультра дәлдікке қол жеткізу үшін негізгі жабдық болып табылады. Гранитті дәлдік негізі платформаның негізгі тірек бөлігі болып табылады және оның өнімділігі жұмыс ортасымен тығыз байланысты. Осы экологиялық талаптарды түсіну және орындау платформаның жоғары дәлдіктегі жұмысын қамтамасыз етіп қана қоймай, сонымен қатар төменде егжей-тегжейлі сипатталған байланысты салаларда оның бәсекеге қабілеттілігін арттыру үшін кәсіпорынның маңызды бөлігі болуы мүмкін.
1. Температура: өлшемдік тұрақтылықты қамтамасыз ету үшін дәл бақылау
Гранит өзінің тұрақтылығымен танымал болғанымен, оның термиялық кеңею коэффициенті нөлге тең емес, ал температураның шамалы өзгеруі оның өлшемдік дәлдігіне әлі де әсер етуі мүмкін. Жалпы айтқанда, граниттің термиялық кеңею коэффициенті 5-7 ×10⁻⁶/℃ құрайды. Дәлдік статикалық қысымды ауаның қалқымалы қозғалыс платформасын қолдану сценарийінде бұл шамалы өзгеріс платформа арқылы күшейтіледі, бұл қозғалыс дәлдігінің ауытқуына әкелуі мүмкін. Мысалы, жартылай өткізгішті чиптерді өндіру процесінде данами деңгейіндегі позициялау дәлдігіне қойылатын литография процесі, қоршаған орта температурасының 1 ° C ауытқуы, 1 метр гранит негізінің бүйірлік ұзындығы 5-7 микрон сызықтық кеңеюді немесе жиырылуын тудыруы мүмкін, бұл чиптің литографиясының дамуын азайтуға жеткілікті. Сондықтан, гранитті дәлдік негізімен жабдықталған дәлдіктегі статикалық қысымды ауа қалқымалы платформасы, мінсіз жұмыс ортасының температурасы 20 ° C ± 1 ° C деңгейінде қатаң бақылануы керек, кәсіпорындар жоғары дәлдіктегі тұрақты температуралық ауаны баптау жүйесін орната алады, қоршаған ортаның температурасын үздіксіз бақылап, дәл реттей алады, гранит негізінің өлшемін сақтай алады, платформаның жоғары дәлдікпен жұмыс істеуін қамтамасыз етеді.
2. ылғалдылық: ақылға қонымды бақылау, негізгі өнімділікті қорғау
Ылғалдылық дәл гранит негіздеріне де айтарлықтай әсер етеді. Ылғалдылығы жоғары ортада гранит су буын оңай сіңіреді және бетінде конденсация болуы мүмкін, бұл ауа флотация жүйесінің қалыпты жұмысына кедергі келтіріп қана қоймайды, сонымен қатар гранит бетінің ұзақ мерзімді эрозиясына әкеледі, оның дәлдігі мен қызмет ету мерзімін азайтады. Мысал ретінде оптикалық линзаларды тегістеу шеберханасын алсақ, ылғалдылық ұзақ уақыт бойы 60% RH жоғары болса, гранит негізінің бетіне адсорбцияланған су буы ауа қалқымалы пленканың біркелкілігін бұзады, нәтижесінде линзаны тегістеу дәлдігі төмендейді және бетіндегі ақаулар пайда болады. Сондықтан жұмыс ортасының салыстырмалы ылғалдылығын 40%-60% RH арасында бақылау қажет. Кәсіпорындар нақты уақыт режимінде ылғалдылықты бақылау және бақылау үшін ылғалдандырғыштарды, ылғалдылық сенсорларын және басқа жабдықты пайдалана алады, дәл гранит негізі үшін қолайлы ылғалдылық ортасын жасай алады және дәл статикалық қысымды ауаның қалқымалы қозғалыс платформасының тұрақты жұмысын қамтамасыз ете алады.
3. тазалық: қатаң бақылау, бөлшектердің кедергісін жою
Шаң бөлшектері нақты статикалық қысымды ауаның қалқымалы қозғалыс платформасының «жауы» болып табылады және гранитті дәлдік негізіне үлкен зиян келтіреді. Кішкентай бөлшектер газ қалқымалы сырғытпасы мен гранит негізі арасындағы газ пленкасының саңылауына енгеннен кейін, олар газ пленкасының біркелкілігін бұзады, үйкелісті арттырады және тіпті платформаның қозғалысының дәлдігіне елеулі әсер ететін негіздің бетін сызып тастауы мүмкін. Аэроғарыштық бөлшектерді өте дәл өңдеу цехында ауадағы шаң бөлшектері гранитті негізге түссе, өңдеу құралының қозғалыс траекториясы ауытқуы мүмкін, бұл бөлшектердің өңдеу дәлдігіне әсер етеді. Сондықтан жұмыс аймағы өте таза болуы керек және тазалық стандарты 10 000 немесе одан да жоғары болуы керек. Кәсіпорындар жоғары тиімділік ауа сүзгілерін (HEPA) орнату арқылы ауадағы шаң бөлшектерін сүзе алады және адамдар әкелетін шаңды азайту және гранит негізі мен дәлдіктегі статикалық қысымды ауаның қалқымалы қозғалысы платформасының жоғары дәлдіктегі жұмыс ортасын сақтау үшін қызметкерлерден шаңсыз киім, аяқ киім жамылғылары және т.б. киюді талап етеді.
4. Діріл: тегіс кеңістікті жасау үшін тиімді оқшаулау
Сыртқы діріл дәлдіктегі статикалық қысымды ауа қалқымалы платформасының дәлдігіне айтарлықтай кедергі келтіреді, дегенмен дәл гранит негізі белгілі бір дірілді әлсірету қабілетіне ие, бірақ жоғары берік діріл әлі де оның буферлік шегін бұзуы мүмкін. Зауыт айналасындағы қозғалыс және үлкен механикалық жабдықтың жұмысы нәтижесінде пайда болатын діріл гранит негізіне жер арқылы беріледі, бұл платформа қозғалысының дәлдігіне кедергі келтіреді. Жоғары деңгейлі CMM-де діріл өлшеу зонды мен өлшенетін дайындама арасындағы байланыс тұрақсыз болуы мүмкін, бұл өлшеу деректерінің ауытқуына әкеледі. Бұл мәселені шешу үшін дірілді оқшаулаудың тиімді шараларын қабылдау қажет, мысалы, жабдықты орнату аймағында дірілді оқшаулау төсеніштерін төсеу, дірілді оқшаулау негізін салу немесе сыртқы дірілді белсенді түрде жою үшін белсенді дірілді оқшаулау жүйесін пайдалану және граниттің дәлдігінің негізі мен ауа қысымының нақты статикалық қозғалысы үшін тыныш және тұрақты жұмыс ортасын құру.
Дәлдік статикалық қысымды ауаның қалқымалы қозғалыс платформасында гранитті дәлдік негізінің артықшылықтарын толық пайдалану үшін, платформаның әртүрлі салалар үшін жоғары дәлдіктегі және жоғары тұрақты қозғалысты басқару қызметтерін қамтамасыз ету үшін жоғарыда аталған экологиялық талаптарды орындаңыз. Кәсіпорындар өндіріс жағдайында осы бөлшектерге назар аудара алса, олар дәл өндірісте, ғылыми зерттеулерде және басқа салаларда мүмкіндіктерді пайдаланады, бәсекеге қабілеттілігін арттырады және тұрақты дамуға қол жеткізеді.
Жіберу уақыты: 10 сәуір-2025 ж