Жартылай өткізгішті өндіру: чипті өндіру процесінде фотолитография процесі схема үлгісін вафлиге дәл беруі керек. Бір осьті ауа қалқымалы ультра дәлдіктегі қозғалыс модулінің гранит негізі литография жабдығындағы вафли үстеліне жоғары дәлдікті орналастыруды және тұрақты қолдауды қамтамасыз ете алады. Мысалы, ASML және басқа да халықаралық атақты литография машиналарын өндірушілер өздерінің жоғары деңгейлі жабдықтарында гранит негізіндегі ауада қалқымалы қозғалыс модульдерін пайдаланады, олар литография үлгісінің дәлдігін қамтамасыз ету үшін нанометр деңгейінде пластинаның орналасу дәлдігін басқара алады, осылайша чиптің интеграциясы мен өнімділігін жақсартады.
Дәлдік өлшеу өрісі: CMM - өнеркәсіптік өндірісте жиі қолданылатын, дайындаманың өлшемін, пішінін және орналасуының дәлдігін өлшеу үшін қолданылатын дәлдік өлшеу жабдығы. Гранит негізіндегі бір осьті ауа қалқымасының ультра дәлдіктегі қозғалыс модулін CMM қозғалыс платформасы ретінде пайдалануға болады, ол жоғары дәлдіктегі сызықтық қозғалысты жүзеге асыра алады және өлшеу зондының тұрақты қозғалыс траекториясын қамтамасыз етеді. Мысалы, Hexagon компаниясының жоғары сапалы CMM құрылғысы бұл комбинацияны үлкен және күрделі бөлшектерді микрон деңгейіне дейін өлшеу дәлдігімен өлшеу үшін пайдаланады, бұл автомобиль, аэроғарыш және басқа салалардағы бөлшектердің сапасын бақылауға күшті кепілдік береді.
Аэроғарыштық өріс: аэроғарыш бөліктерін өңдеу және сынау кезінде жоғары дәлдік қажет. Мысалы, ұшақ қозғалтқышының қалақтарын өңдеу қалақ профилінің дәлдігін қамтамасыз ету үшін құралдың қозғалыс траекториясын дәл бақылауды талап етеді. Бір осьті ауа қалқымалы ультра дәлдіктегі қозғалыс модулінің гранит негізін бес осьті өңдеу орталығына және құралдың жоғары дәлдіктегі қозғалысты басқаруын қамтамасыз ету және пышақтың өңдеу дәлдігі дизайн талаптарына сәйкес келуін қамтамасыз ету үшін басқа жабдыққа қолдануға болады. Сонымен қатар, аэроқозғалтқышты құрастыру процесінде бөлшектердің құрастыру дәлдігін анықтау үшін жоғары дәлдіктегі өлшеу жабдығын пайдалану қажет. Гранит негізінің ауада жүзетін қозғалыс модулі құрастыру сапасын қамтамасыз ету үшін өлшеу жабдығына тұрақты қолдау мен дәл қозғалысты қамтамасыз ете алады.
Оптикалық тексеру өрісі: Оптикалық компоненттерді өндіру және сынау процесінде оптикалық компоненттерді жоғары дәлдікпен орналастыру және өлшеуді орындау қажет. Мысалы, айналар мен линзалар сияқты жоғары дәлдіктегі оптикалық компоненттерді жасау кезінде бет пішінінің дәлдігін анықтау үшін интерферометрлер мен басқа жабдықты пайдалану қажет. Бір осьті ауа қалқымалы ультра дәлдіктегі қозғалыс модулінің гранитті негізін субмикрондық позициялау дәлдігін жүзеге асыра алатын және оптикалық компоненттерді анықтау үшін дәл деректерді қолдауды қамтамасыз ететін интерферометрдің қозғалыс платформасы ретінде пайдалануға болады. Сонымен қатар, лазерлік өңдеу жабдығында лазер сәулесінің сканерлеу траекториясын басқару үшін жоғары дәлдіктегі қозғалыс платформасын пайдалану қажет, ауада қалқымалы қозғалыс модулінің гранит негізі осы талапқа жауап бере алады, лазерлік өңдеудің жоғары дәлдігіне қол жеткізу үшін.
Жіберу уақыты: 07 сәуір 2025 ж