Жартылай өткізгішті өндіруде фотолитография машинасы чиптердің дәлдігін анықтайтын негізгі құрылғы болып табылады, ал гранит негізі өзінің көптеген сипаттамаларымен фотолитография машинасының таптырмас құрамдас бөлігі болды.
Термиялық тұрақтылық: Температураның өзгеруіне қарсы «қалқан».
Фотолитографиялық аппарат жұмыс істеп тұрған кезде ол көп мөлшерде жылу шығарады. Тіпті тек 0,1℃ температура ауытқуы жабдық құрамдастарының деформациясын тудыруы және фотолитографияның дәлдігіне әсер етуі мүмкін. Граниттің термиялық кеңею коэффициенті өте төмен, тек 4-8 ×10⁻⁶/℃, бұл болаттың шамамен 1/3 және алюминий қорытпасының 1/5 бөлігін құрайды. Бұл фотолитография машинасы ұзақ уақыт жұмыс істегенде немесе қоршаған ортаның температурасы өзгергенде оптикалық компоненттер мен механикалық құрылымдардың дәл орналасуын қамтамасыз ете отырып, гранит негізіне өлшемдік тұрақтылықты сақтауға мүмкіндік береді.
Дірілге қарсы супер өнімділік: дірілді жұтатын «губка».
Жартылай өткізгіштер зауытында қоршаған жабдықтың жұмысы және адамдардың қозғалысы діріл тудыруы мүмкін. Гранит жоғары тығыздық пен қатты құрылымға ие және ол тамаша демпферлік қасиеттерге ие, демпферлік қатынасы металдарға қарағанда 2-5 есе жоғары. Сыртқы тербеліс гранит негізіне жіберілгенде, ішкі минералды кристалдар арасындағы үйкеліс тербеліс энергиясын диссипацияға арналған жылу энергиясына түрлендіреді, бұл қысқа уақыт ішінде дірілді айтарлықтай төмендетуі мүмкін, бұл фотолитография машинасына тұрақтылықты тез қалпына келтіруге және діріл салдарынан фотолитография үлгісінің бұлыңғырлануын немесе туралануын болдырмауға мүмкіндік береді.
Химиялық тұрақтылық: Таза ортаның «сақшысы».
Фотолитографиялық аппараттың ішкі бөлігі әртүрлі химиялық орталармен жанасады, ал қарапайым металл материалдар коррозияға немесе бөлшектердің шығуына бейім. Гранит кварц және дала шпаты сияқты минералдардан тұрады. Ол тұрақты химиялық қасиеттерге және күшті коррозияға төзімділікке ие. Қышқыл және сілті ерітінділеріне малынғаннан кейін беттік коррозия өте аз болады. Сонымен қатар, оның тығыз құрылымы дерлік қоқыс немесе шаң шығармайды, бұл таза бөлменің ең жоғары стандарттарының талаптарына жауап береді және пластинаның ластану қаупін азайтады.
Өңдеуге бейімділік: дәл эталондарды жасау үшін «идеалды материал».
Фотолитография машинасының негізгі компоненттері жоғары дәлдіктегі анықтамалық бетке орнатылуы керек. Граниттің ішкі құрылымы біркелкі және оны тегістеу, жылтырату және басқа әдістер арқылы өте жоғары дәлдікке дейін өңдеу оңай. Оның тегістігі ≤0,5μm/m жетуі мүмкін, ал бетінің кедір-бұдырлығы Ra ≤0,05μm болып табылады, бұл оптикалық линзалар сияқты компоненттер үшін дәл орнату негізін қамтамасыз етеді.
Ұзақ қызмет ету мерзімі және техникалық қызмет көрсетусіз: шығындарды азайтуға арналған «өткір құралдар».
Ұзақ мерзімді пайдалану кезінде шаршауға және крекингке бейім металл материалдармен салыстырғанда, гранит қалыпты жүктемелер кезінде пластикалық деформацияға немесе сынуға әрең ұшырайды және ол беттік өңдеуді қажет етпейді, осылайша жабынның қабығы мен ластану қаупін болдырмайды. Практикалық қолданбаларда, көп жылдар бойы қолданылғаннан кейін, гранит негізінің негізгі өнімділік көрсеткіштері әлі де тұрақты болып қалуы мүмкін, бұл жабдықты пайдалану және техникалық қызмет көрсету шығындарын азайтады.
Термиялық тұрақтылықтан, дірілге төзімділіктен химиялық инерттілікке дейін, гранит негізінің көптеген сипаттамалары фотолитография машинасының талаптарына тамаша сәйкес келеді. Чиптерді өндіру процесі жоғары дәлдікке қарай дамитындықтан, гранит негіздері жартылай өткізгіш өндірісі саласында таптырмас рөл атқара береді.
Хабарлама уақыты: 20 мамыр-2025 ж