Жартылай өткізгішті өндіру және оптикалық құралдарды құрастыру сияқты алдыңғы қатарлы салаларда көп осьті дәлдіктегі жұмыс үстелдері арқылы микроннан төмен немесе тіпті нанометрлік деңгейде орналасу дәлдігіне ұмтылу шексіз. Тығыздығы жоғары гранит (тығыздығы ≥3100кг/м³) өзінің бірегей физикалық қасиеттеріне байланысты жұмыс үстелдерінің жұмысын оңтайландыру үшін негізгі материалға айналуда. Төменде төрт негізгі өлшемнен оның алмастырылмайтын артықшылықтарының талдауы берілген.
1. Керемет тұрақтылық: діріл кедергісін басу үшін «табиғи тосқауыл».
Көп осьті жұмыс үстелі жоғары жылдамдықпен қозғалыста (сызықтық жылдамдығы 500 мм/с асатын) немесе көп осьті байланыста болғанда, күрделі дірілдер пайда болады. Тығыздығы жоғары граниттің ішкі минералды бөлшектері бір-бірімен тығыз байланысқан, табиғи жиілігі 10-20 Гц-ке дейін төмен және сыртқы тербеліс энергиясының 90%-дан астамын сіңіре алады. Жартылай өткізгішті чипті орау процесінде ол жұмыс үстелінің орнын ауыстыру қателігін ±0,5 мкм шегінде басқара алады, сымның жылжуы немесе дірілден туындаған чиптің зақымдалуын болдырмайды. Дәстүрлі шойын материалдарымен салыстырғанда граниттің діріл әлсіреу жылдамдығы үш есе жылдам, өңдеудің консистенциясы айтарлықтай жақсарады.
2. Термиялық тұрақтылық: Температураның ауытқуына қарсы «Тұрақтандыру анкері».
Дәл өңдеу ортасында температураның 0,1℃ өзгеруі материалдың 0,1мкм/м деформациясын тудыруы мүмкін. Жоғары тығыздықтағы граниттің термиялық кеңею коэффициенті тек (4-8) ×10⁻⁶/℃ құрайды, бұл алюминий қорытпасының шамамен 1/6 бөлігін құрайды. Оптикалық линзаны тегістеу сияқты жоғары дәлдіктегі сценарийлерде, тіпті цех температурасы ±2℃ өзгерсе де, гранит негізі жұмыс үстелінің негізгі құрамдас бөліктерінің микрон деңгейіндегі орналасу дәлдігін сақтай алады, бұл линзаның қисаю қателігінің 0,01D-ден аз болуын қамтамасыз етеді, бұл салалық стандарттан әлдеқайда жоғары.
3. Өте жоғары қаттылық: ауыр жүктерді көтеруге арналған "Қатты негіз тасы"
Көп осьті жұмыс үстелдері жиі лазер бастары және зонд массивтері (бір осьті жүктеме 200 кг-нан асатын) сияқты ауыр компоненттермен жабдықталған. Тығыздығы жоғары граниттің қысу күші ≥200МПа құрайды және ол тұрақты деформациясыз 1000кг/м²-ден астам біркелкі жүктемеге төтеп бере алады. Белгілі бір аэроғарыш кәсіпорны осы материалды қабылдағаннан кейін, оның бес осьті жұмыс үстелі 500 кг өңдеу жүктемесін көтерген кезде, Z осінің тіктік қателігі тек 0,3 мкм-ге артып, күрделі қисық беттерді өңдеу дәлдігін тиімді қамтамасыз етті.
4. Ұзақ төзімділік: жалпы өмірлік цикл құнын азайтыңыз
Граниттің Mohs қаттылығы 6-дан 7-ге дейін жетеді, ал оның тозуға төзімділігі қарапайым болаттан бес еседен асады. Тәулігіне орта есеппен 16 сағат жұмыс істейтін 3C өнім өндіру желісінде гранит негізі 8 жылдан 10 жылға дейін техникалық қызмет көрсетусіз жұмыс істей алады, ал шойын негізі 3 жылдан кейін бағыттаушы рельстің жанасу бетінде (тереңдігі > 5 мкм) тозуын көрсетеді. Оған қоса, оның химиялық инерттілігі қышқыл және сілтілі орталарда Ra≤0,2μm бетінің кедір-бұдырлығын сақтауға мүмкіндік береді, бұл торлы сызғыштар мен сызықты қозғалтқыштар сияқты дәлдіктегі компоненттер үшін тұрақты орнату анықтамасын үздіксіз қамтамасыз етеді.
Қорытынды: Тығыздығы жоғары гранит - дәл өндірістің «жасырын чемпионы»
Наноөлшемді позициялаудан ауыр өңдеуге дейін жоғары тығыздықтағы гранит өзінің теңдесі жоқ жан-жақты өнімділігімен көп осьті дәлдіктегі жұмыс үстелдерінің техникалық стандарттарын өзгертеді. Ең жоғары дәлдік пен сенімділікке ұмтылатын кәсіпорындар үшін жоғары сапалы гранит негіздерін таңдау (мысалы, ISO үш жүйесі бойынша сертификатталған ZHHIMG® өнімдері) ағымдағы өндірістің кепілі ғана емес, сонымен қатар болашақта технологиялық жаңартуларға стратегиялық инвестиция болып табылады.
Жіберу уақыты: 09 маусым 2025 ж