Жартылай өткізгіштер өндірісіндегі дәлдік революциясы: гранит микрон технологиясымен кездескен кезде
1.1 Материалтанудағы күтпеген жаңалықтар
SEMI халықаралық жартылай өткізгіштер қауымдастығының 2023 жылғы есебіне сәйкес, әлемдегі озық фабрикалардың 63% дәстүрлі металл платформалардың орнына гранит негіздерін пайдалана бастады. Жердің тереңіндегі магма конденсациясынан пайда болған бұл табиғи тас өзінің бірегей физикалық қасиеттеріне байланысты жартылай өткізгіштерді өндіру тарихын қайта жазуда:
Жылулық инерцияның артықшылығы: граниттің термиялық кеңею коэффициенті 4,5×10⁻⁶/℃ тот баспайтын болаттың 1/5 бөлігін ғана құрайды және литография машинасының үздіксіз жұмысында ±0,001 мм өлшемдік тұрақтылық сақталады.
Діріл сөндіргіш сипаттамалары: ішкі үйкеліс коэффициенті шойынға қарағанда 15 есе жоғары, жабдықтың микро-дірілін тиімді сіңіреді.
Нөлдік магниттелу сипаты: лазерлік өлшеудегі магниттік қатені толығымен жояды
1.2 Шахтадан фабқа дейінгі метаморфоздық саяхат
Мысал ретінде ZHHIMG компаниясының Шаньдундағы зияткерлік өндірістік базасын алсақ, шикі граниттің бір бөлігі мыналардан өтуі керек:
Өте дәл өңдеу: 200 сағат үздіксіз фрезерлеуге арналған бес осьті байланыстырушы өңдеу орталығы, бетінің кедір-бұдырлығы Ra0,008 мкм дейін
Жасанды қартаюды өңдеу: тұрақты температура мен ылғалдылық цехында 48 сағаттық табиғи стрессті босату, бұл өнімнің тұрақтылығын 40% жақсартады.
Екіншіден, жартылай өткізгішті өндірудің алты дәлдік мәселесін шешу «тас шешімі»
2.1 Вафельді фрагментация жылдамдығын төмендету схемасы
Істің демонстрациясы: Германиядағы чип құю зауыты біздің газбен жүзетін гранит платформасын қабылдағаннан кейін:
| Вафли диаметрі | чип жылдамдығының төмендеуі | тегістікті жақсарту |
| 12 дюйм | 67% | ≤0,001мм |
| 18 дюйм | 82% | ≤0,0005мм |
2.2 Литографиялық туралау дәлдігінің серпінді схемасы
Температураны өтеу жүйесі: кірістірілген керамикалық сенсор нақты уақытта пішіннің айнымалысын бақылайды және платформаның еңісін автоматты түрде реттейді
Өлшенген деректер: 28℃±5℃ ауытқуы кезінде ендіру дәлдігі 0,12мкм-ден аз ауытқиды
Хабарлама уақыты: 24 наурыз-2025 ж