Жартылай өткізгіш өндірісінің нақты тізбегінде пластиналарды беру жүйесі «чиптерді өндіру желісінің тіршілік сызығы» сияқты, ал оның тұрақтылығы мен дәлдігі чиптердің өнімділік жылдамдығын тікелей анықтайды. Жаңа буын пластиналарды беру жүйелері сызықтық қозғалтқыштарды гранит негіздерімен революциялық түрде біріктіреді, ал гранит материалдарының бірегей артықшылықтары жоғары өнімді беріліс қорабын ашудың негізгі коды болып табылады.
Гранит негізі: Тұрақты беріліс үшін «берік негіз» құру
Жүздеген миллион жылдық геологиялық жетілдіруден өткен гранит тығыз және біркелкі ішкі минералды кристалданумен ерекшеленеді. Бұл табиғи қасиеті оны пластина тасымалдау жүйелері үшін тамаша негізгі материал етеді. Жартылай өткізгішті таза бөлмелердің күрделі ортасында гранит өзінің өте төмен жылу кеңею коэффициентімен (тек 5-7 × 10⁻⁶/℃) жабдықтың жұмысы кезінде пайда болатын жылуға және қоршаған орта температурасының өзгеруінің әсеріне төтеп бере алады, бұл негіз өлшемінің тұрақтылығын қамтамасыз етеді және жылу деформациясынан туындаған беріліс жолының ауытқуын болдырмайды. Оның керемет дірілді басатын өнімділігі сызықтық қозғалтқыштарды іске қосу, өшіру және үдеу кезінде пайда болатын механикалық дірілді, сондай-ақ шеберханадағы басқа жабдықтардың жұмысы тудыратын сыртқы кедергілерді тез сіңіре алады, пластина тасымалдау үшін «нөлдік діріл» бар тұрақты платформаны қамтамасыз етеді.
Сонымен қатар, граниттің химиялық тұрақтылығы қышқыл және сілті реагенттері ұшқыш және жоғары тазалық қажет болатын жартылай өткізгіш шеберханаларында оның коррозияға немесе тот басуға ұшырамауын қамтамасыз етеді, осылайша материалдың қартаюына немесе ластаушы заттардың адсорбциясына байланысты беріліс дәлдігіне әсер етпейді. Тегіс және тығыз беттік сипаттамалары шаңның адгезиясын тиімдірек азайта алады, таза бөлмелердің қатаң шаңсыз стандарттарына сәйкес келеді және тамырдан пластинаның ластану қаупін жояды.
Сызықтық қозғалтқыштар мен граниттің «алтын серіктестік» әсері
Сызықтық қозғалтқыштар механикалық беріліс саңылауының болмауы, жоғары үдеу және жоғары жауап беру жылдамдығы сияқты сипаттамаларымен пластиналы беріліске «жылдам, дәл және тұрақты» артықшылықтарын береді. Гранит негізі оған берік және сенімді тірек платформасын қамтамасыз етеді. Екеуі де өнімділікте секіріске қол жеткізу үшін бірге жұмыс істейді. Сызықтық қозғалтқыш пластина тасымалдаушысын гранит негізі жолында жұмыс істеуге бағыттаған кезде, негіздің берік қаттылығы мен тұрақтылығы қозғалтқыштың қозғаушы күшінің тиімді берілуін қамтамасыз етеді, негіздің деформациясынан туындаған күш жоғалуын немесе берілістің кешігуін болдырмайды.
Наноөлшемді дәлдікке деген сұранысқа байланысты сызықтық қозғалтқыштар микроннан төмен деңгейдегі ығысуды басқаруға қол жеткізе алады. Гранит негіздердің жоғары дәлдікті өңдеу сипаттамалары (±1 мкм шегінде бақыланатын жазықтық қателерімен) сызықтық қозғалтқыштардың дәл басқаруына өте жақсы сәйкес келеді, бұл пластиналарды беру кезіндегі позициялау қателігінің ±5 мкм-ден аз болуын қамтамасыз етеді. Әртүрлі технологиялық жабдықтар арасында жоғары жылдамдықты шаттл болсын немесе пластиналарды беру үшін дәл тұрақ болсын, сызықтық қозғалтқыштар мен гранит негіздердің үйлесімі пластиналарды беруде «нөлдік ауытқу мен нөлдік діріл» болуын қамтамасыз ете алады.
Салалық тәжірибені тексеру: тиімділік пен өнімділік көрсеткішінің қос жақсаруы
Пластинаны беру жүйесін жаңартқаннан кейін, жетекші әлемдік жартылай өткізгіш кәсіпорын сызықтық қозғалтқыш + гранит негізіндегі шешімді қабылдады, бұл пластинаны беру тиімділігін 40%-ға арттырды, беру процесінде соқтығысу және ығысу сияқты ақаулардың пайда болу жиілігін 85%-ға төмендетті және чиптердің жалпы өнімділік жылдамдығын 6%-ға жақсартты. Деректердің артында гранит негізіндегі беріліс тұрақтылығының кепілдігі және сызықтық қозғалтқыштың жоғары жылдамдықты және дәл синергиялық әсері жатыр, бұл пластинаны беру процесіндегі шығындар мен қателіктерді айтарлықтай азайтады.
Материалдық қасиеттерден бастап дәлдік өндірісіне, өнімділік артықшылықтарынан бастап практикалық тексеруге дейін, сызықтық қозғалтқыштар мен гранит негіздердің үйлесімі пластиналарды беру жүйелерінің стандарттарын қайта анықтады. Болашақта жартылай өткізгіш технология 3 нм және 2 нм процестерге қарай дамыған кезде, гранит материалдары өздерінің алмастырылмайтын артықшылықтарымен саланың дамуына күшті серпін бере беретіні сөзсіз.
Жарияланған уақыты: 2025 жылғы 14 мамыр