Келесі буын литографиясы үшін гранит пен керамиканы таңдау

Жартылай өткізгіш литографияның нанометрлік әлемінде ең аз құрылымдық діріл немесе микроскопиялық термиялық кеңею көп миллион долларлық кремний пластинасын пайдасыз етуі мүмкін. Өнеркәсіп 2 нм түйіндерге және одан да жоғары деңгейге жылжыған сайын, машина негіздері үшін қолданылатын материалдар енді тек «тіректер» емес, олар дәлдікті іздеудің белсенді қатысушылары болып табылады.

ZHHIMG компаниясында әлемдік өндірушілер бізге жиі қояды: дәлдік гранитінің дәлелденген тұрақтылығын сақтауымыз керек пе, әлде озық техникалық керамикаға көшу уақыты келді ме? Жауап сіздің қолдануыңыздың нақты физикасында жатыр.

Тұрақтылық физикасы: Гранит және керамика

Салыстыру кезіндедәлдіктегі гранит компоненттеріжәне керамикалық элементтер үшін біз дәлдік инженериясының «қасиетті үштігіне» назар аударуымыз керек: демпферлеу, термиялық тұрақтылық және қаттылық.

1. Діріл демпфері: табиғи микроқұрылымның артықшылығы

Діріл - өткізу қабілетінің жауы. Табиғи магмалық жыныс болып табылатын гранит табиғи амортизатор ретінде әрекет ететін күрделі поликристалды құрылымға ие. Бұл ішкі үйкеліс гранитке механикалық энергияны көптеген синтетикалық материалдарға қарағанда әлдеқайда тиімді түрде таратуға мүмкіндік береді.

Керісінше, кремний карбиді (SiC) немесе алюминий оксиді сияқты озық керамика өте қатты. Бұл қаттылық жоғары жиілікті реакция үшін пайдалы болғанымен, керамика ішкі демпферлеуді айтарлықтай аз ұсынады. Литографиялық ортада, сатылар өте жоғары үдеумен қозғалатын жерде, ZHHIMG гранит негізі оптиканың мінсіз тураланған күйде қалуы үшін қажетті «тыныш» ортаны қамтамасыз етеді.

2. Термиялық динамика: Микронды басқару

Ұзақ мерзімді дәлдіктегі кедергі көбінесе термиялық кеңею болып табылады. Табиғи граниттің термиялық кеңею коэффициенті (ТКК) өте төмен, әдетте шамамен 5 × 10^{-6}/K-ден 6 × 10^{-6}/K-ге дейін.

Жетілдірілген керамика номиналды CTE мәндерінен де төменірек мәндерге қол жеткізе алады, бірақ олардың жылу инерциясы көбінесе төмен болады. Бұл олардың жалпы кеңеюі аз болғанымен, қоршаған орта температурасының ауытқуларына әлдеқайда жылдам әсер ететінін білдіреді. Граниттің үлкен жылу массасы «буфер» ретінде әрекет етеді, бұл оны ірі көлемді жұмыстар үшін таңдаулы таңдау етеді.литография машинасының негіздеріқоршаған орта үздіксіз жұмыс уақытында тұрақты болып қалуы керек жерде.

Дәл аппаратты құрастыру

Литография шекарасына арналған материалдар

Қазіргі заманғы литография машинасы, бәлкім, бұрын-соңды жасалған ең күрделі жабдық болып табылады. Негізгі құрылымдық рамалар үшін өнеркәсіп тарихи тұрғыдан сүйеніп келдіДәлме-дәл гранит компоненттеріолардың магниттік емес табиғаты мен коррозияға төзімділігіне байланысты.

Дегенмен, литографиялық стек ішіндегі жоғары жылдамдықты қозғалатын бөлшектер үшін, мысалы, пластиналы патрондар немесе қысқа жүрісті сатылар үшін, керамика қаттылық пен салмақтың жоғары қатынасына байланысты кең таралуда. ZHHIMG компаниясында біз болашақты осы материалдар арасындағы бәсекелестік ретінде емес, стратегиялық гибридті интеграция ретінде көреміз. Инженерлер іргетас үшін гранит негізін және жоғары динамикалық компоненттер үшін керамиканы пайдалану арқылы демпферлік пен жылдамдықтың ең жоғары тепе-теңдігіне қол жеткізе алады.

Неліктен ZHHIMG - таңдаулы әлемдік жеткізуші

Жетекші ретіндедәл гранит компоненттерін жеткізуші, ZHHIMG дәлдік тек шикізатқа ғана емес, сонымен қатар оның артындағы метрологияға да қатысты екенін түсінеді. Біздің нысан барлық тапсырыс бойынша құрастыру және DIN 876 Grade 00 стандарттарынан асатын жоғары дәлдіктегі тегістеу әдістері үшін вакуумды газсыздандыруды пайдаланады.

Біз маманданғанбыз:

  • OEM үшін арнайы жасалған гранит негіздері: Сызықтық бағыттаушыларға арналған біріктірілген бұрандалы кірістірулері бар арнайы геометриялар.

  • Күрделі литография компоненттері: Бірнеше метр бойы 1 микрон шегінде жазықтықты сақтайтын ірі көлемді іргетастарды жобалау.

  • Жетілдірілген метрология: Әлемдегі ең сезімтал тексеру жабдықтарына арналған анықтамалық стандарттарды ұсыну.

Қорытынды: Стратегиялық алға жылжу жолы

Гранит пен керамика арасында таңдау жасау үшін машинаңыздың динамикалық профилін терең түсіну қажет. Керамика жоғары жиілікті қаттылықты ұсынса да, граниттің табиғи демпферлік және жылулық массасы ауқымды тұрақтылық үшін теңдесі жоқ болып қала береді.

2026 жылға көз жүгіртсек, ZHHIMG табиғи тас пен озық композиттердің қиылысында инновацияларды енгізуді жалғастыруда. Біз тек негіз ғана бермейміз; біз сіздің жабдықтарыңыздың теориялық шегіне дейін жұмыс істейтініне сенімділік береміз.

Техникалық салыстыру деректер парағын алу немесе жобаңызға қойылатын талаптарды талқылау үшін бүгін ZHHIMG инженерлік тобына хабарласыңыз.


Жарияланған уақыты: 2026 жылғы 26 қаңтар