Кеңейтілген қолданбалар үшін гранитті дәлдік платформасын таңдау ешқашан оңай таңдау емес, бірақ қолданба оптикалық тексеруді қамтыған кезде — мысалы, жоғары үлкейту микроскопиясы, автоматтандырылған оптикалық тексеру (AOI) немесе күрделі лазерлік өлшеу үшін — талаптар қарапайым өнеркәсіптік қолданыстарға қойылатын талаптардан әлдеқайда асып түседі. ZHHIMG® сияқты өндірушілер платформаның өзі оптикалық жүйенің ажырамас бөлігіне айналатынын, шуды азайтатын және өлшеу тұтастығын барынша арттыратын қасиеттерді талап ететінін түсінеді.
Фотоникалардың жылулық және дірілдеу талаптары
Көптеген өнеркәсіптік машина базалары үшін негізгі мәселелер жүктеме сыйымдылығы және негізгі жазықтық (көбінесе микрондармен өлшенеді). Дегенмен, позицияның минималды ығысуларына негізінен сезімтал оптикалық жүйелер субмикрондық немесе нанометрлік диапазонда өлшенген дәлдікті талап етеді. Бұл екі маңызды қоршаған орта жауын: жылу дрейфі және дірілмен күресу үшін жасалған жоғары сапалы гранит платформасын талап етеді.
Оптикалық тексеру көбінесе ұзақ сканерлеу уақытын немесе экспозицияны қамтиды. Осы кезеңде температураның ауытқуына байланысты платформа өлшемдерінің кез келген өзгеруі - жылу дрейфі деп аталады - өлшеу қателігіне тікелей әкеледі. Міне, осы жерде ZHHIMG® қара граниті (≈ 3100 кг/м³) сияқты жоғары тығыздықтағы қара гранит маңызды болып табылады. Оның жоғары тығыздығы және жылу кеңеюінің төмен коэффициенті негіздің температураның шамалы ауытқулары бар ортада да өлшемдік тұрақты болып қалуын қамтамасыз етеді. Кәдімгі гранит негізі мұндай деңгейдегі жылу инерциясын ұсына алмайды, бұл оны бейнелеу немесе интерферометриялық орнату үшін жарамсыз етеді.
Тұқымдық демпферлеу және аса жазықтықтың міндеттілігі
Діріл – тағы бір маңызды қиындық. Оптикалық жүйелер сенсор (камера/детектор) мен үлгі арасындағы өте дәл қашықтыққа сүйенеді. Сыртқы дірілдер (зауыт жабдықтарынан, жылыту, желдету және кондиционерлеу жүйесінен немесе тіпті алыс көлік қозғалысынан) салыстырмалы қозғалысқа, кескіндердің бұлыңғырлығына немесе метрология деректерінің жарамсыздығына әкелуі мүмкін. Ауа оқшаулау жүйелері төмен жиілікті шуды сүзгіден өткізе алса да, платформаның өзінде жоғары материалдық демпфер болуы керек. Жоғары деңгейлі, жоғары тығыздықтағы граниттің кристалдық құрылымы қалдық, жоғары жиілікті тербелістерді металл негіздеріне немесе төменгі сұрыпты тас композиттеріне қарағанда әлдеқайда жақсы таратуда тамаша, оптика үшін шынымен тыныш механикалық еден жасайды.
Сонымен қатар, жазықтық пен параллелизмге қойылатын талаптар күрт артады. Стандартты құралдар үшін 0 немесе 00 дәрежелі жазықтық жеткілікті болуы мүмкін. Автофокустау және тігу алгоритмдері қолданылатын оптикалық тексеру үшін платформа көбінесе нанометрлік масштабта өлшенетін жазықтыққа қол жеткізуі керек. Геометриялық дәлдіктің бұл деңгейі тек дәлдікпен тегістеу машиналарын пайдаланатын мамандандырылған өндірістік процестер арқылы ғана мүмкін болады, содан кейін Renishaw лазерлік интерферометрлері сияқты озық құралдарды пайдаланып тексеру жүргізіледі және әлемдік деңгейде танылған стандарттармен (мысалы, DIN 876, ASME және сертификатталған метрология сарапшылары растаған) расталады.
Өндірістік тұтастық: сенім белгісі
Материалтанудан басқа, негіздің құрылымдық тұтастығы, соның ішінде бекіту кірістірулерінің, тесілген тесіктердің және кіріктірілген ауа өткізгіш қалталардың дәл орналасуы мен туралануы аэроғарыш деңгейіндегі төзімділікке сәйкес келуі керек. Әлемдік оптикалық түпнұсқа жабдықтар өндірушілерін (OEM) жеткізетін компаниялар үшін үшінші тарап аккредиттеуі процестің келіссөздерсіз дәлелі ретінде әрекет етеді. ZHHIMG® сияқты ISO 9001, ISO 14001 және CE сияқты кешенді сертификаттарға ие болу сатып алу менеджері мен жобалау инженеріне карьерден бастап соңғы тексеруге дейінгі бүкіл өндірістік жұмыс процесінің жаһандық деңгейде сәйкес келетініне және қайталанатынына кепілдік береді. Бұл жалпақ панельді дисплейді тексеру немесе жартылай өткізгіш литография сияқты жоғары құнды қолданбаларға арналған жабдықтар үшін төмен тәуекел мен жоғары сенімділікті қамтамасыз етеді.
Қорытындылай келе, оптикалық тексеру үшін гранитті дәлдік платформасын таңдау тек тас кесегін таңдау ғана емес; бұл оптикалық өлшеу жүйесінің тұрақтылығына, жылулық бақылауына және түпкілікті дәлдігіне белсенді түрде үлес қосатын негізгі компонентке инвестиция салу туралы. Бұл талапшыл орта жоғары сапалы материалға, дәлелденген мүмкіндіктерге және сертификатталған жаһандық сенімге ие серіктесті қажет етеді.
Жарияланған уақыты: 2025 жылғы 21 қазан