Қазіргі уақытта әлемдік жартылай өткізгіштер өнеркәсібі транзисторлардың өлшемдері бірнеше атомның енімен өлшенетін «Ангстрем дәуірін» үздіксіз іздеумен айналысуда. Литография және тексеру құралдары осы микроскопиялық масштабтарға ауысқан сайын, құрылымдық тұрақтылыққа деген сұраныс «макродан» «наноға» ауысты. Бұл революцияның негізінде Жердің өзі сияқты ежелгі материал жатыр: дәлдік граниті.
Көпшілік гранитті қарапайым тас ретінде қарастырса да, а контекстінденанопозициялау кезеңінемесе жоғары жылдамдықты пластиналарды тексеру жүйесі, бұл күрделі инженерлік керамика. Негізгі метрология құралдары мен озық қозғалыс платформалары арасындағы айырмашылықты түсіну кремний өндірісінде мүмкін болатын мүмкіндіктердің шекараларын кеңейтуге тырысатын OEM өндірушілері үшін өте маңызды.
Гранит CMM және гранит беттік тақтасы: инженерлік өзгерісті түсіну
Көптеген сапаны бақылау зертханаларында,Гранит беттік тақтасықолмен өлшеу үшін сенімді, тегіс анықтамалық болып табылатын барлық жерде қолданылатын құрылғы. Дегенмен, беттік пластина мен гранитті CMM (координаталық өлшеу машинасы) негізі бір-бірін алмастырады деген қате түсінік бар. Инженерлік тұрғыдан алғанда, олар екі түрлі күрделілік деңгейін білдіреді.
Беттік пластина статикалық тұрақтылыққа арналған. Оның негізгі міндеті - қозғалмайтын жүктеме астында тегіс болып қалу. Керісінше, CMM немесе дәлдік сатысына арналған гранит негізі динамикалық жүктемелерге төтеп беруі керек. CMM көпірі қозғалғанда немесе сызықтық қозғалтқыш пластина сатысын бірнеше Гс жылдамдықпен үдеткенде, гранит тек иілуге ғана емес, сонымен қатар бұралуға және гармоникалық резонансқа да төтеп беруі керек.
ZHHIMG инженерлері жоғары тығыздық пен ұсақ түйіршікті құрылымына байланысты динамикалық қолдану үшін «Қара гранитті» арнайы таңдайды. Стандартты беттік пластина кеуектірек түрін пайдалануы мүмкін болса, CMM негізі жоғары жылдамдықты қозғалыстың «серпілісі» өлшеу деректерін бұзатын құрылымдық қоңырауға айналмауы үшін ең жоғары Янг модулін қажет етеді.
Жартылай өткізгіш өндірісіндегі дәлдік кезеңдері: өнімділіктің негізі
Жартылай өткізгіштер өндірісінде өткізу қабілеті мен өнімділік екі маңызды көрсеткіш болып табылады. Екеуі де өнімділікке тікелей байланыстыдәлдік кезеңдеріDUV/EUV литография машинасындағы пластина сатысы болсын немесе Автоматтандырылған оптикалық тексеру (AOI) құралындағы позициялау жүйесі болсын, негізгі материал субнанометрлік қайталануды қамтамасыз етуі керек.
Фабрикадағы негізгі қиындық - жылу. Сызықтық қозғалтқыштар мен жетектер айтарлықтай жылу энергиясын өндіреді. Егер саты негізі алюминийден немесе болаттан жасалған болса, нәтижесінде пайда болған жылу кеңеюі пластинаның туралануынан шығып кетуіне әкеліп соғады, бұл чиптердің тұтас партияларын бұзатын «қабаттасу қателеріне» әкеледі.
Граниттің өте төмен жылу кеңею коэффициенті (ТКК) қозғалтқыштар қызған кезде де, сатының физикалық «картасының» тұрақты болып қалуын қамтамасыз етеді. Сонымен қатар, ZHHIMG кіріктірілген ауа мойынтіректерімен арнайы жасалған гранит компоненттерін ұсынады. Гранитті айна тәрізді тегістікке дейін жабыстыруға болатындықтан, ол ауа мойынтіректеріне тамаша қарсы бет ретінде қызмет етеді, бұл сатылардың жұқа ауа қабатында нөлдік үйкеліс пен нөлдік жабысқақтықпен «қалқып» тұруына мүмкіндік береді.
Нанопозициялау сатысы базасының физикасы
Біз әлемге кірген кезденанопозициялау кезеңі, біз адам шашынан 10 000 есе кіші қозғалыстармен жұмыс істейміз. Бұл деңгейде діріл - жау. Стандартты өнеркәсіптік едендер HVAC жүйелеріне, жаяу жүргіншілер қозғалысына және жақын маңдағы жабдықтарға байланысты үнемі дірілдейді.
Гранит үлкен төмен жиілікті сүзгі ретінде қызмет етеді. Жоғары массасы мен жоғары ішкі демпферленуіне байланысты, ол сезімтал сенсорларға немесе пластинаның өзіне жеткенге дейін жоғары жиілікті тербелістерді табиғи түрде сіңіреді. Бұл «пассивті оқшаулау» әлемдегі жетекші литография жеткізушілерінің вакууммен үйлесімді сатылары үшін ауыр, тұрақты негіздерді қамтамасыз ету үшін ZHHIMG-ге сүйенуінің себебі болып табылады. Біздің гранитіміз нөлдік газдануды қамтамасыз ету үшін арнайы өңделген, бұл оны электронды-сәулелік және EUV процестері үшін қажетті жоғары вакуумдық орталарға жарамды етеді.
Шектелген жылдамдықпен жүгіру: ZHHIMG артықшылығы
Шикі тас блоктан жартылай өткізгіш сапалы компонентке ауысу - өте шыдамдылықты қажет ететін процесс. CNC тегістеу бізге жақындағанымен, соңғы «Аса дәлдік» сапасына қолмен тегістеу арқылы қол жеткізіледі. Бұл процесс ZHHIMG техниктері бір уақытта микронның фракцияларын қыру үшін абразивті пасталар мен қолмен қозғалыстарды пайдаланады.
Бір үшіннанопозициялау кезеңі, жазықтық жалғыз талап емес; бағыттаушы беттердің параллелдігі мен перпендикулярлығы да маңызды. Біздің мекеме әрбір осьтің мінсіз тураланғанын тексеру үшін 0,1 доға-секунд ажыратымдылығы бар лазерлік трекерлер мен электрондық деңгейлерді пайдаланады. Шеберліктің бұл деңгейі тұтынушы өзінің сызықтық қозғалтқыштары мен кодтағыштарын орнатқан кезде механикалық негіздің физика мүмкіндік бергендей «мінсіз» деңгейге жақын болуын қамтамасыз етеді.
Фанның болашаққа жол ашуы
Өнеркәсіп 2 нм түйіндерге және одан да жоғары деңгейге жеткен сайын, материалдың тазалығы мен өлшемдік тұрақтылығына қойылатын талаптар күшейе түседі. Гранитті көміртекті талшықты көпірлер немесе керамикалық вакуумдық патрондар сияқты басқа да озық материалдармен біріктіру қозғалысты басқарудағы келесі шекара болып табылады.
ZHHIMG тек жеткізуші ғана болмауға міндеттенеді; біз жаһандық жартылай өткізгіш жеткізу тізбегіндегі бірлескен серіктеспіз. Келесі буын дәлдік сатылары үшін қажетті аса тұрақты негіздерді қамтамасыз ету арқылы біз болашақты құратын машиналарды құруға көмектесеміз.
Жарияланған уақыты: 2026 жылғы 2 ақпан