Гранит платформасы дәл өлшеу және өңдеудің анықтамалық құралы ретінде оның дәлдігін сақтау өндіріс сапасына тікелей әсер етеді. Төменде платформаның нанометрлік деңгейдегі дәлдікті ұзақ уақыт бойы сақтауын қамтамасыз ету үшін қоршаған ортаны бақылауды, күнделікті техникалық қызмет көрсетуді және кәсіби калибрлеуді қамтитын жүйелі техникалық қызмет көрсету жоспары берілген.
1. Қоршаған ортаны бақылау: дәл қорғаныс тосқауылын құру
Температура мен ылғалдылықты басқару
Жұмыс ортасының температурасын 20±1℃ деңгейінде тұрақтандыру қажет. Әрбір 1℃ ауытқуы гранит платформасының 0,5-1 мкм/м термиялық деформациясына әкеледі. Кондиционер шығыстарының платформаға тікелей үрлеуіне жол бермеу үшін шеберханаға тұрақты температура жүйесін орнатуға болады.
Ылғалдылықты 40%-дан 60%-ға дейін бақылау керек. Шамадан тыс ылғалдылық металл бөлшектерде тот басуға әкелуі мүмкін, ал тым төмен ылғалдылық өлшеу кезінде статикалық электр кедергісіне әкелуі мүмкін.
Діріл оқшаулауы
Платформаны штамптау машиналары және фрезерлеу станоктары сияқты діріл көздерінен алыс ұстау керек. Діріл жабдықтарынан 3 метрден астам қашықтықты сақтау ұсынылады.
Егер дірілді болдырмау мүмкін болмаса, платформаның жазықтығына қоршаған орта дірілін азайту үшін платформаның төменгі жағына ауа серіппелі амортизаторларды орнатуға болады (бұл сыртқы дірілді 80%-дан астамға төмендетуі мүмкін).
2. Күнделікті техникалық қызмет көрсету: тазалаудан бастап қорғауға дейін мұқият бақылау
Беткі тазалау сипаттамасы
Шаңды кетіру: Шаң бөлшектерінің (≥5 мкм) платформаны тырнап алмауы үшін бетін бұғы терісімен немесе түксіз шүберекпен күн сайын сол бағытта сүртіңіз. Қатты дақтарды сусыз этанолмен (тазалығы ≥99,7%) ақырын сүртуге болады. Ацетон сияқты күшті еріткіштерді пайдалануға болмайды.
Майды кетіру: Егер ол май дақтарына тиіп кетсе, оны сұйылтылған бейтарап тазартқышпен сүртіңіз, содан кейін минералды майдың платформаның ұсақ тесіктеріне енуіне жол бермеу үшін деиондандырылған сумен шайып, ауада кептіріңіз.
Жүктемеден және соқтығысудан қорғау
Жергілікті шамадан тыс жүктемеден туындаған тұрақты деформацияны болдырмау үшін платформаның жүк көтергіштігі номиналды жүктеменің 70%-ы шегінде бақылануы керек (мысалы, 1000 кг платформа үшін жүктемені ≤700 кг ету ұсынылады).
Дайындама бөлшектерін платформаға соғуға қатаң тыйым салынады. Құрал-саймандарды ұстаған кезде, өткір заттардың бетін тырнап алмауы үшін жұмсақ қолғап киіңіз (тереңдігі 20 мкм-ден асатын сызаттар шағылысқан жарық жолын өлшеуге әсер етеді).
3. Кәсіби калибрлеу: ғылыми дәлдікті сақтаудың негізі
Калибрлеу циклінің параметрі
Дәстүрлі пайдалану сценарийлері: Тоқсан сайын бір рет калибрлеп, жазықтықты анықтау үшін лазерлік интерферометрді пайдаланыңыз (±0,5 мкм/м дәлдікпен).
Жоғары жиілікті пайдалану немесе қатал орта: Ай сайынғы калибрлеу, температураға сезімтал аймақтарды (мысалы, жылу көздерінің жанындағы платформаның шеті) бақылауға баса назар аударылады.
Калибрлеуден кейінгі өңдеу
Егер жазықтық ауытқуы анықталса (мысалы, > ±1μm/m), оны кәсіби техник W1.5 микроұнтағын пайдаланып тегістеп, жөндеуі керек. Тегістеу қағазымен өздігінен тегістеуге қатаң тыйым салынады.
Калибрлеуден кейін деректер жазылып, мұрағатталуы керек, ал техникалық қызмет көрсету талаптарын алдын ала болжау үшін платформа дәлдігінің әлсіреу қисығын құру керек.
4. Сақтау және тасымалдау: Жасырын дәлдіктің жоғалуын болдырмаңыз
Ұзақ мерзімді сақтаудың негізгі қағидалары
Сақтау кезінде оны ылғалға және шаңға төзімді қақпақпен жабу керек. Төменгі жағы ауырлық күшінің әсерінен иілу деформациясының алдын алу үшін үш нүктемен тірелуі керек (тірек нүктесі платформаның ұзындығының 2/9 бөлігінде орналасқан) (1 метрлік платформа ұзақ мерзімді бір нүктелі тірекке байланысты 0,3 мкм-ге майысуы мүмкін).
Ұзақ мерзімді жергілікті қысымды болдырмау үшін платформаның тірек нүктелерінің орнын үнемі (ай сайын) жылжытыңыз.
Көлікті қорғау жоспары
Қысқа қашықтыққа тасымалдау: Соққыны сіңіретін көбікпен орап, қатты жақтауға бекітіңіз және үдеуді 2 г шегінде сақтаңыз.
Ұзақ қашықтыққа тасымалдау: Оны вакуумдық қаптамаға салып, құрғақ азотпен толтыру қажет. Келгеннен кейін, конденсация суының дәлдікке әсер етуіне жол бермеу үшін қаптаманы ашпас бұрын температура тепе-теңдікке жеткенше 24 сағатқа қалдыру керек.
5. Ақауларды болжау: ерте мәселелерді анықтау әдістері
Көзбен тексеру: Бетін 40 есе үлкейткіш әйнекпен үнемі бақылап отырыңыз. Егер үздіксіз сызаттар немесе жылтырлығының айтарлықтай төмендеуі байқалса, бұл дәлдіктің төмендегенін көрсетуі мүмкін.
Дыбысты анықтау: Платформаны ақырын түртіңіз. Егер дыбыс қарлығып кетсе (әдетте ол анық дыбыс болуы керек), ішінде микрожарықтар болуы мүмкін. Анықтау үшін оны пайдалануды дереу тоқтатыңыз.
Осы техникалық қызмет көрсету жүйесі арқылы ZHHIMG® гранит платформасы ±1μm/m жазықтығын 10 жыл бойы сақтай алады, бұл дұрыс күтілмеген платформалардың дәлдік қызмет ету мерзімінен үш еседен астам ұзақ. Тәжірибе көрсеткендей, белгілі бір жартылай өткізгіш зауыты осы шешімді қабылдағаннан кейін платформаны калибрлеу жиілігі 50%-ға төмендеді, ал жылдық техникалық қызмет көрсету құны 150 000 юаньнан астам үнемделді.
Жарияланған уақыты: 18 маусым 2025 ж.