Дәл өндіріс пен ғылыми зерттеулердің шекарасында ультра дәлдіктегі қозғалысты басқаруға сұраныс күн сайын артып келеді. Жоғары дәлдіктегі сызықтық қозғалысқа қол жеткізу үшін негізгі жабдық ретінде ультра дәлдіктегі бір осьті ауа қалқымалы модулінің өнімділігі соңғы өнімнің сапасына және ғылыми зерттеу нәтижелерінің дәлдігіне тікелей әсер етеді. Көптеген әсер ететін факторлардың ішінде гранитті негізді қолдану оған теңдесі жоқ артықшылық береді және тамаша дәлдікті қамтамасыз етудің негізгі элементіне айналады.
Гранит, миллиондаған жылдар бойы геологиялық өзгерістерден кейін ішкі құрылымы өте тығыз және біркелкі. Ол негізінен кварц, дала шпаты және басқа минералдардан тұрады, бұл бірегей материал құрамы гранитке тамаша физикалық қасиеттер береді. Бір осьті ауа қалқымалы ультра дәлдіктегі қозғалыс модулінің негізі ретінде пайдаланылған кезде гранит алдымен өте жоғары тұрақтылықты көрсетеді. Кәдімгі металл материалды негіздермен салыстырғанда, гранитті негіздер температураның ауытқуы және механикалық діріл сияқты сыртқы ортаның бұзылуына қарсы күшті деформацияға төзімділігін көрсетеді. Электрондық чиптерді жасау процесінде нанометрлік деңгейге жету үшін чип литографиясының позициялау дәлдігі қажет. Өндірістік цехта үлкен жабдықтың жұмысы нәтижесінде пайда болатын діріл және қоршаған орта температурасының шамалы өзгеруі литографиялық жабдықтың қозғалыс дәлдігіне әсер етуі мүмкін. Гранит негізі бар жалғыз осьті ауа қалқымалы ультра дәлдіктегі қозғалыс модулі сыртқы дірілді тиімді түрде әлсіретеді және қозғалыс модуліне берілетін діріл амплитудасын 80% -дан астамға азайтады. Сонымен қатар, оның өте төмен жылу кеңею коэффициенті температура өзгерген кезде базаның өлшемін өте аз өзгертеді, бұл ауада қалқымалы қозғалыс модулінің күрделі ортада әлі де тұрақты қозғалыс дәлдігін сақтай алуын қамтамасыз етеді, чип литографиясы үшін нақты позициялау негізін қамтамасыз етеді және чип өндірісінің өнімділігін айтарлықтай арттырады.
Сонымен қатар, граниттің тозуға төзімділігі жақсы. Ультра дәлдіктегі бір осьті ауа қалқымалы модулінің жиі кері қозғалысы процесінде, ауа қалқымалы сырғытпасы мен негіз арасында газ пленкасының тірегі бар болса да, ұзақ мерзімді пайдалану міндетті түрде белгілі бір үйкеліс деңгейін тудырады. Гранит негізі, жоғары қаттылық сипаттамалары бар, осы үйкелістен туындаған тозуға тиімді қарсы тұра алады және қозғалыс модулінің қызмет ету мерзімін ұзартады. Университеттердің ғылыми-зерттеу зертханасында микробөлшектерді анықтау үшін қолданылатын тәжірибелік жабдық дәл эксперименттік деректердің үлкен санын алу үшін ұзақ уақыт тұрақты жұмыс істеу үшін бір осьті ауа флотациясының ультра дәлдіктегі қозғалыс модулін қажет етеді. Гранит негізінің жоғары тозуға төзімділігі қозғалыс модулінің дәлдігі ұзақ уақыт пайдаланудан кейін әлі де бастапқы жоғары дәлдік деңгейінде сақталуын қамтамасыз етеді, ғылыми зерттеу жұмыстарының үздіксіздігі мен дәлдігіне сенімді кепілдік береді және зерттеушілерге микроскопиялық әлемнің құпиясын терең зерттеуге көмектеседі.
Гранит негізі бар бір осьті ауа қалқымалы ультра дәлдіктегі қозғалыс модулі дәл өндіріс пен ғылыми зерттеулерге арналған дәл «навигатор» сияқты. Гранит негізі өзінің тамаша тұрақтылығымен, тозуға төзімділігімен, ауада қалқымалы қозғалыс модулінің жоғары дәлдіктегі қозғалысы үшін берік тірек болып табылады, жартылай өткізгіштер өндірісінде, оптикалық аспаптар жасауда, жоғары ғылыми зерттеулерде және саланың басқа да көптеген дәлдік талаптарында, таптырмас маңызды рөл атқарады, саланы жоғары дәлдікке, жоғары сапалы бағытқа жылжытады.
Жіберу уақыты: 07 сәуір 2025 ж