Жартылай өткізгіштер өндірісінде фотолитография машинасы чиптердің дәлдігін анықтайтын негізгі құрылғы болып табылады, ал гранит негізі өзінің көптеген сипаттамаларымен фотолитография машинасының ажырамас құрамдас бөлігіне айналды.
Термиялық тұрақтылық: температураның өзгеруіне қарсы «қалқан»
Фотолитографиялық машина жұмыс істеп тұрған кезде көп мөлшерде жылу бөледі. Температураның тек 0,1°C ауытқуы жабдық компоненттерінің деформациясын тудыруы және фотолитография дәлдігіне әсер етуі мүмкін. Граниттің термиялық кеңею коэффициенті өте төмен, тек 4-8 × 10⁻⁶/℃, бұл шамамен болаттың 1/3 бөлігіне және алюминий қорытпасының 1/5 бөлігіне тең. Бұл фотолитографиялық машина ұзақ уақыт жұмыс істеген кезде немесе қоршаған орта температурасы өзгерген кезде гранит негізінің өлшемдік тұрақтылығын сақтауға мүмкіндік береді, бұл оптикалық компоненттер мен механикалық құрылымдардың дәл орналасуын қамтамасыз етеді.
Дірілге қарсы керемет өнімділік: Дірілді сіңіретін «губка»
Жартылай өткізгіш зауытында айналадағы жабдықтардың жұмысы және адамдардың қозғалысы діріл тудыруы мүмкін. Граниттің тығыздығы жоғары және қатты құрылымы бар, сонымен қатар ол тамаша демпферлік қасиеттерге ие, демпферлік коэффициенті металдарға қарағанда 2-ден 5 есеге дейін. Сыртқы дірілдер гранит негізіне берілгенде, ішкі минералды кристалдар арасындағы үйкеліс діріл энергиясын тарату үшін жылу энергиясына айналдырады, бұл дірілді қысқа мерзімде айтарлықтай азайта алады, бұл фотолитография машинасына тұрақтылықты тез қалпына келтіруге және дірілге байланысты фотолитографиялық үлгінің бұлыңғырлануына немесе дұрыс орналаспауына жол бермейді.
Химиялық тұрақтылық: таза қоршаған ортаның «сақшысы»
Фотолитография машинасының ішкі бөлігі әртүрлі химиялық орталармен жанасады, ал қарапайым металл материалдар коррозияға немесе бөлшектердің бөлінуіне бейім. Гранит кварц және дала шпаты сияқты минералдардан тұрады. Оның тұрақты химиялық қасиеттері және коррозияға төзімділігі жоғары. Қышқыл және сілті ерітінділеріне малынғаннан кейін беткі коррозия өте аз болады. Сонымен қатар, оның тығыз құрылымы қоқыс немесе шаң шығармайды, бұл ең жоғары таза бөлме стандарттарының талаптарына сай келеді және пластинаның ластану қаупін азайтады.
Өңдеуге бейімделу: дәл эталондарды жасау үшін «идеалды материал»
Фотолитография машинасының негізгі компоненттері жоғары дәлдіктегі эталондық бетке орнатылуы керек. Граниттің ішкі құрылымы біркелкі және оны тегістеу, жылтырату және басқа да әдістер арқылы өте жоғары дәлдікпен өңдеу оңай. Оның жазықтығы ≤0,5 мкм/м жетуі мүмкін, ал бетінің кедір-бұдырлығы Ra ≤0,05 мкм, бұл оптикалық линзалар сияқты компоненттерді дәл орнату негізін қамтамасыз етеді.
Ұзақ қызмет ету мерзімі және техникалық қызмет көрсетуді қажет етпейді: шығындарды азайтуға арналған «өткір құралдар»
Ұзақ мерзімді пайдалану кезінде шаршауға және жарықшақтануға бейім металл материалдармен салыстырғанда, гранит қалыпты жүктемелер кезінде пластикалық деформацияға немесе сынуға сирек ұшырайды және бетін өңдеуді қажет етпейді, осылайша жабынның қабыршақтану және ластану қаупін болдырмайды. Тәжірибелік қолдануда, көптеген жылдар бойы қолданылғаннан кейін, гранит негізінің негізгі өнімділік көрсеткіштері әлі де тұрақты болып қала береді, бұл жабдықты пайдалану және техникалық қызмет көрсету шығындарын азайтады.
Термиялық тұрақтылықтан, дірілге төзімділіктен бастап химиялық инерттілікке дейін, гранит негізінің көптеген сипаттамалары фотолитография машинасының талаптарына толық сәйкес келеді. Чип өндірісі процесі жоғары дәлдікке қарай дамып келе жатқандықтан, гранит негіздері жартылай өткізгіш өндірісі саласында алмастырылмайтын рөл атқара береді.
Жарияланған уақыты: 20 мамыр 2025 ж.