Жартылай өткізгіштерді өндіру саласында дәлдік - бәрі. Чиптерді өндіру технологиясы нанометрлік деңгейге, тіпті нанометрлік деңгейге дейін ілгерілеуді жалғастыруда, кез келген кішкентай қате чип өнімділігінің төмендеуіне немесе тіпті толық істен шығуына әкелуі мүмкін. Ең жоғары дәлдік үшін осы бәсекеде гранитті дәлдіктегі аксессуарлар өздерінің бірегей физикалық және механикалық қасиеттерімен чип өндірісінің наноөлшемді дәлдігін қамтамасыз етудің негізгі элементіне айналды.
Керемет тұрақтылық дәлдіктің негізін қалайды
Жартылай өткізгіштерді шығаратын цехтағы қоршаған орта күрделі және діріл мен температураның өзгеруі сияқты сыртқы факторлар өндіріс дәлдігіне үнемі қауіп төндіреді. Гранитті дәлдікке арналған аксессуарлар өте жоғары тұрақтылыққа ие, бұл чип өндіру үшін берік негіз болып табылады. Оның ішкі құрылымы тығыз және біркелкі, жүздеген миллион жылдардағы геологиялық процестер нәтижесінде қалыптасқан және табиғи жоғары демпферлік сипаттамаға ие. Сыртқы тербелістерді өндірістік жабдыққа жібергенде, гранитті дәл бөлшектер діріл энергиясының 80%-дан астамын тиімді сіңіріп, әлсірете алады, бұл дірілдің дәл жабдыққа әсерін айтарлықтай азайтады.
Бұл сипаттама әсіресе фотолитография процесінде маңызды. Фотолитография өте жоғары тұрақтылықты сақтау үшін фотолитография машинасының жұмыс үстелін қажет ететін кремний пластинкаларына чиптердің дизайн үлгілерін берудегі шешуші қадам болып табылады. Гранитті дәлдіктегі жұмыс үстелі шеберхана еденінен және басқа жабдықтан діріл кедергісін оқшаулай алады, бұл кремний пластинасы мен фотолитография маскасы арасындағы салыстырмалы орналасу қателігі фотолитография машинасының экспозиция процесі кезінде нанометр деңгейінде басқарылуын қамтамасыз етеді, осылайша өрнектің дәл берілуіне кепілдік береді.
Сонымен қатар, граниттің термиялық кеңею коэффициенті өте төмен, әдетте 5-тен 7 × 10⁻⁶/℃ дейін ауытқиды. Жартылай өткізгішті өндіру процесі кезінде жабдықтың жұмысы нәтижесінде пайда болатын жылу және цех ортасының температурасының ауытқуы материалдардың термиялық деформациясын тудыруы мүмкін. Гранитті дәлдіктегі аксессуарлар температураның өзгеруіне дерлік әсер етпейді және әрқашан тұрақты өлшемдер мен пішіндерді сақтай алады. Мысалы, чипті өңдеу процесінде температураның шамалы өзгеруінің өзі ою жабдығының негізгі құрамдас бөліктерінің термиялық кеңеюін тудыруы мүмкін, нәтижесінде ою тереңдігі мен дәлдігінің ауытқуы болуы мүмкін. Дегенмен, гранитті дәлдіктегі аксессуарларды тірек және жүк көтергіш құрамдас бөліктер ретінде пайдалану бұл жағдайдың пайда болуына тиімді жол бермей, ою процесінің жоғары дәлдігі мен дәйектілігін қамтамасыз ете алады.
Жоғары дәлдіктегі өңдеу және бет сапасының артықшылықтары
Граниттің дәл бөлшектерін жоғары дәлдікпен өңдеу технологиясы да чиптердің өндірістік дәлдігін қамтамасыз етудің маңызды факторы болып табылады. Жетілдірілген ультра дәлдік өңдеу технологиясы арқылы гранитті аксессуарлардың бетінің тегістігі, түзулігі және басқа дәлдік көрсеткіштері өте жоғары деңгейге жетуі мүмкін. Мысалы, CNC тегістеу және жылтырату әдістерін қолдану арқылы граниттің бетінің кедір-бұдырлығын нанометрлік деңгейге дейін азайтуға болады, бұл бетті өңдеуді айна тәрізді әсерге жақындатады.
Чиптерді шығаратын жабдықта гранитті дәлдіктегі бағыттаушы рельстер мен сырғытпалар сияқты компоненттердің жоғары дәлдіктегі бетінің сапасы қозғалатын бөліктер арасындағы үйкеліс пен тозуды айтарлықтай азайтады. Бұл жабдықтың қозғалысының тұрақтылығы мен дәлдігін арттырып қана қоймай, жабдықтың қызмет ету мерзімін ұзартады. Мысал ретінде чипті орау жабдығын алайық. Дәл гранитті бағыттаушы рельстер чипті алу және орналастыру кезінде орау басының қозғалыс траекториясының қателігі микрометр немесе тіпті нанометр деңгейінде басқарылуын қамтамасыз ете алады, осылайша чип пен орауыш субстрат арасында дәл туралау мен сенімді байланысқа қол жеткізуге болады.
Тозуға қарсы және ұзақ мерзімді тұрақтылық
Жартылай өткізгіштерді өндіру үздіксіз және ұзақ мерзімді өндірістік процесс болып табылады және жабдық ұзақ уақыт бойы тұрақты жұмыс істеуі керек. Гранит ұзақ мерзімді механикалық қозғалыстар мен жүктемелерге төтеп бере алатын Mohs қаттылығы 6-дан 7-ге дейін болатын тамаша тозуға төзімділікке ие. Чип шығаратын жабдықтың күнделікті жұмысында гранитті дәл бөлшектер тозуға және тозуға бейім емес және әрқашан тұрақты өнімділік пен дәлдікті сақтай алады.
Басқа материалдармен салыстырғанда гранит ұзақ мерзімді пайдалану кезінде шаршау деформациясын немесе өнімділіктің төмендеуін сезбейді. Бұл гранитті дәлдік компоненттерін пайдаланатын чип өндіру жабдығы ұзақ мерзімді жұмыстан кейін әлі де жоғары дәлдік пен тұрақтылықты сақтай алады, бұл жабдық дәлдігінің төмендеуінен туындаған өнім ақауларының деңгейін тиімді төмендетеді. Жартылай өткізгіш өндірушілер үшін бұл өндіріс тиімділігін арттырып қана қоймай, өндіріс шығындарын азайтады.
Қорытынды
Жартылай өткізгіштерді өндіруде наноөлшемді дәлдікке ұмтылу жолында гранитті дәлдік бөлшектері керемет тұрақтылығымен, жоғары дәлдіктегі өңдеуімен және ұзақ мерзімді сенімділігімен алмастырылмайтын рөл атқарады. Фотолитографиядан оюға дейін, чиптерді ораудан сынауға дейін гранитті дәлдіктегі аксессуарлар чиптерді өндірудегі барлық негізгі буындар арқылы өтеді, бұл чиптерді жоғары дәлдікте өндіруге сенімді кепілдік береді. Жартылай өткізгіштер технологиясының үздіксіз дамуымен дәлдікке қойылатын талаптар барған сайын арта түседі. Граниттің дәл бөлшектері жартылай өткізгіш өнеркәсібіне үнемі жаңа биіктерге жетуге көмектесе отырып, осы салада маңызды рөл атқара береді. Қазір немесе болашақта гранитті дәлдіктегі бөлшектер әрқашан жартылай өткізгіш өндірісінде нанометрлік деңгейдегі дәлдікті қамтамасыз ететін негізгі күш болады.
Хабарлама уақыты: 07 мамыр 2025 ж