Жартылай өткізгішті өндірудің нақты тізбегінде вафельді тасымалдау жүйесі «чиптерді өндіру желісінің өмірлік сызығы» сияқты және оның тұрақтылығы мен дәлдігі чиптердің кірістілік жылдамдығын тікелей анықтайды. Вафельді тасымалдау жүйелерінің жаңа буыны желілік қозғалтқыштарды гранитті негіздермен революциялық түрде біріктіреді және гранит материалдарының бірегей артықшылықтары жоғары өнімді трансмиссияның құлпын ашудың негізгі коды болып табылады.
.
Гранит негізі: тұрақты беріліс үшін «тас тәрізді іргетас» салу
Жүздеген миллион жылдар бойы геологиялық тазартудан өткен гранит тығыз және біркелкі ішкі минералды кристалданумен ерекшеленеді. Бұл табиғи қасиет оны пластинаны тасымалдау жүйелері үшін тамаша негізгі материал етеді. Жартылай өткізгішті таза бөлмелердің күрделі ортасында жылу кеңеюінің ультра төмен коэффициенті бар гранит (бар болғаны 5-7 ×10⁻⁶/℃) жабдықтың жұмысы кезінде пайда болатын жылуға және қоршаған орта температурасының өзгеруінің әсеріне төтеп бере алады, базалық өлшемнің тұрақтылығын қамтамасыз етеді және термиялық деформациядан туындаған тасымалдау жолының ауытқуын болдырмайды. Оның керемет діріл сөндіргіш өнімділігі желілік қозғалтқыштарды қосу, өшіру және жеделдету кезінде пайда болатын механикалық тербелістерді, сондай-ақ цехтағы басқа жабдықтың жұмысы нәтижесінде пайда болатын сыртқы кедергілерді тез сіңіре алады, пластинаны беру үшін «нөлдік шайқау» тұрақты платформаны қамтамасыз етеді. .
Сонымен қатар, граниттің химиялық тұрақтылығы қышқыл және сілтілі реагенттер ұшпа болатын және жоғары тазалық қажет болатын жартылай өткізгіш цехтарда оның тот баспауын немесе тот баспауын қамтамасыз етеді, осылайша материалдың қартаюына немесе ластаушы заттардың адсорбциясына байланысты тасымалдау дәлдігіне әсер етуді болдырмайды. Тегіс және тығыз бетінің сипаттамалары шаңның адгезиясын тиімдірек азайтады, таза бөлмелердің шаңсыз қатаң стандарттарына сәйкес келеді және пластинаның тамырдан ластану қаупін жояды. .
Сызықтық қозғалтқыштар мен граниттің «алтын серіктестігі» әсері
Механикалық беріліс қорабының саңылауы жоқ, жоғары жеделдету және жоғары жауап беру жылдамдығы сипаттамалары бар сызықты қозғалтқыштар «жылдам, дәл және тұрақты» артықшылықтармен вафли берілістерін береді. Гранит негізі оған берік және сенімді тірек платформасын қамтамасыз етеді. Екеуі өнімділікте секіріске жету үшін бірге жұмыс істейді. Сызықтық қозғалтқыш пластинаны гранитті негіз жолында жұмыс істеу үшін басқарғанда, негіздің қатты қаттылығы мен тұрақтылығы қозғалтқыштың қозғаушы күшінің тиімді берілуін қамтамасыз етеді, базаның деформациясынан туындаған күштің жоғалуын немесе беріліс кідірісін болдырмайды. .
Наноөлшемді дәлдікке деген сұранысқа негізделген сызықты қозғалтқыштар микрон асты деңгейде орын ауыстыруды басқаруға қол жеткізе алады. Гранит негіздерінің жоғары дәлдіктегі өңдеу сипаттамалары (±1 мкм шегінде бақыланатын тегістік қателері бар) пластинаны беру кезінде орналасу қателігінің ± 5 мкм-ден аз болуын бірге қамтамасыз ете отырып, сызықтық қозғалтқыштардың дәл бақылауына тамаша сәйкес келеді. Бұл әртүрлі технологиялық жабдықтар арасында жоғары жылдамдықты тасымалдау немесе пластинаны тапсыру үшін дәл тұрақ болсын, желілік қозғалтқыштар мен гранит негіздерінің үйлесімі пластинаның берілісіндегі «нөлдік ауытқуды және нөлдік дірілді» қамтамасыз ете алады. .
Өнеркәсіптік тәжірибені тексеру: тиімділік пен кірістілік деңгейін екі есе арттыру
Жартылай өткізгіштердің жетекші әлемдік кәсіпорны пластинаны тасымалдау жүйесін жаңартқаннан кейін желілік қозғалтқыш + гранит негізі шешімін қабылдады, ол пластинаны беру тиімділігін 40%-ға арттырды, тасымалдау процесі кезінде соқтығысу және ығысу сияқты ақаулардың пайда болу жылдамдығын 85%-ға төмендетті және чиптердің жалпы өнімділігін 6%-ға жақсартты. Деректердің артында гранит негізімен қамтамасыз етілген беріліс тұрақтылығының кепілі және желілік қозғалтқыштың жоғары жылдамдықты және дәл синергетикалық әсері жатыр, бұл пластинаны беру процесінде жоғалту мен қатені айтарлықтай азайтады. .
Материалдық қасиеттерден бастап дәлдікпен өндіруге дейін, өнімділік артықшылықтарынан практикалық тексеруге дейін, сызықты қозғалтқыштар мен гранит негіздерінің үйлесімі пластинаны тасымалдау жүйелерінің стандарттарын қайта анықтады. Болашақта жартылай өткізгіштер технологиясы 3 нм және 2 нм процестерге қарай ілгерілегенде, гранит материалдары алмастырылмайтын артықшылықтарымен саланың дамуына күшті серпін беруді жалғастырады.
Хабарлама уақыты: 14 мамыр 2025 ж