Гранит қабаты әртүрлі жартылай өткізгіш құрылғылардың маңызды құрамдас бөлігі болып табылады. Өте тұрақты және қатты материал ретінде гранит жартылай өткізгіштерді өңдеу жабдықтарының негізі ретінде кеңінен қолданылады. Ол төмен жылу кеңею коэффициентімен, жоғары өлшемді тұрақтылығымен және тамаша механикалық қасиеттерімен сипатталады. Осы қасиеттеріне байланысты гранит қабаты көбінесе үш түрлі жартылай өткізгіш құрылғыларда - метрологиялық жабдықтарда, литография жабдықтарында және тексеру жабдықтарында қолданылады.
Метрологиялық жабдық жартылай өткізгіш құрылғылардың маңызды өлшемдерін өлшеу және анықтау үшін қолданылады. Ол жартылай өткізгіш өндіріс процесінің сапасы мен тұрақтылығын сақтауда маңызды рөл атқарады. Метрологиялық жабдыққа оптикалық микроскоптар, электронды микроскоптар және атомдық күш микроскоптары (АКМ) сияқты құралдар кіреді. Бұл өлшеу құралдарының жұмысы олардың тұрақтылығына, дәлдігіне және дірілге төзімділігіне байланысты болғандықтан, гранит олардың төсек материалы үшін тамаша таңдау болып табылады. Гранит төсегінің біркелкілігі мен тұрақтылығы құралдар үшін тұрақты платформаны қамтамасыз етеді, бұл олардың дәлдігі мен сенімділігін арттырады.
Литография жабдығы пластинадағы микрочип үлгілерін жасау үшін қолданылады. Литография процесі күрделі тізбектерді жасау және чиптің жұмысын жақсарту үшін жоғары деңгейдегі дәлдік пен дәлдікті қажет етеді. Литография жабдығына кескіндерді пластинаға беру үшін жарықты пайдаланатын қадамдық және сканерлік жүйелер кіреді. Литография процесі діріл мен термиялық өзгерістерге өте сезімтал болғандықтан, литография процесінің тұрақтылығы мен қайталануын қамтамасыз ету үшін жоғары сапалы төсек қажет. Гранит төсектері литография жүйелері үшін қажетті тұрақтылықты және қатаң діріл демпферлеу өнімділігін қамтамасыз етеді. Гранит төсек қадамдық немесе сканерлік жүйеге жоғары дәлдік пен соңғы өнім сапасын қамтамасыз ететін дәл кеңістіктік қатынастарды сақтауға мүмкіндік береді.
Тексеру жабдықтары жартылай өткізгіш құрылғылардағы кез келген ақауларды анықтау үшін қолданылады. Тексеру жабдықтарына лазерлік сканерлеу микроскоптары, электронды микроскоптар және оптикалық микроскоптар сияқты жүйелер кіреді. Бұл құрылғылардың жоғары дәлдіктегі, тұрақты және дірілге төзімді болуы қажеттілігін ескере отырып, гранит төсектері тамаша материал болып табылады. Граниттің механикалық қасиеттері мен өлшемдік тұрақтылығы діріл оқшаулауына көмектеседі, бұл тексеру жабдықтарының шығысының дәлдігін арттырады.
Қорытындылай келе, гранит қабаты жартылай өткізгіштер өнеркәсібі үшін өте маңызды және әртүрлі жабдықтарда кеңінен қолданылады. Өлшемдік тұрақтылық, төмен жылу кеңею коэффициенті және тамаша механикалық тұрақтылық сияқты бірегей қасиеттері гранитті жартылай өткізгіш жабдықтардың қабат материалы үшін тамаша таңдау етеді. Жоғары сапалы гранит қабаты жартылай өткізгіш жабдықтарға қажетті тұрақтылықты, дәлдікті және дірілге төзімділікті қамтамасыз ететіндіктен, сайып келгенде, соңғы өнімнің сапасын жақсартады. Сондықтан, жартылай өткізгіш жабдықтарда гранит қабатын пайдалану алдағы жылдары да жалғаса беретіні сөзсіз.
Жарияланған уақыты: 03.04.2024