Гранит керуеті - әр түрлі жартылай өткізгіш құрылғылардағы маңызды компонент. Тұрақты және қатаң материал ретінде гранит жартылай өткізгіш технологиялық жабдықтар үшін негіз ретінде кеңінен пайдаланылады. Ол оның жылу кеңею коэффициентімен, жоғары өлшемді тұрақтылықпен және механикалық қасиеттерімен сипатталады. Осы қасиеттердің арқасында гранит төсегі көбінесе жартылай өткізгіш құрылғылардың үш түрлі түрлерінде қолданылады - метрология жабдықтары, литография жабдықтары және инспекциялық жабдық.
Метрологиялық жабдық жартылай өткізгіш құрылғылардың критикалық өлшемдерін өлшеу және анықтау үшін қолданылады. Бұл жартылай өткізгішті өндіріс процесінің сапасы мен дәйектілігін сақтауда шешуші рөл атқарады. Метрологиялық жабдыққа оптикалық микроскоптар, электронды микроскоптар және атомдық күш микроскоптары (AFMS) сияқты құралдар кіреді. Осы өлшеу құралдарының өнімділігі олардың тұрақтылығына, дәлдікке және дірілге төзімділігіне байланысты болғандықтан, гранит олардың төсек материалдары үшін ең жақсы таңдау болып табылады. Гранитті төсектің біркелкілігі мен тұрақтылығы олардың дұрыстығы мен сенімділігін арттыратын құралдар үшін тұрақты платформа ұсынады.
Литография жабдықтары вафлиге микрочип үлгілерін жасау үшін қолданылады. Литография процесі күрделі тізбектер құру және чипті жақсарту үшін жоғары дәлдік пен дәлдікті қажет етеді. Литография жабдығы суреттерді вафлиге жіберу үшін жарықты пайдаланатын қадамдық және сканер жүйелері кіреді. Литография процесі діріл және жылу өзгерістеріне өте сезімтал болғандықтан, литография процесінің тұрақтылығы мен қайталануын қамтамасыз ету үшін жоғары сапалы төсек қажет. Гранит төсектері литографиялық жүйелер үшін қажетті тұрақтылық пен қатаң дірілдеуді қамтамасыз етеді. Гранитті кереует Стекерге немесе сканер жүйесіне өнімнің жоғары дәлдігі мен қорытынды сапасын қамтамасыз ететін дәл кеңістіктік қатынастарды сақтауға мүмкіндік береді.
Тексеру жабдықтары жартылай өткізгіш құрылғылардағы ақауларды анықтау үшін қолданылады. Тексеру жабдықтарына лазерлік сканерлеу микроскоптары, электронды микроскоптар және оптикалық микроскоптар сияқты жүйелер кіреді. Бұл құрылғылардың қажеттілігімен жоғары дәл, тұрақты және дірілге төзімді, гранит төсектері керемет материал болып табылады. Граниттің механикалық қасиеттері және өлшемді тұрақтылық тексерудің дұрыстығын арттыратын діріл оқшаулауға көмектеседі, бұл инспекциялық жабдық өнімінің дәлдігін арттырады.
Қорытындылай келе, гранит төсек жартылай өткізгіш өнеркәсібі үшін өте маңызды және әр түрлі жабдықтарда кеңінен қолданылады. Оның өлшемді тұрақтылық, жылу кеңейту коэффициенті және керемет механикалық тұрақтылық сияқты бірегей қасиеттері гранитті жартылай өткізгіш жабдықтардың төсек материалына тамаша таңдау етеді. Жоғары сапалы гранит төсегі жеткілікті тұрақтылықты, дәлдікті және жартылай өткізгіш жабдыққа төзімділікті қамтамасыз етеді, ол түпкілікті өнімнің сапасын жақсартады. Сондықтан, жартылай өткізгіш жабдықтарда гранит төсегін қолдану жылдар бойы жылдар бойы жалғасатынына сенімді.
POST уақыты: сәуір-03-2024