Гранит компоненттері жартылай өткізгішті өндіріс процесінде кеңінен қолданылған, олардың керемет сипаттамалары, мысалы, жоғары беті, жоғары қаттылық және дірілді демпферлеу. Гранит компоненттері жартылай өткізгіштер үшін, оның ішінде литографиялық машиналар, жылтыратқыш машиналар, жылтыратқыш машиналар және метрология жүйелері үшін қажет, өйткені олар өндірістік процестер кезінде дәлдік пен тұрақтылықты қамтамасыз етеді. Гранит компоненттерін қолданудың барлық артықшылықтарына қарамастан, оларда кемшіліктер бар. Бұл мақалада біз жартылай өткізгішті өндіретін өнімдерге гранит компоненттерінің ақауларын талқылаймыз.
Біріншіден, гранит компоненттері жоғары термиялық кеңею коэффициентіне ие. Бұл олардың жылу кернеуі астында айтарлықтай кеңейте отырып, бұл өндіріс процесінде мәселелер туындауы мүмкін. Жартылай өткізгіш процесс термиялық стресстен кейін бұзылуы мүмкін жоғары дәлдік пен өлшемді дәлдікті қажет етеді. Мысалы, жылу кеңеюіне байланысты кремний вафли деформациясы литография кезіндегі туралау мәселелерін тудыруы мүмкін, бұл жартылай өткізгіш құрылғының сапасына нұқсан келтіруі мүмкін.
Екіншіден, гранит компоненттеріне жартылай өткізгіш өндіріс процесінде вакуумның ағып кетуіне әкелуі мүмкін кеуектілік ақаулары бар. Әуе немесе жүйеде басқа газдың болуы вафлидің бетіне ластануы мүмкін, нәтижесінде жартылай өткізгіш құрылғының жұмысына әсер етуі мүмкін ақаулар пайда болуы мүмкін. Аргон мен гелий сияқты инертті газдар кеуекті гранит компоненттеріне және вакуум процесінің тұтастығына кедергі келтіруі мүмкін газ көпіршіктерін құра алады.
Үшіншіден, гранит компоненттерінде өндірістік процесті дәлдікке кедергі келтіруі мүмкін микроқарждар бар. Гранит - бұл уақыт өте келе микроқаржы игергіш материал, әсіресе тұрақты стресс цикліне ұшыраған кезде. Микроқұрылымдардың болуы өлшемді тұрақсыздыққа әкелуі мүмкін, бұл литографиялық туралау немесе вафли жылтырату сияқты өндіріс процесінде маңызды мәселелер туғызуы мүмкін.
Төртіншіден, гранит компоненттерінің икемділігі шектеулі. Жартылай өткізгішті шығару процесі процестердің әртүрлі өзгеруіне мүмкіндік беретін икемді жабдықты қажет етеді. Алайда, гранит компоненттері қатаң және процесстің әртүрлі өзгеруіне бейімделмейді. Сондықтан, өндірістік процесстегі кез-келген өзгерістер гранит компоненттерін алып тастауды немесе ауыстыруды қажет етеді, жұмыс уақытына және өнімділікке әсер етеді.
Бесіншіден, гранит компоненттері олардың салмағы мен сынғыштарына байланысты арнайы өңдеуді және тасымалдауды қажет етеді. Гранит - бұл тығыз және ауыр материал, ол крандар мен көтергіштер сияқты арнайы жабдық қажет. Сонымен қатар, гранит компоненттері қосымша шығындар мен уақытқа әкелетін жеткізілім кезінде зақымдануды болдырмау үшін мұқият орау және тасымалдауды қажет етеді.
Қорытындылай келе, гранит компоненттерінде жартылай өткізгішті өндіретін өндіріс өнімдерінің сапасы мен өнімділігіне әсер етуі мүмкін кейбір кемшіліктер бар. Бұл ақауларды гранит компоненттерін мұқият өңдеу және техникалық қызмет көрсету, соның ішінде микроқаржы және кеуекті ақаулық, ластанудың алдын алу, ластанудың алдын алу және тасымалдау кезінде ұқыпты ұстау арқылы азайтылуы мүмкін. Ақауларға қарамастан, гранит компоненттері өздерінің үстіңгі қабаты, жоғары қаттылығы және дірілдігі жақсы демпингке байланысты жартылай өткізгішті өндіріс процесінің маңызды бөлігі болып қала береді.
POST TIME: Dec-05-2023