Гранит компоненттері жартылай өткізгіштерді өндіру процесінде олардың керемет сипаттамаларына байланысты, мысалы, үстіңгі бетті әрлеу, жоғары қаттылық және тамаша дірілді сөндіру.Гранит компоненттері литографиялық машиналарды, жылтырату машиналарын және метрология жүйелерін қоса алғанда, жартылай өткізгіштерді өндіруге арналған жабдық үшін өте маңызды, өйткені олар өндіріс процесінде дәл позициялауды және тұрақтылықты қамтамасыз етеді.Гранит компоненттерін пайдаланудың барлық артықшылықтарына қарамастан, олардың ақаулары да бар.Бұл мақалада біз жартылай өткізгішті өндіру технологиялық өнімдерге арналған гранит компоненттерінің ақауларын талқылаймыз.
Біріншіден, гранит компоненттері жоғары термиялық кеңею коэффициентіне ие.Бұл олардың термиялық кернеу кезінде айтарлықтай кеңейетінін білдіреді, бұл өндіріс процесінде мәселелер тудыруы мүмкін.Жартылай өткізгішті өндіру процесі термиялық кернеуге байланысты бұзылуы мүмкін жоғары дәлдікті және өлшемдік дәлдікті талап етеді.Мысалы, термиялық кеңеюге байланысты кремний пластинаның деформациясы литография кезінде туралау мәселелерін тудыруы мүмкін, бұл жартылай өткізгіш құрылғының сапасын бұзуы мүмкін.
Екіншіден, гранит құрамдастарында жартылай өткізгіштерді өндіру процесінде вакуумдық ағып кетуді тудыруы мүмкін кеуектілік ақаулары бар.Жүйеде ауаның немесе кез келген басқа газдың болуы пластинаның бетінде ластануды тудыруы мүмкін, нәтижесінде жартылай өткізгіш құрылғының жұмысына әсер ететін ақаулар болуы мүмкін.Аргон және гелий сияқты инертті газдар кеуекті гранит компоненттеріне сіңіп, вакуумдық процестің тұтастығына кедергі келтіруі мүмкін газ көпіршіктерін жасауы мүмкін.
Үшіншіден, гранит құрамдастарында өндіріс процесінің дәлдігіне кедергі келтіруі мүмкін микро сынықтар бар.Гранит сынғыш материал болып табылады, ол уақыт өте келе, әсіресе тұрақты кернеу циклдарына ұшыраған кезде микро сынықтарды дамыта алады.Микросынықтардың болуы өлшемдік тұрақсыздыққа әкелуі мүмкін, бұл өндіріс процесінде литографияны туралау немесе вафельді жылтырату сияқты маңызды мәселелерді тудырады.
Төртіншіден, гранит компоненттерінің икемділігі шектеулі.Жартылай өткізгішті өндіру процесі әртүрлі технологиялық өзгерістерді қабылдай алатын икемді жабдықты қажет етеді.Дегенмен, гранит компоненттері қатты және әртүрлі технологиялық өзгерістерге бейімделе алмайды.Сондықтан өндіріс процесіндегі кез келген өзгерістер гранит компоненттерін алып тастауды немесе ауыстыруды қажет етеді, бұл тоқтап қалуға және өнімділікке әсер етеді.
Бесіншіден, гранит компоненттері салмағы мен сынғыштығына байланысты ерекше өңдеуді және тасымалдауды қажет етеді.Гранит - крандар мен көтергіштер сияқты арнайы өңдеу жабдықтарын қажет ететін тығыз және ауыр материал.Сонымен қатар, гранит компоненттері жөнелту кезінде зақымдануды болдырмау үшін мұқият орау мен тасымалдауды қажет етеді, бұл қосымша шығындар мен уақытты тудырады.
Қорытындылай келе, гранит компоненттерінің жартылай өткізгіштерді өндіру процесінің өнімдерінің сапасы мен өнімділігіне әсер ететін кейбір кемшіліктері бар.Бұл ақауларды гранит құрамдас бөліктерін мұқият өңдеу және күту, соның ішінде микрожарықтар мен кеуектілік ақауларын мерзімді тексеру, ластануды болдырмау үшін дұрыс тазалау және тасымалдау кезінде мұқият өңдеу арқылы азайтуға болады.Ақауларға қарамастан, гранит компоненттері жартылай өткізгіштерді өндіру процесінің маңызды бөлігі болып қала береді, өйткені олардың беткі қабаты жоғары, жоғары қаттылық және тамаша дірілді сөндіру.
Жіберу уақыты: 05 желтоқсан 2023 ж