Жартылай өткізгіштер өнеркәсібінде пластиналарды тексеру чиптің сапасы мен өнімділігін қамтамасыз етудің негізгі буыны болып табылады, ал тексеру үстелінің дәлдігі мен тұрақтылығы анықтау нәтижелерінде шешуші рөл атқарады. Гранит негізі өзінің ерекше сипаттамалары бар, жартылай өткізгіш пластиналарды тексеру үстелі үшін тамаша таңдауға айналады, бұл сіз үшін көп өлшемді талдаудан туындайды.
Біріншіден, дәлдік кепілдігі өлшемі
1. Өте жоғары тегістік және түзулік: Гранит негізі озық өңдеу технологиясымен өңделеді, ал тегістік ±0,001 мм/м немесе одан да жоғары дәлдікке жетуі мүмкін, ал түзулік те тамаша. Пластинаны тексеру процесінде жоғары дәлдіктегі жазықтық пластинаны тұрақты тірекпен қамтамасыз етеді және тексеру жабдығының зондымен пластина бетіндегі дәнекерлеу қосылыстарының дәл жанасуын қамтамасыз етеді.
2. Термиялық кеңею коэффициенті өте төмен: жартылай өткізгіш өндірісі температураның өзгеруіне сезімтал, ал граниттің термиялық кеңею коэффициенті өте төмен, әдетте шамамен 5 × 10⁻⁶/℃. Анықтау платформасы жұмыс істеп тұрған кезде, қоршаған орта температурасы ауытқып тұрса да, гранит негізінің өлшемі өте аз өзгереді. Мысалы, жазда жоғары температуралы шеберханада жалпы металл негізін анықтау платформасының температурасы пластина мен анықтау жабдығының салыстырмалы орналасуының ығысуына әкелуі мүмкін, бұл анықтау дәлдігіне әсер етеді; Гранит негізін анықтау платформасы тұрақтылықты сақтай алады, анықтау процесінде пластина мен анықтау жабдығының салыстырмалы орналасу дәлдігін қамтамасыз етеді және жоғары дәлдікті анықтау үшін тұрақты ортаны қамтамасыз етеді.
Екіншіден, тұрақтылық өлшемі
1. Тұрақты құрылым және дірілге төзімділік: миллиондаған жылдар бойы геологиялық процестерден кейін граниттің ішкі құрылымы тығыз және біркелкі. Жартылай өткізгіш зауыттың күрделі ортасында перифериялық жабдықтар мен айналада жүрген персоналдың жұмысы нәтижесінде пайда болатын діріл гранит негізімен тиімді түрде басылады.
2. Ұзақ мерзімді пайдалану дәлдігі: басқа материалдармен салыстырғанда, граниттің қаттылығы жоғары, тозуға төзімділігі жоғары, ал Моос қаттылығы 6-7-ге жетуі мүмкін. Гранит негізінің беті пластиналарды жиі тиеу, түсіру және тексеру операциялары кезінде оңай тозбайды. Деректерді нақты пайдалану статистикасына сәйкес, гранит негізін сынау үстелін пайдалану, 5000 сағаттан кейін үздіксіз жұмыс істеу, тегістік пен түзулік дәлдігін бастапқы дәлдіктің 98%-дан астамында сақтауға болады, бұл тұрақты калибрлеу және техникалық қызмет көрсету уақытынан туындаған негіздің тозуына байланысты жабдықты азайтады, бизнестің пайдалану шығындарын азайтады, сынақ жұмыстарының ұзақ мерзімді тұрақтылығын қамтамасыз етеді.
Үшіншіден, таза және кедергіге қарсы өлшем
1. Шаңның аз түзілуі: жартылай өткізгіш өндірістік орта өте таза болуы керек, ал гранит материалының өзі тұрақты және шаң бөлшектерін шығару оңай емес. Сынақ платформасының жұмысы кезінде негіз түзетін шаңның пластинаны ластауына жол берілмейді, ал шаң бөлшектерінен туындайтын қысқа тұйықталу және үзіліс қаупі азаяды. Шаңсыз шеберхананың пластинаны тексеру аймағында гранит негізін тексеру үстелінің айналасындағы шаң концентрациясы әрқашан өте төмен деңгейге дейін бақыланады, бұл жартылай өткізгіш өнеркәсібінің қатаң тазалық талаптарына сәйкес келеді.
2. Магниттік кедергі жоқ: анықтау жабдығы электромагниттік ортаға сезімтал, ал гранит магниттік емес материал болып табылады, ол анықтау жабдығының электрондық сигналына кедергі келтірмейді. Электрондық сәулені анықтауды және өте жоғары электромагниттік ортаны қажет ететін басқа сынақ технологияларын пайдалану кезінде гранит негізі анықтау жабдығының электрондық сигналының тұрақты берілуін қамтамасыз етеді және сынақ нәтижелерінің дәлдігін қамтамасыз етеді. Мысалы, пластина жоғары дәлдіктегі электрлік өнімділікке тексерілген кезде, магниттік емес гранит негізі анықтау тогы мен кернеу сигналдарына кедергі келтірмейді, сондықтан анықтау деректері пластинаның электрлік сипаттамаларын шынымен көрсетеді.
Жарияланған уақыты: 2025 жылғы 31 наурыз