Жартылай өткізгіштер өндірісі саласында микроннан төмен дәлдік чиптің жұмысын қамтамасыз етудің кілті болып табылады, ал (ZHHIMG®) гранит негізі өзінің материалдық қасиеттерімен, дәл өңдеуімен және инновациялық дизайнымен осы дәлдікке жетудің негізгі кепіліне айналды.
Материалдық қасиеттер тұрғысынан ZHHIMG® таңдаған қара граниттің тығыздығы шамамен 3100 кг/м³, ішкі құрылымы тығыз. Бұл жоғары тығыздық оған ерекше тұрақтылық пен қаттылық береді. Жартылай өткізгіш жабдықтардың жұмысы кезінде қозғалтқыштардың айналуы және жабдық ішіндегі механикалық компоненттердің қозғалысы діріл тудырады. Гранит негізі діріл энергиясының 90%-дан астамын тиімді сіңіре алады, бұл дірілдің жабдықтың дәлдігіне әсерін айтарлықтай азайтады. Сонымен қатар, оның өте төмен жылу кеңею коэффициенті қоршаған орта температурасы өзгерген кезде деформациясын өте аз диапазонда ұстауға мүмкіндік береді, бұл жартылай өткізгіш жабдықтар үшін тұрақты тірек негізін қамтамасыз етеді және температураның өзгеруіне байланысты жабдық компоненттерінің ығысуына жол бермейді, бұл дәлдікке әсер етуі мүмкін.
Өңдеу және өндіріс тұрғысынан ZHHIMG® зауыты халықаралық озық өңдеу жабдықтарын пайдаланады және гранитте жоғары дәлдіктегі ұнтақтауды орындай алатын төрт аса үлкен тегістеу машинасына ие (әрбір машинаның бағасы 500 000 АҚШ долларынан асады). Бес осьті байланыстырушы CNC өңдеу және басқа процестер арқылы машина негізінің жазықтығы нанометр деңгейіне жетуі мүмкін, бұл жартылай өткізгіш жабдықты орнату үшін аса жазық тірек бетін қамтамасыз етеді және жабдықтың әрбір компонентінің дәл орналасуын қамтамасыз етеді. Сонымен қатар, тұрақты температура мен ылғалдылық шеберханасы (10 000 шаршы метр аумақты алып жатыр) өңдеу үшін тұрақты ортаны қамтамасыз етеді. Оның айналасындағы ені 500 мм және тереңдігі 2000 мм болатын дірілге қарсы траншеялар, сондай-ақ дыбыссыз крандар сыртқы діріл кедергілерін тиімді түрде оқшаулайды және машина негізінің өңдеу дәлдігін қамтамасыз етеді.
Сонымен қатар, ZHHIMG® сонымен қатар күшті теңшеу мүмкіндігіне ие. Жартылай өткізгіш жабдықтардың арнайы талаптары үшін жабдық пен негіз арасында мінсіз үйлесімділікке қол жеткізу үшін дәл орнату тесіктері мен кабель науаларын алдын ала дайындауға болады. Сонымен қатар, неміс Mahr минуттық өлшеуіші (0,5 мкм дәлдікпен) және швейцариялық WYLER электронды деңгейі сияқты әлемдік деңгейдегі метрология және сынақ жабдықтарымен үйлесімде, әрбір машина негізінің субмикрондық деңгейдегі дәлдікке қойылатын жартылай өткізгіш жабдықтардың қатаң талаптарына сәйкес келетініне көз жеткізу үшін машина негізі қатаң тексеріліп, калибрленеді.
Дәл осы артықшылықтардың үйлесімі ZHHIMG® гранит негізін жартылай өткізгіш жабдықтарда субмикрондық дәлдікке қол жеткізу үшін сенімді таңдау етеді, бұл жартылай өткізгіш өндірісінің жоғары дәлдік салаларына көшуіне көмектеседі.
Жарияланған уақыты: 18 маусым 2025 ж.