Жартылай өткізгішті және оптоэлектрондық өндіріс жабдықтарында гранит негізінен дәл қозғалыс платформалары, бағыттаушы рельс негіздері, дірілді оқшаулауды қолдау құрылымдары және оптикалық компоненттерді орнату субстраттары сияқты негізгі бөліктерде қолданылады. Бұл бөліктерге дәлдік, тұрақтылық және қоршаған ортаға төзімділік үшін өте жоғары талаптар қойылады. Граниттің сипаттамалары жартылай өткізгіш және оптоэлектрондық өнеркәсіптердің қатаң талаптарын дәл қанағаттандыра алады. Төменде нақты қолдану сценарийлері мен артықшылықтарының талдауы берілген:
I. Қолданбаның негізгі бөліктері
Дәл қозғалыс платформалары (фотолитографиялық машиналарға және жабыстырғыш машиналарға арналған пластиналар сияқты)
Ол наносөлшемді дәлдікпен аудару және айналдыру қозғалыстарына қол жеткізе отырып, пластиналар мен оптикалық линзалар сияқты дәл құрамдастарды тасымалдау үшін қолданылады.
Типтік жабдық: фотолитографиялық машинаның дайындама үстелі, өлшеу жабдығының позициялау платформасы.
Бағыттаушы рельс негізі және рамалық құрылымы
Сызықтық бағыттағыштар мен ауа флотациялық бағыттағыштарды орнату негізі ретінде ол жабдықтың негізгі қозғалыс механизмін қолдайды.
Типтік жабдық: жартылай өткізгішті орау жабдығының механикалық жақтаулары және оптикалық бақылау аспаптары.
Діріл оқшаулауды қолдау және тұрақтандыру құрылымы
Ол оптикалық жүйелердің немесе дәл машиналар тұрақтылығын қамтамасыз ететін сыртқы тербелістерді (зауыттық еденнен немесе жабдықты пайдалану кезіндегі діріл сияқты) оқшаулау үшін қолданылады.
Типтік сценарийлер: оптикалық микроскоптар мен лазерлік интерферометрлер үшін негізгі қолдау.
Оптикалық құрамдас монтаждау субстраты
Оптикалық жол жүйесінің туралау дәлдігінің ұзақ мерзімді тұрақтылығын қамтамасыз ету үшін айналар, призмалар және лазерлер сияқты оптикалық құрылғыларды бекітіңіз.
Типтік жабдық: Оптоэлектронды орау жабдығы, оптикалық талшықты байланыстыру жүйелері.
Хабарлама уақыты: 29 мамыр 2025 ж