Гранит платформасы қарапайым тас тақтайшасы сияқты көрінуі мүмкін, бірақ қарапайым өнеркәсіптік қолданбалардан жоғары деңгейлі оптикалық тексеру мен метрологияға ауысқан кезде таңдау критерийлері күрт өзгереді. ZHHIMG® үшін жартылай өткізгіш және лазерлік технологиялар саласындағы әлемдік көшбасшыларға дәлдік компоненттерін жеткізу оптикалық өлшеу платформасы тек база емес, ол оптикалық жүйенің ажырамас, келіссөздер жүргізілмейтін бөлігі екенін мойындауды білдіреді.
Оптикалық тексеруге қойылатын талаптар – оған жоғары үлкейтумен бейнелеу, лазерлік сканерлеу және интерферометрия кіреді – өлшеу шуының барлық көздерін жою қажеттілігімен анықталады. Бұл шынайы оптикалық платформаны стандартты өнеркәсіптік платформадан ажырататын үш ерекше қасиетке назар аударуға әкеледі.
1. Теңдесі жоқ діріл демпфері үшін жоғары тығыздық
Стандартты өнеркәсіптік CNC негіздері үшін шойын немесе типтік гранит жеткілікті қаттылықты қамтамасыз етуі мүмкін. Дегенмен, оптикалық қондырғылар зауыттық жабдықтардан, ауа өңдеу жүйелерінен немесе тіпті алыстағы көлік қозғалысынан туындайтын сыртқы дірілдерден туындайтын ұсақ ығысуларға өте сезімтал.
Міне, осы жерде материалтану маңызды рөл атқарады. Оптикалық платформа ерекше материалдық демпферлік қасиеті бар гранитті қажет етеді. ZHHIMG® өзінің меншікті ZHHIMG® қара гранитін (≈ 3100 кг/м³) пайдаланады. Бұл аса жоғары тығыздықтағы материал, төменгі сұрыпты гранит немесе мәрмәр алмастырғыштарынан айырмашылығы, механикалық энергияны таратуда жоғары тиімді кристалды құрылымға ие. Мақсат тек дірілді азайту емес, сонымен қатар негіздің толығымен тыныш механикалық еден болып қалуын қамтамасыз ету, объектив линзасы мен тексерілетін үлгі арасындағы салыстырмалы қозғалысты субмикрон деңгейінде азайту.
2. Дрейфпен күресу үшін өте жоғары термиялық тұрақтылық
Стандартты өнеркәсіптік платформалар өлшемдердің шамалы өзгерістеріне төзеді; Цельсийдің оннан бір градусы бұрғылау үшін маңызды болмауы мүмкін. Бірақ ұзақ уақыт бойы дәл өлшеу жүргізетін оптикалық жүйелерде негіз геометриясындағы кез келген жылу дрейфі жүйелі қателіктерге әкеледі.
Оптикалық тексеру үшін платформа өте төмен жылу кеңею коэффициентімен (CTE) термиялық раковина ретінде қызмет етуі керек. ZHHIMG® қара гранитінің жоғары массасы мен тығыздығы климаттық бақыланатын бөлмеде болуы мүмкін минуттық кеңеюлер мен жиырылуларға төтеп беру үшін қажетті жылу инерциясын қамтамасыз етеді. Бұл тұрақтылық калибрленген фокустық қашықтық пен оптикалық компоненттердің жазықтық туралануының тұрақты болуын қамтамасыз етеді, бұл сағаттар бойы өлшеулердің тұтастығын қамтамасыз етеді - бұл жоғары ажыратымдылықтағы пластиналарды тексеру немесе жалпақ панельді дисплей метрологиясы үшін талқыланбайтын фактор.
3. Нано деңгейдегі жазықтық пен геометриялық дәлдікке қол жеткізу
Ең көрінетін айырмашылық - жазықтыққа қойылатын талап. Кәдімгі өнеркәсіптік база 1 немесе 0 дәрежелі жазықтыққа (бірнеше микронмен өлшенеді) сәйкес келуі мүмкін болса, оптикалық жүйелер нанометрлік диапазондағы дәлдікті талап етеді. Геометриялық жетілдірудің бұл деңгейі жарық интерференциясы принциптері бойынша жұмыс істейтін сызықтық каскадтар мен автофокус жүйелері үшін сенімді тірек жазықтығын қамтамасыз ету үшін қажет.
Нанометрлік деңгейдегі тегістікке қол жеткізу және сертификаттау мүлдем басқа өндірістік тәсілді қажет етеді. Бұл Тайвань Нантер ұнтақтағыштары сияқты озық жабдықтарды пайдаланатын жоғары мамандандырылған әдістерді қамтиды және Renishaw лазерлік интерферометрлері сияқты күрделі метрологиялық жабдықтармен расталады. Бұл процесс ZHHIMG® компаниясының дірілді басатын, климаттық бақыланатын шеберханалары сияқты өте тұрақты ортада жүруі керек, мұнда тіпті ауаның нәзік қозғалыстары да азайтылады.
Негізінде, оптикалық тексеру үшін гранитті дәлдік платформасын таңдау - оптикалық өлшеудің дәлдігін белсенді түрде кепілдендіретін компонентке инвестиция салу туралы шешім. Бұл ISO 9001 сертификатын және кешенді өлшемді бақылауды қосымша мүмкіндіктер ретінде емес, ультра дәлдіктегі оптика әлеміне кірудің негізгі талаптары ретінде қарастыратын өндірушімен серіктестікті талап етеді.
Жарияланған уақыты: 2025 жылғы 21 қазан