Гранит платформасы дәл өлшеу және өңдеудің анықтамалық құралы ретінде оның дәлдігін қамтамасыз ету өндіріс сапасына тікелей әсер етеді. Төменде платформаның ұзақ уақыт бойы нанометрлік деңгейдегі дәлдігін қамтамасыз ету үшін қоршаған ортаны бақылауды, күнделікті техникалық қызмет көрсетуді және кәсіби калибрлеуді қамтитын жүйелі техникалық қызмет көрсету жоспары берілген.
1. Қоршаған ортаны бақылау: дәлдікпен қорғаныс тосқауылын жасаңыз
Температура мен ылғалдылықты басқару
Жұмыс ортасының температурасын 20±1℃ деңгейінде тұрақтандыру қажет. Әрбір 1℃ ауытқуы гранит платформасының 0,5-1мкм/м термиялық деформациясын тудырады. Кондиционер розеткаларының платформаға тікелей үрлеуіне жол бермеу үшін цехта тұрақты температура жүйесін орнатуға болады.
Ылғалдылықты 40% және 60% аралығында бақылау керек. Шамадан тыс ылғалдылық металл бөлшектерде оңай тот тудыруы мүмкін, ал тым төмен ылғалдылық өлшеу кезінде статикалық электр кедергісіне әкелуі мүмкін.
Дірілді оқшаулау
Платформаны штамптау және фрезерлік станоктар сияқты діріл көздерінен алыс ұстау керек. Діріл жабдығынан 3 метрден астам қашықтықты сақтау ұсынылады.
Дірілдеуді болдырмау мүмкін болмаса, платформаның тегістігіне қоршаған орта дірілінің әсерін азайту үшін платформаның түбіне пневматикалық серіппелі амортизаторларды орнатуға болады (бұл сыртқы дірілді 80%-дан астам төмендетуі мүмкін).
2. Күнделікті техникалық қызмет көрсету: тазалаудан қорғауға дейін мұқият бақылау
Бетті тазалау спецификациясы
Шаңды кетіру: платформаны шаң бөлшектерінің (≥5μm) сызып тастауын болдырмау үшін күн сайын сол бағытта бетті бұғы терісімен немесе түксіз шүберекпен сүртіңіз. Қатты дақтарды сусыз этанолмен (тазалығы ≥99,7%) ақырын сүртуге болады. Ацетон сияқты күшті еріткіштерді қолдануға болмайды.
Майды кетіру: егер ол май дақтарына тиіп кетсе, оны сұйылтылған бейтарап тазалағышпен сүртіңіз, содан кейін ионсыздандырылған сумен шайыңыз және минералды майдың платформаның кішкентай тесіктеріне еніп кетуіне жол бермеу үшін ауада құрғатыңыз.
Жүктеме мен соқтығысудан қорғау
Жергілікті шамадан тыс жүктемеден болатын тұрақты деформацияны болдырмау үшін платформаның жүк көтергіштігі номиналды жүктеменің 70% шегінде (мысалы, 1000 кг платформа үшін жүктің ≤ 700 кг болуы ұсынылады) бақылануы керек.
Дайындамаларды платформаға соғуға қатаң тыйым салынады. Құралдармен жұмыс істегенде, бетті өткір заттардың сызатпауы үшін жұмсақ қолғап киіңіз (тереңдігі 20 мкм-ден асатын сызаттар шағылысқан жарық жолын өлшеуге әсер етеді).
3. Кәсіби калибрлеу: дәлдікті ғылыми қамтамасыз етудің негізі
Калибрлеу циклін орнату
Кәдімгі пайдалану сценарийлері: Тоқсан сайын бір рет калибрленіп, тегістікті анықтау үшін лазерлік интерферометрді пайдаланыңыз (±0,5 мкм/м дәлдікпен).
Жоғары жиілікті пайдалану немесе қатал орталар: температураға сезімтал аймақтарды (мысалы, жылу көздерінің жанындағы платформаның жиегі) бақылауға бағытталған ай сайынғы калибрлеу.
Калибрлеуден кейінгі өңдеу
Егер тегістік ауытқуы табылса (мысалы, > ±1μm/m), оны W1.5 микро ұнтағын қолданатын кәсіби техник ұнтақтап, жөндеуі керек. Тегістеу қағазымен өздігінен тегістеуге қатаң тыйым салынады.
Калибрлеуден кейін деректер жазылуы және мұрағатталуы керек және техникалық қызмет көрсету талаптарын алдын ала болжау үшін платформа дәлдігінің әлсіреу қисығы орнатылуы керек.
4. Сақтау және тасымалдау: жасырын дәлдік жоғалуын болдырмаңыз
Ұзақ мерзімді сақтаудың негізгі нүктелері
Сақтау кезінде оны ылғал және шаң өткізбейтін жабынмен жабу керек. Гравитация әсерінен болатын иілу деформациясының алдын алу үшін астыңғы жағы үш нүктемен (тірек нүктесі платформа ұзындығының 2/9 бөлігінде орналасқан) тірелуі керек (ұзақ мерзімді бір нүктелі тіреулердің әсерінен 1 метрлік платформа 0,3 мкм-ге шөгуі мүмкін).
Ұзақ мерзімді жергілікті қысымды болдырмау үшін платформаны қолдау нүктелерінің орнын тұрақты түрде (ай сайын) жылжытыңыз.
Тасымалдауды қорғау жоспары
Қысқа қашықтыққа тасымалдау: соққыға қарсы көбікпен орап, қатты жақтауға бекітіңіз және жеделдетуді 2 г шегінде сақтаңыз.
Ұзақ қашықтыққа тасымалдау: оны вакууммен орау және құрғақ азотпен толтыру керек. Келгеннен кейін конденсация суының дәлдікке әсер етуіне жол бермеу үшін оны ораудан шығарар алдында температура тепе-теңдікке жеткенше 24 сағат бойы қалдыру керек.
5. Ақауларды болжау: ерте проблемаларды анықтау әдістері
Көрнекі тексеру: бетті 40x үлкейткіш әйнекпен үнемі бақылаңыз. Үздіксіз сызаттар немесе жылтырлықтың айтарлықтай төмендеуі табылса, бұл дәлдіктің төмендеуін көрсетуі мүмкін.
Дыбысты анықтау: платформаны ақырын түртіңіз. Егер дыбыс қарлығып кетсе (әдетте бұл анық дыбыс болуы керек), ішінде микро жарықтар болуы мүмкін. Анықтау үшін оны пайдалануды дереу тоқтатыңыз.
Осы техникалық қызмет көрсету жүйесі арқылы ZHHIMG® гранит платформасы 10 жыл бойына ±1мкм/м тегістігін сақтай алады, бұл дұрыс ұсталмаған платформалардың нақты қызмет ету мерзімінен үш есе көп. Тәжірибе көрсеткендей, белгілі бір жартылай өткізгіш зауыты бұл шешімді қабылдағаннан кейін платформаны калибрлеу жиілігі 50% -ға азайып, жылдық техникалық қызмет көрсету құны 150 000 юаньнан астам үнемделген.
Хабарлама уақыты: 18 маусым-2025 ж