Дәл өндіріс пен ғылыми зерттеулер шекарасында аса дәл қозғалысты басқаруға деген сұраныс күн сайын артып келеді. Жоғары дәлдіктегі сызықтық қозғалысқа қол жеткізудің негізгі құралы ретінде аса дәлдіктегі бір осьті ауамен жүзетін модульдің өнімділігі соңғы өнімнің сапасына және ғылыми зерттеу нәтижелерінің дәлдігіне тікелей әсер етеді. Көптеген әсер ететін факторлардың ішінде гранит негізін қолдану оған теңдессіз артықшылық береді және тамаша дәлдікті қамтамасыз етудің негізгі элементіне айналады.
Гранит, миллиондаған жылдар бойы геологиялық өзгерістерден кейін, ішкі құрылымы өте тығыз және біркелкі. Ол негізінен кварцтан, дала шпатынан және басқа минералдардан тұрады, бұл бірегей материалдық құрам гранитке тамаша физикалық қасиеттер береді. Бір осьті ауа қалқымалы ультра дәлдіктегі қозғалыс модулінің негізі ретінде пайдаланылған кезде, гранит алдымен өте жоғары тұрақтылықты көрсетеді. Кәдімгі металл материалдық негіздермен салыстырғанда, гранит негіздері температураның ауытқуы және механикалық діріл сияқты сыртқы қоршаған ортаның бұзылуларына қарсы күшті деформацияға төзімділікті көрсетеді. Электронды чип өндірісі процесінде нанометр деңгейіне жету үшін чип литографиясының орналасу дәлдігі қажет. Өндіріс цехында үлкен жабдықтардың жұмысы нәтижесінде пайда болатын діріл және қоршаған орта температурасының шамалы өзгеруі литография жабдығының қозғалыс дәлдігіне әсер етуі мүмкін. Гранит негізі бар бір осьті ауа қалқымалы ультра дәлдіктегі қозғалыс модулі сыртқы дірілді тиімді түрде азайтып, қозғалыс модуліне берілетін діріл амплитудасын 80%-дан астамға азайта алады. Сонымен қатар, оның жылу кеңею коэффициенті өте төмен, бұл температура өзгерген кезде базаның өлшемін өте аз өзгертеді, бұл ауада жүзетін қозғалыс модулінің күрделі ортада тұрақты қозғалыс дәлдігін сақтай алатындығына кепілдік береді, чип литографиясы үшін дәл позициялау негізін қамтамасыз етеді және чип өндірісінің өнімділігін айтарлықтай жақсартады.
Сонымен қатар, гранит тозуға жақсы төзімділікке ие. Ультра дәлдіктегі бір осьті ауа қалқымалы модулінің жиі өзара қозғалысы процесінде, ауа қалқымалы сырғытпасы мен негіз арасында газ қабықшасы тірегі болғанымен, ұзақ мерзімді пайдалану сөзсіз белгілі бір үйкеліс деңгейін тудырады. Гранит негізі, жоғары қаттылық сипаттамаларымен, осы үйкеліс тудыратын тозуға тиімді қарсы тұра алады және қозғалыс модулінің қызмет ету мерзімін ұзарта алады. Университеттердің ғылыми-зерттеу зертханасында микробөлшектерді анықтау үшін қолданылатын эксперименттік жабдық көптеген дәл эксперименттік деректерді алу үшін бір осьті ауа флотациясының ультра дәлдіктегі қозғалыс модулінің ұзақ уақыт бойы тұрақты жұмыс істеуін қажет етеді. Гранит негізінің жоғары тозуға төзімділігі қозғалыс модулінің дәлдігін ұзақ уақыт пайдаланғаннан кейін де бастапқы жоғары дәлдік деңгейінде сақтауға мүмкіндік береді, бұл ғылыми-зерттеу жұмыстарының үздіксіздігі мен дәлдігіне сенімді кепілдік береді және зерттеушілерге микроскопиялық әлемнің құпиясын терең зерттеуге көмектеседі.
Гранит негізі бар бір осьті ауа қалқымалы ультра дәлдіктегі қозғалыс модулі дәл өндіріс пен ғылыми зерттеулер үшін дәл «навигатор» сияқты. Гранит негізі тамаша тұрақтылығымен, тозуға төзімділігімен ауа қалқымалы қозғалыс модулінің жоғары дәлдіктегі қозғалысы үшін берік тірек береді, жартылай өткізгіш өндірісінде, оптикалық аспаптар өндірісінде, жоғары деңгейлі ғылыми зерттеулерде және саланың басқа да көптеген дәлдік талаптарында маңызды рөл атқарады, саланы жоғары дәлдікке, жоғары сапа бағытына ілгерілетеді.
Жарияланған уақыты: 07.04.2025