Дәлдік өндіріс және ғылыми зерттеулер салаларында гранитті дәлдік платформаларының тегістігі жабдықтың дәлдігін қамтамасыз ететін негізгі көрсеткіш болып табылады. Төменде сіз үшін бірнеше негізгі анықтау әдістері мен олардың жұмыс процедуралары туралы егжей-тегжейлі кіріспе берілген. .
I. Лазерлік интерферометрді анықтау әдісі
Лазерлік интерферометр жоғары дәлдіктегі тегістікті анықтауға арналған таңдаулы құрал болып табылады. Мысал ретінде ZYGO GPI XP лазерлік интерферометрін алайық, оның ажыратымдылығы 0,1 нм жетуі мүмкін. Анықтауды жүргізген кезде алдымен интерферометрдің жарық көзін платформамен туралаңыз және платформа бетін 50мм×50мм тор алаңдарына бөліңіз. Кейіннен интерференциялық жиектер деректері нүкте бойынша жиналды және деректер тегістік қатесін алу үшін Zernike полиномы арқылы орнатылды және талданды. Бұл әдіс жоғары дәлдіктегі платформаларға қолданылады және ≤0,5μm/m² тегістік қателерін анықтай алады. Ол әдетте фотолитографиялық машиналар мен жоғары деңгейлі үш координатты өлшеуіш машина платформаларын анықтауда қолданылады. .
II. Электрондық деңгейлі массив әдісі
Электрондық деңгей массивін анықтау оңай жұмыс істейді және жоғары тиімді. TESA A2 электрондық деңгейі (0,01 мкм/м рұқсатымен) платформаның X/Y осінің бағыты бойынша 9×9 массивінде таңдалды және орналастырылды. Әрбір деңгейдің көлбеу деректерін синхронды түрде жинап, содан кейін есептеу үшін ең аз квадрат әдісін қолдану арқылы тегістік мәнін дәл алуға болады. Бұл әдіс платформаның жергілікті ойыс және дөңес жағдайларын тиімді анықтауға мүмкіндік береді. Мысалы, 50 мм диапазондағы 0,2 мкм ауытқуды да анықтауға болады, бұл жаппай өндірісте жылдам анықтауға жарамды. .
III. Оптикалық жалпақ кристалды әдіс
Оптикалық жалпақ кристалдық әдіс шағын аумақты платформаларды анықтау үшін қолайлы. Платформада сыналатын бетке оптикалық жалпақ кристалды мықтап бекітіңіз және монохроматикалық жарық көзінің (мысалы, натрий шамы) жарықтандыруы кезінде олардың арасында пайда болатын кедергі жиектерін қадағалаңыз. Жолақтар параллель түзу жолақтар болса, бұл жақсы тегістікті көрсетеді. Егер қисық жолақтар пайда болса, жолақтардың қисаю дәрежесіне негізделген тегістік қатесін есептеңіз. Әрбір қисық жолақ 0,316 мкм биіктік айырмашылығын білдіреді және тегістік деректерін қарапайым түрлендіру арқылы алуға болады. .
Төрт. Үш координатты өлшеуіш машина Инспекция әдісі
Үш координатты өлшеуіш машина үш өлшемді кеңістікте жоғары дәлдіктегі өлшеуге қол жеткізе алады. Гранит платформасын өлшеуіш машинаның жұмыс үстеліне қойыңыз және платформа бетіндегі бірнеше өлшеу нүктелерінен деректерді біркелкі жинау үшін зондты пайдаланыңыз. Өлшеу машинасының жүйесі платформаның тегістік есебін жасау үшін осы деректерді өңдейді және талдайды. Бұл әдіс тек тегістікті анықтап қана қоймайды, сонымен қатар платформаның басқа геометриялық параметрлерін бір уақытта ала алады және үлкен гранитті платформаларды кешенді анықтауға жарамды. .
Осы анықтау әдістерін меңгеру гранитті дәлдік платформасының тегістігін дәл бағалауға көмектеседі және дәлдіктегі жабдықтың тұрақты жұмысына сенімді кепілдік береді.
Хабарлама уақыты: 29 мамыр 2025 ж