Жоғары деңгейлі өндіріс және озық ғылыми зерттеулер саласында ауа қалқымасының аса дәл қозғалыс модулі тамаша дәлдік өнімділігімен дәл жұмыс істеу және өлшеу үшін негізгі жабдыққа айналды. Гранит дәлдік негізі тірек өзегі ретінде жұмыс ортасына қатаң талаптар қояды, ал қолайлы қоршаған орта жағдайлары оның тұрақты жұмысын және ең жақсы әсерді қамтамасыз етудің негізі болып табылады.
Біріншіден, температураны бақылау: дәлдік «тұрақтандырғыш»
Гранит тұрақтылығымен танымал болғанымен, температураның өзгеруіне толықтай төзімді емес. Жылулық кеңею коэффициенті төмен, әдетте 5-7 × 10⁻⁶/℃ болғанымен, ультра дәлдіктегі қозғалысты басқару сценарийлерінде температураның нәзік ауытқулары өлшемдік өзгерістерді тудыруы және модуль дәлдігіне әсер етуі мүмкін. Жартылай өткізгіш чип өндірісі шеберханасында литография процесі данами деңгейіндегі позициялау дәлдігін талап етеді, ал қоршаған орта температурасы 1°C-қа ауытқиды, ал бүйірлік ұзындығы 1 метр болатын гранит негізі 5-7 микрон сызықтық кеңеюді немесе жиырылуды тудыруы мүмкін. Бұл шағын өзгеріс ауа қалқымасының ультра дәлдіктегі қозғалыс модулімен беріледі, бұл чип литографиясының үлгісінің ауытқуын тудыруға және өнімділікті айтарлықтай төмендетуге жеткілікті. Сондықтан, ауада жүзетін ультра дәлдіктегі қозғалыс модулінің гранитті дәлдік негізімен жабдықталған, жұмыс ортасының идеалды температурасын 20°C ±1°C температурада басқару керек, тұрақты температура мен ылғалдылықтағы ауа баптау жүйесі сияқты жоғары дәлдіктегі тұрақты температуралық жабдықтардың көмегімен қоршаған орта температурасын үздіксіз бақылау және реттеу, температураның өте аз диапазонда ауытқуын қамтамасыз ету, база өлшемінің тұрақтылығын сақтау және модульдің жоғары дәлдіктегі жұмысын қамтамасыз ету үшін.
Екіншіден, ылғалды басқару: ылғалдан қорғаудың «тас» кілті
Дәл гранит негізінің жұмысына әсер ететін тағы бір маңызды фактор - ылғалдылық. Жоғары ылғалдылық ортасында гранит су буын оңай сіңіреді, бұл бетінде конденсацияға әкелуі мүмкін, бұл гранит пен ауа қалтқысының аса дәл қозғалыс модулінің байланыс тұрақтылығына әсер етіп қана қоймай, сонымен қатар беттің эрозиясын тудыруы және ұзақ мерзімді перспективада жылтырлығы мен дәлдігін төмендетуі мүмкін. Оптикалық линзаларды тегістеу шеберханасында, егер ылғалдылық ұзақ уақыт бойы 60% RH-тан жоғары болса, гранит негізінің бетінде адсорбцияланған су буы газ қалтқысының сырғытпасының қозғалысына кедергі келтіреді, сондықтан линзаларды тегістеу дәлдігі төмендейді және беті ақаулы болады. Сондықтан жұмыс ортасының салыстырмалы ылғалдылығын 40%-60% RH аралығында қатаң бақылау керек, оны жоғары ылғалдылыққа байланысты гранит негізінің зақымдалуын болдырмау үшін ылғалдандырғыштарды, ылғалдылық сенсорларын және басқа жабдықтарды орнату арқылы нақты уақыт режимінде бақылауға және реттеуге болады және ауа қалтқысының аса дәл қозғалыс модулінің бірқалыпты жұмысын қамтамасыз етеді.
Үшіншіден, тазалық кепілдігі: дәлдіктің «сақшысы»
Ауа флотациясының аса дәл қозғалыс модулінің дәл гранит негізіне шаң бөлшектерінің зиянын бағаламауға болмайды. Ұсақ бөлшектер газ қалқымалы сырғытпасы мен гранит негізі арасындағы газ қабықшасының саңылауына енгеннен кейін, олар газ қабықшасының біркелкілігін бұзуы, үйкелісті арттыруы және тіпті негіздің бетін сызып тастауы мүмкін, бұл қозғалыс дәлдігінің төмендеуіне әкелуі мүмкін. Аэроғарыштық бөлшектердің аса дәл өңдеу шеберханасында ауадағы шаң бөлшектері гранит негізіне түссе, өңдеу құралының қозғалыс траекториясы ауытқып, бөлшектердің өңдеу дәлдігіне әсер етуі мүмкін. Сондықтан, жұмыс аймағын жоғары тиімді ауа сүзгілері (HEPA) сияқты ауа тазарту жабдықтарын орнату арқылы 10 000 немесе одан да жоғары тазалық стандарттарына жету арқылы өте таза ұстау керек, сонымен бірге қызметкерлер адамдар әкелетін шаңды азайту үшін шаңсыз киім, аяқ киім жапқышы және т.б. киюі керек. Гранит негізі мен ауа қалқымалы аса дәл қозғалыс модулінің жоғары дәлдіктегі жұмыс ортасын сақтаңыз.
Төртіншіден, діріл оқшаулауы: «амортизатор төсемінің» бірқалыпты жұмыс істеуі
Сыртқы діріл ауа қалтқысының аса дәл қозғалыс модулінің дәлдігінің жауы болып табылады. Дәлдік гранит негізі белгілі бір діріл басылу қабілетіне ие болғанымен, жоғары беріктіктегі діріл оның буферлік шегін бұзуы мүмкін. Зауыт айналасындағы қозғалыс пен ірі механикалық жабдықтардың жұмысы нәтижесінде пайда болған діріл жер арқылы гранит негізіне беріледі, бұл ауа қалтқысының аса дәл қозғалыс модулінің қозғалыс дәлдігіне кедергі келтіреді. Жоғары деңгейлі CMM-де діріл өлшеу зондының және өлшенетін дайындаманың арасындағы жанасудың тұрақсыздығына әкелуі мүмкін, бұл өлшеу деректерінің ауытқуына әкеледі. Бұл мәселені шешу үшін жабдықты орнату аймағында діріл оқшаулағыш төсеніштерін төсеу, діріл оқшаулағыш негізін салу немесе сыртқы дірілді белсенді түрде өтеу үшін белсенді діріл оқшаулау жүйесін пайдалану және гранит дәлдік негізі мен ауа қалтқысының аса дәл қозғалыс модулі үшін тыныш және тұрақты жұмыс ортасын жасау сияқты тиімді діріл оқшаулау шараларын қабылдау қажет.
Температура, ылғалдылық, тазалық және дірілді бақылау сияқты қоршаған орта талаптарын толық қанағаттандыру арқылы ғана ауа қалқымасының аса дәл қозғалыс модулінің гранитті дәлдік негізі оның өнімділік артықшылықтарын толық пайдалана алады, әртүрлі салалардағы аса дәл операцияларға сенімді кепілдік береді және саланың жоғары дәлдіктегі өндіріс пен ғылыми зерттеулер деңгейіне көшуіне көмектеседі.
Жарияланған уақыты: 08.04.2025