Келесі буын жартылай өткізгіш өндірісі мен микронға дейінгі метрологияны дамытуда «негіз» және «жол» ең маңызды екі айнымалы болып табылады. Машина дизайнерлері жоғары өткізу қабілеті мен нанометр деңгейіндегі қайталанымдылыққа ұмтылған сайын, таңдау...гранитті ауа мойынтіректерінің бағыттауышыжәне дәстүрлі роликті мойынтірек бағыттауышы маңызды инженерлік шешімге айналды. Сонымен қатар, машина негізінің материалы - гранит пен жоғары өнімді керамикамен салыстырғанда - бүкіл жүйенің жылулық және діріл шектерін анықтайды.
Граниттен жасалған ауа мойынтіректерінің бағыттаушыларын және роликті мойынтіректердің бағыттаушыларын салыстыру
Бұл екі жүйенің негізгі айырмашылығы жүктемені көтеру және үйкелісті басқару әдісінде жатыр.
Граниттен жасалған ауа мойынтіректерінің бағыттаушыларыүйкеліссіз қозғалыс шыңын білдіреді. Әдетте 5-тен 20 микронға дейінгі сығылған ауаның жұқа қабатын пайдалану арқылы қозғалатын каретка гранит бағыттаушы рельстің үстінде қалқып жүреді.
-
Нөлдік үйкеліс және тозу:Физикалық байланыс болмағандықтан, жеңуге болатын «жабысуды» (статикалық үйкелісті) жоқ және жүйе ешқашан тозбайды. Бұл өте тегіс, тұрақты жылдамдықпен сканерлеуге мүмкіндік береді.
-
Қателерді орташалау:Ауа мойынтіректерінің ең маңызды артықшылықтарының бірі - олардың гранит рельстің микроскопиялық беткі әрлеу кедір-бұдырларын «орташа» анықтау мүмкіндігі, бұл рельстің өзіне қарағанда түзу қозғалысқа әкеледі.
-
Тазалық:Майлауды қажет етпестен, бұл бағыттаушылар таза бөлмеге үйлесімді, бұл оларды пластиналарды тексеру және жалпақ панельді дисплейлерді өндіру үшін стандарт етеді.
Роликті мойынтіректер бағыттаушыларыкерісінше, жоғары дәлдіктегі болат роликтердің немесе шарлардың физикалық жанасуына сүйенеді.
-
Жоғары жүктеме сыйымдылығы:Ауыр жүктемелерді немесе жоғары кесу күштерін (мысалы, дәл тегістеу) қамтитын қолданбалар үшін роликті мойынтіректер айтарлықтай жоғары қаттылық пен жүк көтергіштікті ұсынады.
-
Операцияның қарапайымдылығы:Тұрақты, аса таза сығылған ауа беру және сүзу жүйелерін қажет ететін ауа мойынтіректерінен айырмашылығы, роликті мойынтіректер «қосып, жұмыс істейді».
-
Ықшам дизайн:Механикалық мойынтіректер тиімді ауа подшипнигі төсемі үшін қажетті үлкен беттік аумақпен салыстырғанда кішігірім аумақта үлкен жүктемелерді көтере алады.
Роликті мойынтіректер жалпы дәлдік үшін берік және үнемді болғанымен, ауа мойынтіректер «жанасу» дәлдіктің жауы болып табылатын қолданбалар үшін келіссөздерсіз таңдау болып табылады.
Ауа мойынтіректерінің бағыттауыштарының қолданылуы: дәлдік пен сұйықтықтың үйлесуі
Ауа мойынтіректерінің бағыттаушыларын енгізу зертханадан тыс жерлерде де, үлкен көлемді өнеркәсіптік өндіріске де кеңейді.
ІшіндеЖартылай өткізгіштер өнеркәсібі, ауа мойынтіректер литография және пластиналы зондтауда қолданылады. Нөлдік дірілмен жоғары жылдамдықпен қозғалу мүмкіндігі сканерлеу процесінің нанометрлік масштабтағы тізбекке артефактілерді енгізбеуін қамтамасыз етеді.
In Сандық бейнелеу және үлкен форматты сканерлеу, ауа мойынтірегінің тұрақты жылдамдығы өте маңызды. Механикалық мойынтіректен туындайтын кез келген «тісті бұрылыс» немесе діріл жоғары ажыратымдылықтағы соңғы кескінде «жолақтардың» пайда болуына немесе бұрмалануына әкеледі.
Координаталық өлшеу машиналары (КӨМ)Зондтың мүмкіндігінше жеңіл жанасу арқылы қозғала алатынына көз жеткізу үшін гранитті ауа мойынтіректерінің бағыттаушыларына сүйеніңіз. Үйкелістің болмауы машинаның басқару жүйесіне өлшенетін бөліктің ең кішкентай беткі өзгерістеріне лезде жауап беруге мүмкіндік береді.
Материалдық негіз: машина негіздері үшін гранит және керамика
Кез келген бағыттаушы жүйенің өнімділігі ол орнатылған негіздің тұрақтылығымен шектеледі. Ондаған жылдар бойы гранит салалық стандарт болып келді, бірақ озық керамика (мысалы, алюминий оксиді немесе кремний карбиді) экстремалды өнімділік қолданбаларында өз орнын табуда.
Гранит машинасының негіздеріжоғары дәлдіктегі қолданбалардың 90%-ы үшін артықшылықты таңдау болып қала береді.
-
Демпферлік қасиеттер:Гранит метрология үшін өте маңызды жоғары жиілікті тербелістерді сіңіруде табиғи түрде жақсы.
-
Шығындардың тиімділігі:Ірі көлемді негіздер үшін (бірнеше метрге дейін) гранитті алу және өңдеу техникалық керамикаға қарағанда айтарлықтай үнемді.
-
Термиялық инерция:Граниттің жоғары массасы оның қоршаған орта температурасының өзгеруіне баяу әсер ететінін білдіреді, бұл ұзақ мерзімді өлшеулер үшін тұрақты ортаны қамтамасыз етеді.
Керамикалық машина негіздері(атап айтқанда, алюминий тотығы) «ең жоғары» өнімділік қажет болған кезде қолданылады.
-
Қаттылықтың салмаққа қатынасы жоғары:Керамика гранитке қарағанда бірдей салмақта әлдеқайда қатты. Бұл негізді деформацияламай, қозғалатын сатылардың жоғары үдеуіне және баяулауына мүмкіндік береді.
-
Төтенше термиялық тұрақтылық:Кейбір керамиканың жылу кеңею коэффициенті (ТКК) граниттен де төмен, ал олардың жоғары жылу өткізгіштігі негіздің жылу тепе-теңдігіне тезірек жетуіне мүмкіндік береді.
-
Қаттылық:Керамика іс жүзінде сызаттарға төзімді және химиялық эрозияға төзімді, дегенмен олар сынғыш және үлкен форматтарда өндіру әлдеқайда қымбат.
ZHHIMG материалтануға деген міндеттемесі
ZHHIMG компаниясында біз ең жақсы шешім сирек жағдайда бір өлшемді тәсіл деп санаймыз. Біздің инженерлік командамыз осы технологиялардың гибридті интеграциясына маманданған. Біз көбінесе ауа мойынтірегінің бағыттаушысының үйкеліссіз қозғалысын қолдау үшін гранит негізінің дірілді басатын массасын пайдаланамыз, кейде тозуға немесе қаттылыққа толы маңызды нүктелерде керамикалық ендірмелерді қосамыз.
Жетекші өндіруші ретінде біз әлемдік нарыққа жоғары сапалы граниттің геологиялық сенімділігін және заманауи қозғалыс жүйелерінің техникалық жетілдірілуін ұсынамыз. Біздің өндірістік нысанымыз ауа мойынтіректері үшін қажетті тегістікке қол жеткізу үшін қажетті дәстүрлі қолмен тегістеу тәжірибесін заманауи CNC өңдеу және лазерлік интерферометриямен біріктіреді.
Қорытынды: Табысыңызды жобалау
Гранит пен керамика немесе ауа мен механикалық мойынтіректер арасындағы таңдау, сайып келгенде, сіздің технологияңыздың пайдалану шектеулерін анықтайды. Аэроғарыш, жартылай өткізгіш және метрология салаларындағы инженерлер үшін бұл ымыраларды түсіну инновацияның кілті болып табылады. ZHHIMG Group дәл қозғалыста мүмкін болатын шекараларды кеңейтуді жалғастыруда, бұл сіздің машинаңыздың абсолютті тұрақтылық негізінде тұруын және теңдессіз дәлдікпен қозғалуын қамтамасыз етеді.
Жарияланған уақыты: 2026 жылғы 22 қаңтар
