Жоғары деңгейлі өндіріс пен озық ғылыми зерттеулер саласында ауа қалтқысының ультра дәлдіктегі қозғалыс модулі өзінің тамаша дәлдігімен жақсы жұмыс пен өлшеудің негізгі жабдықына айналды. Гранитті дәлдік негізі, тірек ядросы ретінде, жұмыс ортасына қатаң талаптар қояды және қолайлы қоршаған орта жағдайлары оның тұрақты жұмысын және ең жақсы әсерін қамтамасыз ету үшін негіз болып табылады.
Біріншіден, температураны бақылау: дәлдік «тұрақтандырғыш»
Гранит өзінің тұрақтылығымен танымал болғанымен, ол температураның өзгеруіне толықтай қарсы емес. Оның термиялық кеңею коэффициенті төмен болғанымен, әдетте 5-7 ×10⁻⁶/℃, ультра дәлдіктегі қозғалысты басқару сценарийлерінде, нәзік температура ауытқулары әлі де өлшемдік өзгерістерді тудыруы және модуль дәлдігіне әсер етуі мүмкін. Жартылай өткізгішті чиптерді шығаратын цехта литография процесі данами деңгейіндегі позициялау дәлдігін талап етеді және қоршаған орта температурасы 1 ° C-қа ауытқиды, ал бүйірлік ұзындығы 1 метр болатын гранит негізі 5-7 мкм сызықтық кеңеюді немесе қысқаруды тудыруы мүмкін. Бұл шағын өзгеріс ауа қалтқысының ультра дәлдіктегі қозғалыс модулі арқылы беріледі, бұл чиптің литография үлгісінің ауытқуын жасауға және кірісті айтарлықтай төмендетуге жеткілікті. Сондықтан, ауа қалқымалы ультра дәлдіктегі қозғалыс модулінің гранитті дәлдік негізімен жабдықталған, жұмыс ортасының мінсіз температурасы 20 ° C ± 1 ° C деңгейінде бақылануы керек, мысалы, тұрақты температура мен ылғалдылықты кондиционерлеу жүйесі, қоршаған орта температурасын үздіксіз бақылау және реттеу сияқты жоғары дәлдіктегі тұрақты температура жабдығының көмегімен, базалық өлшемдегі температура ауытқуларын қамтамасыз ету үшін базалық өлшемдегі өте аз ауытқуларды қамтамасыз ету. жоғары дәлдіктегі операция.
Екіншіден, ылғалдылықты басқару: ылғалдан қорғаудың кілті «тас»
Ылғалдылық дәл гранит негізінің жұмысына әсер ететін тағы бір маңызды фактор болып табылады. Ылғалдылығы жоғары ортада гранит су буын оңай сіңіреді, бұл бетіндегі конденсацияға әкелуі мүмкін, бұл граниттің қосылу тұрақтылығына және ауа қалтқысының ультра дәлдіктегі қозғалыс модуліне әсер етіп қана қоймайды, сонымен қатар беттің эрозиясын тудыруы және ұзақ мерзімді перспективада жылтырлығы мен дәлдігін төмендетуі мүмкін. Оптикалық линзаларды тегістеу цехында ылғалдылық ұзақ уақыт бойы 60% RH жоғары болса, гранит негізінің бетіне адсорбцияланған су буы газ қалқымалы сырғытпаның қозғалысына кедергі келтіреді, осылайша линзаны тегістеу дәлдігі төмендейді, ал беті ақаулы болады. Сондықтан жұмыс ортасының салыстырмалы ылғалдылығы 40%-60% RH арасында қатаң бақылануы керек, оны ылғалдандырғыштарды, ылғалдылық сенсорларын және басқа жабдықты орнату арқылы нақты уақыт режимінде бақылауға және реттеуге болады, бұл жоғары ылғалдылыққа байланысты гранит негізіне зақым келтірмеу және ауа қалтқысының ультра дәлдіктегі қозғалыс модулінің біркелкі жұмысын қамтамасыз ету.
Үшіншіден, тазалық кепілі: дәлдіктің «сақшысы».
Ауа флотациясының ультра дәлдіктегі қозғалыс модулінің дәл гранит негізіне шаң бөлшектерінің зиянын бағаламау мүмкін емес. Кішкентай бөлшектер газ қалқымалы сырғытпасы мен гранит негізі арасындағы газ қабықшасының саңылауына енгеннен кейін, олар газ қабықшасының біркелкілігін бұзып, үйкелісті күшейтіп, тіпті негіздің бетін сызып тастауы мүмкін, нәтижесінде қозғалыс дәлдігі төмендейді. Аэроғарыштық бөлшектерді өте дәл өңдеу цехында ауадағы шаң бөлшектері гранитті негізге түссе, өңдеу құралының қозғалыс траекториясы ауытқуы мүмкін, бұл бөлшектердің өңдеу дәлдігіне әсер етеді. Сондықтан жұмыс орны жоғары тиімділіктегі ауа сүзгілері (HEPA) сияқты ауа тазарту жабдығын орнату арқылы тазалық стандарттарының 10 000 немесе одан да жоғары деңгейіне жетуі керек, ауадағы шаң бөлшектерін сүзеді, сонымен бірге адам әкелетін шаңды азайту үшін қызметкерлер шаңсыз киім, аяқ киім және т.б. киюі керек. Гранит негізі мен ауа қалқымалы ультра дәлдіктегі қозғалыс модулінің жоғары дәлдіктегі жұмыс ортасын сақтаңыз.
Төрт, дірілді оқшаулау: «шок алаңының» тегіс жұмысы
Сыртқы тербеліс ауа қалтқысының ультра дәлдіктегі қозғалыс модулінің дәлдігінің жауы болып табылады. Дәл гранит негізі белгілі бір дірілді әлсірету қабілетіне ие болса да, жоғары күшті діріл әлі де өзінің буферлік шегін бұзуы мүмкін. Зауыт айналасындағы қозғалыс және үлкен механикалық жабдықтың жұмысы нәтижесінде пайда болатын діріл гранит негізіне жер арқылы беріледі, бұл ауа қалтқысының ультра дәлдіктегі қозғалыс модулінің қозғалыс дәлдігіне кедергі келтіреді. Жоғары деңгейлі CMM-де діріл өлшеу зонды мен өлшенетін дайындама арасындағы байланыс тұрақсыз болуы мүмкін, бұл өлшеу деректерінің ауытқуына әкеледі. Бұл мәселені шешу үшін дірілді оқшаулаудың тиімді шараларын қабылдау қажет, мысалы, жабдықты орнату аймағында дірілді оқшаулау төсемдерін төсеу, дірілді оқшаулау іргетасын салу немесе сыртқы дірілді белсенді түрде жою үшін белсенді дірілді оқшаулау жүйесін пайдалану және гранитті дәлдік негізі мен ауа қалқымалы ультра дәлдік модулі үшін тыныш және тұрақты жұмыс ортасын құру.
Температура, ылғалдылық, тазалық және дірілді бақылаудың экологиялық талаптарын толық қанағаттандыра отырып, ауа қалтқысының ультра дәлдіктегі қозғалыс модулінің гранитті дәлдік негізі оның өнімділік артықшылықтарын толықтай ойнай алады, әртүрлі салалардағы ультра дәлдіктегі операцияларға сенімді кепілдік береді және саланың жоғары дәлдіктегі өндіріс пен ғылыми зерттеулер деңгейіне өтуіне көмектеседі.
Жіберу уақыты: 08 сәуір 2025 ж