Жоғары бәсекелестікке толы озық дисплей өндірісі әлемінде нарықтағы көшбасшылық пен ескіру арасындағы айырмашылық көбінесе бір факторға байланысты: дәлдік. Жоғары ажыратымдылықтағы, жоғары өнімді OLED және LCD экрандарының негізі болып табылатын төмен температуралы поликристалды кремний (LTPS) массивтерін жасау және тексеру инженерияның шекараларын кеңейтетін төзімділікті талап етеді. Дәлдіктің бұл өте жоғары деңгейіне жету техниканың өзінің физикалық негізден басталады. Сондықтан LTPS массив жабдықтары үшін гранитті машина негізін таңдау тек дизайн таңдауы ғана емес, сонымен қатар негізгі талап болып табылады.
LTPS массивін жасауға қатысатын процестер, әсіресе лазерлік кристалдану және кейінгі фотолитография және тұндыру қадамдары, қоршаған орта шуына, соның ішінде нәзік дірілдер мен жылулық ығысуларға өте сезімтал. Тіпті ең мұқият бақыланатын таза бөлме ортасында да, ұсақ өзгерістер массивтің өнімділігі мен біркелкілігіне айтарлықтай әсер етуі мүмкін. Әрбір транзистордың мінсіз қалыптасқанына көз жеткізу үшін өте күрделі жабдықпен жүргізілетін тексеру кезеңі құрылымдық тұтастықтың одан да жоғары дәрежесін талап етеді. Бұл жалпақ панельді дисплейге арналған төмен температуралы полискремний массивін тексеру жабдықтарына арналған гранит машинасының негізі шынымен де керемет жұмыс істейтін сала.
LTPS инспекциясының жылулық және динамикалық императиві
LTPS технологиясы электрондардың жылдам қозғалуына мүмкіндік береді, кішірек, тиімдірек транзисторларды пайдалануға мүмкіндік береді және таңғажайып жаңарту жиілігі мен төмен қуат тұтынуы бар дисплейлерге әкеледі. Дегенмен, қатысатын құрылымдар микроскопиялық, микрондармен өлшенеді. Күрделі тексеру жабдықтарының ақауларды дәл табуы, өлшеуі және талдауы үшін оның жұмыс платформасы іс жүзінде қозғалыссыз және өлшемді түрде өзгермейтін болуы керек.
Шойын немесе болат сияқты дәстүрлі материалдар берік болғанымен, жылу кеңеюіне табиғи түрде сезімтал. Кәдімгі болаттың жылу кеңею коэффициенті (ТКК) қара гранитке қарағанда айтарлықтай жоғары. Бұл қоршаған орта температурасының сәл көтерілуі, мүмкін, бір-екі градусқа ғана, болат машина құрылымының күрт кеңеюіне және жиырылуына әкеледі дегенді білдіреді. Массивтік тексеру тұрғысынан бұл жылу дрейфі позициялық қателіктерге, оптикалық жолдағы сәйкессіздіктерге және жақсы панельдердің қабылданбауына немесе ақаулы панельдердің қабылданбауына әкелуі мүмкін дәл емес көрсеткіштерге әкеледі.
Керісінше, LTPS массивтік жабдықтары үшін мамандандырылған гранит машина төсегін пайдалану өте төмен CTE бар платформаны қамтамасыз етеді. Бұл термиялық тұрақтылық машинаның маңызды геометриясының - өлшеу сенсоры мен LTPS негізі арасындағы қашықтықтың - тұрақты болып қалуын қамтамасыз етеді, бұл сапаны бақылау үшін қажетті тұрақты, қайталанатын субмикронды өлшеулерге мүмкіндік береді.
Теңдесі жоқ діріл демпфері және қаттылық
Термиялық тұрақтылықтан басқа, граниттің ішкі материалдық қасиеттері динамикалық күштер мен дірілді басқаруда айтарлықтай артықшылық береді. Жетілдірілген тексеру жүйелері шамалы механикалық қозғалыстар мен дірілді тудыратын жоғары жылдамдықты сатылар мен күрделі сканерлеу механизмдерін пайдаланады. Бұл ішкі күштер, ауа өңдегіштерден немесе көршілес техникадан шығатын сыртқы шумен бірге, қозғалыстың бұлыңғырлануын немесе оқу тұрақсыздығын болдырмау үшін тез бейтараптандырылуы керек.
Граниттің жоғары ішкі демпферлік қабілеті, яғни діріл энергиясын металдарға қарағанда әлдеқайда жылдам таратуға мүмкіндік беретін қасиеті, мұнда өте маңызды. Ол пассивті амортизатор ретінде әрекет етеді, бұл машинаның әрбір қозғалыстан кейін тез тыныштық күйіне оралуын қамтамасыз етеді. Тастың серпімділік пен тығыздықтың жоғары модулі ауыр гантри жүйелерінің, оптикалық жинақтардың және вакуумдық камералардың салмағы астында статикалық ауытқуды азайтып, өте қатты құрылымға ықпал етеді.
Негізінде, LTPS массивтік қолданбалары үшін дәл өңделген гранит машинасының негізін таңдау арқылы инженерлер термиялық тұрақты, акустикалық тыныш және құрылымдық тұрғыдан қатты іргетас құруда. Бұл қасиеттердің үштігі заманауи LTPS дисплей өндірісі үшін қажетті өнімділік пен өнімділік мақсаттарына жету үшін сөзсіз.
Табиғаттан алынған инженерлік жетілдіру
Соңғы өнім – гранит машинасының негізі – өңделмеген карьер тасынан мүлдем өзгеше. Бұл метрологияның шедеврі, көбінесе төмен микрондық диапазонда немесе тіпті субмикрондық диапазонда өлшенген төзімділік шегіне дейін өңделеді. Граниттің кернеуді жеңілдетуін және мінсіз тегіс болуын қамтамасыз ету үшін арнайы әдістер қолданылады. Бұл жоғары тазартылған табиғи материал барлық кейінгі механикалық және оптикалық туралаулар калибрленетін ең жоғары тірек жазықтығын қамтамасыз етеді.
LTPS массивтік жабдықтарын өндірушілер үшін жоғары дәлдіктегі гранитті біріктіру олардың машиналарының үздіксіз ең жоғары өнімділікте жұмыс істеуін қамтамасыз етеді, бұл тұтыну нарығы үшін жоғары өнімділік пен сапалы дисплейлерге тікелей әсер етеді. Бұл инженерия абсолютті жетілуді талап еткенде, жер бетіндегі ең тұрақты табиғи материалға назар аудару ең сенімді шешімді ұсынатынының дәлелі.
Жарияланған уақыты: 2025 жылғы 3 желтоқсан