Гранит платформасы қарапайым тас тақтайшасы сияқты көрінуі мүмкін, бірақ қарапайым өнеркәсіптік қолданбалардан жоғары үлесті оптикалық тексеру мен метрологияға көшу кезінде таңдау критерийлері күрт өзгереді. ZHHIMG® үшін жартылай өткізгіштер мен лазерлік технологиялар саласындағы әлемдік көшбасшыларды дәл құрамдас бөліктермен қамтамасыз ету оптикалық өлшеуге арналған платформа жай ғана база емес, ол оптикалық жүйенің ажырамас бөлігі болып табылатынын мойындауды білдіреді.
Жоғары үлкейтетін бейнелеуді, лазерлік сканерлеуді және интерферометрияны қамтитын оптикалық тексеруге қойылатын талаптар өлшеу шуының барлық көздерін жою қажеттілігімен анықталады. Бұл шынайы оптикалық платформаны стандартты өнеркәсіптік платформадан ерекшелендіретін үш ерекше қасиеттерге назар аударуға әкеледі.
1. Теңдессіз дірілді сөндіруге арналған жоғары тығыздық
Стандартты өнеркәсіптік CNC негіздері үшін шойын немесе әдеттегі гранит жеткілікті қаттылықты ұсына алады. Дегенмен, оптикалық қондырғылар зауыттық жабдықтан, ауаны өңдеу жүйелерінен немесе тіпті алыстағы трафиктен болатын сыртқы тербелістерден туындаған минуттық орын ауыстыруларға ерекше сезімтал.
Бұл жерде материалтану бірінші орынға шығады. Оптикалық платформа ерекше тән материал демпфирлі гранитті қажет етеді. ZHHIMG® меншікті ZHHIMG® қара гранитті (≈ 3100 кг/м³) пайдаланады. Бұл өте жоғары тығыздықтағы материал, төменгі сортты гранит немесе мәрмәр алмастырғыштардан айырмашылығы, механикалық энергияны таратуда жоғары тиімді кристалдық құрылымға ие. Мақсат дірілді азайту ғана емес, сонымен қатар субмикрон деңгейінде объективті линза мен тексерілген үлгі арасындағы салыстырмалы қозғалысты азайта отырып, негіздің мүлдем тыныш механикалық еден болып қалуын қамтамасыз ету.
2. Дрейфпен күресу үшін төтенше термиялық тұрақтылық
Стандартты өнеркәсіптік платформалар шамалы өлшемдік өзгерістерге жол береді; Бұрғылау үшін Цельсийдің оннан бір бөлігі маңызды болмауы мүмкін. Бірақ ұзақ уақыт бойы дәл өлшеулерді орындайтын оптикалық жүйелерде базаның геометриясындағы кез келген термиялық дрейф жүйелі қателіктерді енгізеді.
Оптикалық тексеру үшін платформа термиялық кеңею коэффициенті (CTE) өте төмен термиялық раковина ретінде әрекет етуі керек. ZHHIMG® қара гранитінің жоғары массасы мен тығыздығы климаты басқарылатын бөлмеде орын алуы мүмкін кішігірім кеңеюлер мен қысқаруларға қарсы тұру үшін қажетті жылу инерциясын қамтамасыз етеді. Бұл тұрақтылық калибрленген фокус қашықтығы мен оптикалық құрамдас бөліктердің жазық туралануының тұрақты болып қалуын қамтамасыз етеді, бұл сағаттардағы өлшемдердің тұтастығына кепілдік береді — жоғары ажыратымдылықтағы вафельді тексеру немесе тегіс панельді дисплей метрологиясы үшін келіспейтін фактор.
3. Нанодеңгейдегі тегістік пен геометриялық дәлдікке қол жеткізу
Ең көрінетін айырмашылық - тегістікке қойылатын талап. Қарапайым өнеркәсіптік база 1-дәрежелі немесе 0-дәрежелі тегістікке (бірнеше микронмен өлшенеді) сәйкес келуі мүмкін болса да, оптикалық жүйелер нанометрлік диапазондағы дәлдікті талап етеді. Геометриялық жетілудің бұл деңгейі жарық интерференциясы принциптерінде жұмыс істейтін сызықтық кезеңдер мен автофокус жүйелері үшін сенімді анықтамалық жазықтықты қамтамасыз ету үшін қажет.
Нанометр деңгейіндегі тегістікке қол жеткізу және сертификаттау мүлде басқа өндіріс тәсілін қажет етеді. Ол Taiwan Nanter ұнтақтағыштары сияқты озық техниканы пайдаланатын жоғары мамандандырылған әдістерді қамтиды және Renishaw Laser Interferometers сияқты күрделі метрологиялық жабдықпен расталады. Бұл процесс тым тұрақты ортада, мысалы, ZHHIMG® дірілсіздендірілген, климаты басқарылатын шеберханаларында өтуі керек, мұнда ауаның нәзік қозғалысы да барынша азайтылады.
Негізінде, оптикалық тексеру үшін гранитті дәлдік платформасын таңдау оптикалық өлшемнің дәлдігіне белсенді кепілдік беретін құрамдас бөлікке инвестициялау туралы шешім болып табылады. Ол ISO 9001 сертификатын және толық өлшемді бақылауды қосымша мүмкіндіктер ретінде емес, өте дәлдіктегі оптика әлеміне кірудің негізгі талаптары ретінде қарастыратын өндірушімен серіктес болуды талап етеді.
Хабарлама уақыты: 21 қазан 2025 ж