Жартылай өткізгіш және оптоэлектрондық өндіріс жабдықтарында гранит негізінен дәл қозғалыс платформалары, бағыттаушы рельс негіздері, діріл оқшаулау тірек құрылымдары және оптикалық компоненттерді орнату негіздері сияқты негізгі бөлшектерде қолданылады. Бұл бөлшектердің дәлдігіне, тұрақтылығына және қоршаған ортаға төзімділігіне қойылатын талаптары өте жоғары. Граниттің сипаттамалары жартылай өткізгіш және оптоэлектрондық салалардың қатаң талаптарын дәл қанағаттандыра алады. Төменде нақты қолдану сценарийлері мен артықшылықтарын талдау келтірілген:
I. Негізгі қолданбалы бөліктер
Дәл қозғалыс платформалары (фотолитография машиналары мен байланыстырушы машиналарға арналған пластина платформалары сияқты)
Ол пластиналар мен оптикалық линзалар сияқты дәл компоненттерді тасымалдау үшін қолданылады, наноөлшемді дәлдікпен аудару және айналу қозғалыстарына қол жеткізеді.
Типтік жабдық: фотолитография машинасының дайындама үстелі, өлшеу жабдықтарының позициялау платформасы.
Бағыттаушы рельстің негізі және рамалық құрылымы
Сызықтық бағыттаушылар мен ауа флотациясы бағыттаушыларын орнату негізі ретінде, ол жабдықтың негізгі қозғалыс механизмін қолдайды.
Типтік жабдық: жартылай өткізгіш қаптама жабдықтарының механикалық рамалары және оптикалық тексеру құралдары.
Діріл оқшаулағышын тіреу және тұрақтандыру құрылымы
Ол сыртқы тербелістерді (мысалы, зауыт еденінен немесе жабдық жұмысы кезіндегі тербелістер) оқшаулау үшін қолданылады, оптикалық жүйелердің немесе дәлдіктегі жабдықтардың тұрақтылығын қамтамасыз етеді.
Типтік сценарийлер: Оптикалық микроскоптар мен лазерлік интерферометрлерге арналған базалық тірек.
Оптикалық компонентті бекіту негізі
Оптикалық жол жүйесінің туралау дәлдігінің ұзақ мерзімді тұрақтылығын қамтамасыз ету үшін айна, призма және лазер сияқты оптикалық құрылғыларды бекітіңіз.
Типтік жабдықтар: Оптоэлектронды қаптама жабдықтары, оптикалық талшықты байланыстыру жүйелері.
Жарияланған уақыты: 2025 жылғы 29 мамыр