Гранит төсеніші әртүрлі жартылай өткізгіш құрылғылардың маңызды құрамдас бөлігі болып табылады.Өте тұрақты және қатты материал ретінде гранит жартылай өткізгіштерді өңдеу жабдықтары үшін негіз ретінде кеңінен қолданылады.Ол өзінің төмен термиялық кеңею коэффициентімен, жоғары өлшемдік тұрақтылығымен және тамаша механикалық қасиеттерімен сипатталады.Осы қасиеттерге байланысты гранит төсеніші жартылай өткізгіш құрылғылардың үш түрлі түрлерінде жиі қолданылады - метрологиялық жабдықта, литографиялық жабдықта және тексеру жабдықтарында.
Метрологиялық жабдық жартылай өткізгіш құрылғылардың критикалық өлшемдерін өлшеу және анықтау үшін қолданылады.Ол жартылай өткізгіштерді өндіру процесінің сапасы мен жүйелілігін сақтауда шешуші рөл атқарады.Метрологиялық жабдыққа оптикалық микроскоптар, электронды микроскоптар және атомдық күштік микроскоптар (AFM) сияқты құралдар кіреді.Бұл өлшеу құралдарының өнімділігі олардың тұрақтылығына, дәлдігіне және дірілге төзімділігіне байланысты болғандықтан, гранит олардың төсек материалы үшін тамаша таңдау болып табылады.Гранит төсенішінің біркелкілігі мен тұрақтылығы аспаптар үшін тұрақты платформаны қамтамасыз етеді, бұл олардың дәлдігі мен сенімділігін арттырады.
Литографиялық жабдық пластинаға микрочип үлгілерін жасау үшін қолданылады.Литография процесі күрделі схемаларды жасау және чип өнімділігін жақсарту үшін жоғары дәлдік пен дәлдікті талап етеді.Литография жабдығы кескіндерді пластинаға тасымалдау үшін жарықты пайдаланатын қадамдық және сканерлік жүйелерді қамтиды.Литография процесі діріл мен термиялық өзгерістерге өте сезімтал болғандықтан, литография процесінің тұрақтылығы мен қайталануын қамтамасыз ету үшін жоғары сапалы төсек қажет.Гранит төсектері литографиялық жүйелер үшін қажетті тұрақтылықты және қатаң дірілді басатын өнімділікті қамтамасыз етеді.Гранитті төсек қадамдық немесе сканер жүйесіне жоғары дәлдік пен түпкілікті өнім сапасын қамтамасыз ететін нақты кеңістіктік қатынастарды сақтауға мүмкіндік береді.
Жартылай өткізгіш құрылғылардағы ақауларды анықтау үшін тексеру жабдығы қолданылады.Тексеру жабдығына лазерлік сканерлеуші микроскоптар, электронды микроскоптар және оптикалық микроскоптар сияқты жүйелер кіреді.Бұл құрылғылардың дәлдігі жоғары, тұрақты және дірілге төзімді болуы қажет болғандықтан, гранит төсектері тамаша материал болып табылады.Граниттің механикалық қасиеттері мен өлшемдік тұрақтылығы дірілді оқшаулауға көмектеседі, бұл тексеру жабдығы шығысының дәлдігін арттырады.
Қорытындылай келе, гранитті төсек жартылай өткізгіш өнеркәсібі үшін өте маңызды және әртүрлі жабдықтарда кеңінен қолданылады.Оның өлшемдік тұрақтылық, төмен жылу кеңею коэффициенті және тамаша механикалық тұрақтылық сияқты бірегей қасиеттері гранитті жартылай өткізгіш жабдықтың төсек материалы үшін тамаша таңдау жасайды.Жоғары сапалы гранит төсеніші жартылай өткізгіш жабдыққа қажетті тұрақтылықты, дәлдікті және дірілге төзімділікті қамтамасыз ететіндіктен, ол түпкілікті өнімнің сапасын жақсартады.Сондықтан жартылай өткізгішті жабдықта гранит төсеніштерін пайдалану алдағы жылдарға жалғасады.
Жіберу уақыты: 03 сәуір 2024 ж