Жартылай өткізгіштер өндірісі және оптикалық аспаптарды құрастыру сияқты озық салаларда көп осьті дәлдіктегі жұмыс үстелдері арқылы субмикронды немесе тіпті нанометр деңгейіндегі позициялау дәлдігіне қол жеткізу шексіз. Жоғары тығыздықтағы гранит (тығыздығы ≥3100 кг/м³) өзінің ерекше физикалық қасиеттеріне байланысты жұмыс үстелдерінің жұмысын оңтайландыру үшін негізгі материалға айналуда. Төменде оның төрт негізгі өлшемнен алынған алмастырылмайтын артықшылықтарының талдауы берілген.
1. Керемет тұрақтылық: Діріл кедергісін басатын «табиғи тосқауыл»
Көп осьті жұмыс үстелі жоғары жылдамдықта қозғалыста болғанда (сызықтық жылдамдық 500 мм/с-тан асатын) немесе көп осьті байланыста болғанда, күрделі дірілдер пайда болуы мүмкін. Жоғары тығыздықтағы граниттің ішкі минералды бөлшектері тығыз байланысқан, табиғи жиілігі 10-20 Гц-ке дейін төмен және сыртқы діріл энергиясының 90%-дан астамын сіңіре алады. Жартылай өткізгіш чиптерді орау процесінде ол жұмыс үстелінің ығысу қателігін ±0,5 мкм шегінде басқара алады, бұл сымның ығысуын немесе дірілден туындаған чиптің зақымдануын болдырмайды. Дәстүрлі шойын материалдарымен салыстырғанда, граниттің дірілдің басылу жылдамдығы үш есе жылдам, бұл өңдеудің консистенциясын айтарлықтай жақсартады.
2. Термиялық тұрақтылық: Температураның ауытқуларына қарсы «тұрақтандырушы зәкір»
Дәл өңдеу ортасында температураның 0,1℃ өзгеруі материалдың 0,1 мкм/м деформациясына әкелуі мүмкін. Жоғары тығыздықтағы граниттің термиялық кеңею коэффициенті тек (4-8) × 10⁻⁶/℃ құрайды, бұл алюминий қорытпасының шамамен 1/6 бөлігін құрайды. Оптикалық линзаларды тегістеу сияқты жоғары дәлдіктегі сценарийлерде, тіпті шеберхана температурасы ±2℃-қа ауытқып тұрса да, гранит негізі жұмыс үстелінің негізгі компоненттерінің микрон деңгейіндегі орналасу дәлдігін сақтай алады, бұл линзаның қисықтық қателігінің 0,01D-ден аз болуын қамтамасыз етеді, бұл салалық стандарттан әлдеқайда асып түседі.
3. Өте жоғары қаттылық: Ауыр жүктемелерді көтеруге арналған "Берік іргетас тасы"
Көп осьті жұмыс үстелдері көбінесе лазерлік бастар және зонд массивтері сияқты ауыр компоненттермен жабдықталған (бір осьті жүктеме 200 кг-нан асады). Жоғары тығыздықтағы граниттің қысу беріктігі ≥200 МПа құрайды және ол тұрақты деформациясыз 1000 кг/м²-ден астам біркелкі жүктемеге төтеп бере алады. Белгілі бір аэроғарыштық кәсіпорын осы материалды қабылдағаннан кейін, оның бес осьті жұмыс үстелі 500 кг өңдеу жүктемесін көтергенде, Z осінің тік қателігі тек 0,3 мкм-ге артты, бұл күрделі қисық беттердің өңдеу дәлдігін тиімді түрде қамтамасыз етті.
4. Ұзақ мерзімді беріктік: Жалпы өмірлік цикл құнын төмендетіңіз
Граниттің Мох қаттылығы 6-дан 7-ге дейін жетеді, ал оның тозуға төзімділігі кәдімгі болатқа қарағанда бес еседен астам. Күніне орта есеппен 16 сағат жұмыс істейтін 3C өнім өндіріс желісінде гранит негізі 8-ден 10 жылға дейін техникалық қызмет көрсетуді қажет етпейтін жұмысқа қол жеткізе алады, ал шойын негізі 3 жылдан кейін бағыттаушы рельстің жанасу бетінде (тереңдігі > 5 мкм) тозуды көрсетеді. Сонымен қатар, оның химиялық инерттілігі қышқыл және сілтілі ортада Ra≤0,2 мкм бетінің кедір-бұдырлығын сақтауға мүмкіндік береді, тор сызғыштары мен сызықтық қозғалтқыштар сияқты дәлдік компоненттері үшін тұрақты орнату анықтамасын үнемі қамтамасыз етеді.
Қорытынды: Жоғары тығыздықтағы гранит - дәл өндірістің «жасырын чемпионы»
Наноөлшемді позициялаудан бастап ауыр өңдеуге дейін, жоғары тығыздықтағы гранит өзінің теңдесі жоқ кешенді өнімділігімен көп осьті дәлдіктегі жұмыс үстелдерінің техникалық стандарттарын қайта құруда. Ең жоғары дәлдік пен сенімділікке ұмтылатын кәсіпорындар үшін жоғары сапалы гранит негіздерін (мысалы, ISO үш жүйесімен сертификатталған ZHHIMG® өнімдері) таңдау тек ағымдағы өндірістің кепілі ғана емес, сонымен қатар болашақ процестерді жаңартуға стратегиялық инвестиция болып табылады.
Жарияланған уақыты: 09.06.2025