Жартылай өткізгіш пластинаны тексеру саласында таза бөлме ортасының тазалығы өнімнің шығымына тікелей байланысты. Чиптерді өндіру процестерінің дәлдігі жақсарған сайын, анықтау жабдығының тасымалдау платформаларына қойылатын талаптар барған сайын қатаң бола түсуде. Гранит платформалары, олардың нөлдік металл ионының бөлінуінің және төмен бөлшектердің ластануының сипаттамалары бар, дәстүрлі тот баспайтын болаттан жасалған материалдардан асып түсті және вафельді тексеру жабдығы үшін таңдаулы шешім болды.
Гранит - негізінен кварц, дала шпаты және слюда сияқты металл емес минералдардан тұратын табиғи магмалық тау жынысы. Бұл сипаттама оған металл ионының нөлдік бөлінуінің артықшылығын береді. Керісінше, тот баспайтын болат темір, хром және никель сияқты металдардың қорытпасы ретінде таза бөлме ортасында су буының және қышқылдық немесе сілтілі газдардың эрозиясына байланысты өз бетінде электрохимиялық коррозияға бейім болады, нәтижесінде Fe²⁺ және Cr³⁺ сияқты металл иондары тұнбаға түседі. Бұл кішкентай иондар пластинаның бетіне бекітілгеннен кейін, олар фотолитография және сызу сияқты келесі процестерде жартылай өткізгіш материалдың электрлік қасиеттерін өзгертеді, транзистордың шекті кернеуінің ауытқуын тудырады және тіпті тізбектегі қысқа тұйықталуға әкеледі. Кәсіби мекеменің сынақ деректері гранит платформасына 1000 сағат бойы үлгіленген таза бөлме температурасы мен ылғалдылық ортасына (23±0,5℃, 45%±5% RH) үздіксіз әсер еткеннен кейін металл иондарының бөлінуі анықтау шегінен (<0,1ppb) төмен болғанын көрсетеді. Тот баспайтын болаттан жасалған платформаларды пайдалану кезінде металл иондарының ластануынан туындаған пластинаның ақаулық деңгейі 15%-дан 20%-ға дейін жоғары болуы мүмкін.
Бөлшектердің ластануын бақылау тұрғысынан гранит платформалары да өте жақсы жұмыс істейді. Таза бөлмелерде ауадағы ілінген бөлшектердің концентрациясына өте жоғары талаптар қойылады. Мысалы, ISO 1-сыныптағы таза бөлмелерде бір текше метрге рұқсат етілген 0,1 мкм бөлшектердің саны 10-нан аспайды. Тот баспайтын болаттан жасалған платформа жылтырату өңдеуден өткен болса да, ол әлі де металл қалдықтарын немесе жабдықтың дірілі мен персоналдың жұмысы сияқты сыртқы күштердің әсерінен металл қалдықтарын немесе оксид қабыршағын алып тастауы мүмкін, бұл оптикалық жолға немесе оптикалық диагностикаға кедергі келтіруі мүмкін. Тығыз минералды құрылымымен (тығыздығы ≥2,7 г/см³) және жоғары қаттылығымен (Мохс шкаласы бойынша 6-7) гранитті платформалар ұзақ уақыт пайдалану кезінде тозуға немесе сынуға бейім емес. Өлшенген өлшемдер таза бөлме стандарттарын тиімді сақтай отырып, тот баспайтын болаттан жасалған платформалармен салыстырғанда анықтау жабдығы аймағындағы ауадағы тоқтатылған бөлшектердің концентрациясын 40% -дан астам төмендете алатынын көрсетеді.
Оның таза сипаттамаларынан басқа, гранит платформаларының жан-жақты өнімділігі тот баспайтын болаттан әлдеқайда асып түседі. Термиялық тұрақтылық тұрғысынан оның термиялық кеңею коэффициенті тек (4-8) ×10⁻⁶/℃, тот баспайтын болаттан (шамамен 17×10⁻⁶/℃) жартысынан аз, бұл таза бөлмедегі температура өзгерген кезде анықтау жабдығының орналасу дәлдігін жақсырақ сақтай алады. Жоғары демпферлік сипаттама (демпферлік қатынас > 0,05) жабдықтың дірілін жылдам әлсіретіп, анықтау зондының шайқалуын болдырмайды. Оның табиғи коррозияға төзімділігі оны фоторезисттік еріткіштердің, қышқыл газдардың және басқа да химиялық заттардың әсерінен қосымша жабынды қорғауды қажет етпей-ақ тұрақты ұстауға мүмкіндік береді.
Қазіргі уақытта гранитті платформалар вафельді өндірудің озық зауыттарында кеңінен қолданылады. Мәліметтер гранитті платформаны қабылдағаннан кейін пластинаның беткі бөлшектерін анықтаудың қателесу жылдамдығы 60% -ға төмендегенін, жабдықты калибрлеу циклі үш есеге ұзарғанын және жалпы өндіріс құны 25% -ға төмендегенін көрсетеді. Жартылай өткізгіш өнеркәсібі жоғары дәлдікке қарай жылжып келе жатқанда, гранит платформалары металл иондарының нөлдік бөлінуі және бөлшектердің төмен ластануы сияқты негізгі артықшылықтары бар вафельді тексеруге тұрақты және сенімді қолдау көрсетуді жалғастырады, бұл саланың прогресті қозғайтын маңызды күшке айналады.
Хабарлама уақыты: 20 мамыр-2025 ж