Гранит компоненттері жартылай өткізгіштерді өндіру процесінде бетінің жоғары сапасы, жоғары қаттылығы және дірілдің тамаша демпфері сияқты тамаша сипаттамаларына байланысты кеңінен қолданылды. Гранит компоненттері литографиялық машиналарды, жылтырату машиналарын және метрология жүйелерін қоса алғанда, жартылай өткізгіштерді өндіру жабдықтары үшін өте маңызды, себебі олар өндіріс процесінде дәл позициялау мен тұрақтылықты қамтамасыз етеді. Гранит компоненттерін пайдаланудың барлық артықшылықтарына қарамастан, олардың кемшіліктері де бар. Бұл мақалада біз жартылай өткізгіштерді өндіру процесі өнімдеріне арналған гранит компоненттерінің ақауларын талқылаймыз.
Біріншіден, гранит компоненттерінің жылулық кеңею коэффициенті жоғары. Бұл олардың жылулық кернеу кезінде айтарлықтай кеңейетінін білдіреді, бұл өндіріс процесінде мәселелер тудыруы мүмкін. Жартылай өткізгіштерді өндіру процесі жылулық кернеуге байланысты бұзылуы мүмкін жоғары дәлдік пен өлшемдік дәлдікті қажет етеді. Мысалы, жылулық кеңеюге байланысты кремний пластинасының деформациясы литография кезінде туралау мәселелерін тудыруы мүмкін, бұл жартылай өткізгіш құрылғының сапасына әсер етуі мүмкін.
Екіншіден, гранит компоненттерінде жартылай өткізгіш өндіріс процесінде вакуумдық ағып кетулерді тудыруы мүмкін кеуектілік ақаулары бар. Жүйеде ауаның немесе кез келген басқа газдың болуы пластинаның бетінде ластануды тудыруы мүмкін, бұл жартылай өткізгіш құрылғының жұмысына әсер етуі мүмкін ақауларға әкеледі. Аргон және гелий сияқты инертті газдар кеуекті гранит компоненттеріне сіңіп, вакуумдық процестің тұтастығына кедергі келтіруі мүмкін газ көпіршіктерін тудыруы мүмкін.
Үшіншіден, гранит компоненттерінде өндіріс процесінің дәлдігіне кедергі келтіруі мүмкін микросынықтар бар. Гранит - уақыт өте келе, әсіресе тұрақты кернеу циклдеріне ұшыраған кезде микросынықтар пайда болуы мүмкін сынғыш материал. Микросынықтардың болуы өлшем тұрақсыздығына әкелуі мүмкін, бұл өндіріс процесінде литографияны туралау немесе пластинаны жылтырату сияқты елеулі мәселелерді тудырады.
Төртіншіден, гранит компоненттерінің икемділігі шектеулі. Жартылай өткізгіш өндіріс процесі әртүрлі технологиялық өзгерістерге бейімделе алатын икемді жабдықты қажет етеді. Дегенмен, гранит компоненттері қатты және әртүрлі технологиялық өзгерістерге бейімделе алмайды. Сондықтан өндіріс процесіндегі кез келген өзгерістер гранит компоненттерін алып тастауды немесе ауыстыруды қажет етеді, бұл жұмыстың тоқтап қалуына және өнімділікке әсер етуіне әкеледі.
Бесіншіден, гранит компоненттері салмағы мен сынғыштығына байланысты арнайы өңдеуді және тасымалдауды қажет етеді. Гранит - крандар мен көтергіштер сияқты арнайы өңдеу жабдықтарын қажет ететін тығыз және ауыр материал. Сонымен қатар, гранит компоненттері тасымалдау кезінде зақымдануды болдырмау үшін мұқият орау мен тасымалдауды қажет етеді, бұл қосымша шығындар мен уақытқа әкеледі.
Қорытындылай келе, гранит компоненттерінің жартылай өткізгіш өндірісінің сапасы мен өнімділігіне әсер етуі мүмкін кейбір кемшіліктері бар. Бұл ақауларды гранит компоненттерін мұқият өңдеу және күтіп ұстау арқылы азайтуға болады, соның ішінде микросынықтар мен кеуектілік ақауларын мерзімді тексеру, ластанудың алдын алу үшін тиісті тазалау және тасымалдау кезінде мұқият өңдеу. Ақауларға қарамастан, гранит компоненттері жоғары беткі өңдеуіне, жоғары қаттылығына және тамаша дірілді басуына байланысты жартылай өткізгіш өндірісінің маңызды бөлігі болып қала береді.
Жарияланған уақыты: 2023 жылғы 5 желтоқсан