.
Жартылай өткізгіштер өнеркәсібінде вафлиді тексеру чиптің сапасы мен өнімділігін қамтамасыз етудің негізгі буыны болып табылады, ал тексеру кестесінің дәлдігі мен тұрақтылығы анықтау нәтижелерінде шешуші рөл атқарады. Бірегей сипаттамалары бар гранит негізі, сіз үшін көп өлшемді талдаудан келесі жартылай өткізгіш пластинаны тексеру үстелі үшін тамаша таңдау болады. .
Біріншіден, дәлдік кепілдігі өлшемі
1. Өте жоғары тегістік және түзулік: гранит негізі озық өңдеу технологиясымен өңделеді және тегістік ± 0,001 мм/м немесе одан да жоғары дәлдікке жетуі мүмкін, сонымен қатар түзулігі де тамаша. Вафлиді тексеру процесінде жоғары дәлдіктегі жазықтық пластинаға тұрақты қолдауды қамтамасыз етеді және тексеру жабдығының зонды мен пластинаның бетіндегі дәнекерлеу қосылыстары арасындағы дәл жанасуды қамтамасыз етеді. .
2. Термиялық кеңеюдің өте төмен коэффициенті: жартылай өткізгіш өндірісі температураның өзгеруіне сезімтал, ал граниттің термиялық кеңею коэффициенті өте төмен, әдетте шамамен 5×10⁻⁶/℃. Анықтау платформасы жұмыс істеп тұрған кезде, тіпті қоршаған орта температурасы өзгерсе де, гранит негізінің өлшемі өте аз өзгереді. Мысалы, жазда жоғары температура цехында жалпы металл негізді анықтау платформасының температурасы вафли мен анықтау жабдығының салыстырмалы орналасуының ауысуына әкелуі мүмкін, бұл анықтау дәлдігіне әсер етеді; Гранит негізін анықтау платформасы тұрақтылықты сақтай алады, анықтау процесі кезінде пластинаның және анықтау жабдығының салыстырмалы орналасуының дәлдігін қамтамасыз етеді және жоғары дәлдіктегі анықтау үшін тұрақты ортаны қамтамасыз етеді. .
Екіншіден, тұрақтылық өлшемі
1. Тұрақты құрылым және дірілге төзімділік: миллиондаған жылдар геологиялық процестерден кейін гранит, ішкі құрылымы тығыз және біркелкі. Жартылай өткізгіштер зауытының күрделі жағдайында перифериялық жабдықтың жұмысы мен персоналдың айналасында серуендеу нәтижесінде пайда болатын діріл гранит негізі арқылы тиімді түрде әлсіретіледі. .
2. Ұзақ мерзімді пайдалану дәлдігі: басқа материалдармен салыстырғанда, граниттің қаттылығы жоғары, тозуға төзімділігі жоғары және Mohs қаттылығы 6-7-ге жетуі мүмкін. Гранит негізінің беті пластинаны жиі тиеу, түсіру және тексеру операциялары кезінде оңай тозбайды. Деректер статистикасының нақты қолданылуына сәйкес, гранитті негізді сынау үстелін пайдалану, 5000 сағаттан кейін үздіксіз жұмыс істеу, тегістік пен түзулік дәлдігі әлі де бастапқы дәлдіктің 98% -дан астамында сақталуы мүмкін, тұрақты калибрлеу және техникалық қызмет көрсету уақыттарынан туындаған базаның тозуына байланысты жабдықты азайту, бизнестің операциялық шығындарын азайту, сынақ жұмысының ұзақ мерзімді тұрақтылығын қамтамасыз ету. .
Үшіншіден, таза және кедергіге қарсы өлшем
1. Шаңның аз болуы: жартылай өткізгішті өндіру ортасы өте таза болуы керек, ал гранит материалының өзі тұрақты және шаң бөлшектерін шығару оңай емес. Сынақ платформасының жұмысы кезінде пластинаны ластау үшін негіз түзетін шаң болдырмайды, шаң бөлшектерінен туындаған қысқа тұйықталу және ашық тұйықталу қаупі төмендейді. Шаңсыз цехтың пластинаны тексеру аймағында гранит негізін тексеру үстелінің айналасындағы шаң концентрациясы жартылай өткізгіш өнеркәсібінің қатаң тазалық талаптарына сәйкес келетін өте төмен деңгейге дейін бақыланады. .
2. Магниттік кедергі жоқ: анықтау жабдығы электромагниттік ортаға сезімтал, ал гранит магниттік емес материал болып табылады, ол анықтау жабдығының электрондық сигналына кедергі келтірмейді. Электрондық сәулені анықтауды және өте жоғары электромагниттік ортаны қажет ететін басқа сынақ технологияларын пайдалану кезінде гранит негізі анықтау жабдығының электрондық сигналының тұрақты берілуін қамтамасыз етеді және сынақ нәтижелерінің дәлдігін қамтамасыз етеді. Мысалы, вафли жоғары дәлдіктегі электрлік өнімділікке сыналған кезде, магнитті емес гранит негізі анықтау тогы мен кернеу сигналдарына кедергілерді болдырмайды, осылайша анықтау деректері пластинаның электрлік сипаттамаларын шынымен көрсетеді.
Хабарлама уақыты: 31 наурыз 2025 ж